真空镀膜机各泵工作顺序，原因，原理

罗茨真空泵在开机前的准备

检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，罗茨真空泵增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上。同时再检查润滑油的颜色，罗茨真空泵油出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。

检查罗茨真空泵中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好。打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常（中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上）。待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。

罗茨真空泵真空机组启动

打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保循环冷却进出水正常。关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常（电机及泵发出噪声均衡）后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和罗茨真空泵进气阀门。待系统压力达到中间泵设定的允许进口压力后，启动中间泵，如过采用自动控制挡，则直接拨到自动控制挡，机组的启动过程则实现自动化。如手动控制，当中间泵出口压力达到主泵允许进口压力后，启动主泵。

罗茨真空泵运转注意事项

真空机组在运转过程中声响应均匀，无杂音且运行中无不规则的异常震动。注意电动机负荷和泵的各部位温升情况，在正常情况下，罗茨真空泵泵的最高温升不得超过40℃，工作最高温度不得超过80℃。在工作中如发现有漏油时，应立即停止工作，泄压后进行检查、修理。罗茨真空泵不允许在发现漏油的现象之后，仍继续进行工作或带压进行检修。在工作中必须保证循环冷却水的正常进出。

罗茨真空泵真空机组停机操作

将真空机组控制柜上控制手柄打入手动挡，关闭罗茨真空泵的吸气口阀门，与真空系统隔断。按主泵、中间泵前级水冲泵次序，逐级停泵，严禁搞错停机程序。在停前级水冲泵时，先打开水冲泵缓冲罐排污阀门，后停泵关机。

真空泵安全操作流程：

1、操作前的准备工作：

首先应将设备放置在水平、通风、干燥处，将真空机组抽气口与被抽系统连接好，密封一定要严密，不应有泄漏点存在。检查真空泵和罗茨泵内的油位及油杯中的润滑油是否符合要求，连接好电源线和接地线。检查是否有其他不安全因素。

2、操作机组的启动运行：

接通主电源开关，主电源指示灯亮；将控制方式放在手动或自动位置；按下控制电源按钮，指示灯亮(真空泵、增压泵和急停按钮应复位，否则控制电源按钮无法接通)，如电源相序错误黄色指示灯亮，则需换相。将真空泵断路器接通，按下真空泵控制按钮，真空泵指示灯亮，同时真空泵运转。

根据实际情况调节增压泵的延时(通过时间继电器，调节范围在1—6分钟)。将增压泵断路器接通，按下增压泵控制按钮，增压泵指示灯亮，同时增压泵运转。油井内设有油位开关，当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警，同时系统关闭。

3、关机停运：

关闭高真空蝶阀一关闭机械增压泵一关闭真空泵一按急停按钮，控制电源关闭一关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时，设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。

扩展资料

真空泵使用注意事项：

1、拆开包装，在泵体与电机的联轴节处用手指按箭头的方向尽力旋转；

2、打开真空泵油箱上面的加油螺塞，将配好的真空泵油倒进泵内，油位应该在油标可见部位的二分之一与三分之二之间。若油位过高会导致喷油的现象，如果过低会影响真空度，还会导致温度上升的同时也会增加噪音，会影响泵的性能。泵油选用一号真空泵油即可；

3、打开进气口和排气口上的黑色橡胶盖，从进气口加入少量(一小勺)真空泵油便于启动，连接真空泵与真空系统(真空泵进气口必须低于被抽仪器之出气口)，被抽仪器与真空泵连接的管道不适宜太过于长。

连接管的口径不能小于真空泵进气口的内径，否则会影响抽速，但必须小于进气口的外径，否则影响密封度。被抽容积不能过于大，一般会选用泵的抽速以秒为单位的15-20倍。在活动的接头处，最好涂上真空脂，以增强其密封度；

4、接上电源，装接电线时，要注意电机铭牌上的接线规定的要求；

5、三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向(注：对三相电机确定转向时，必须在瞬间进行)；

一共四个按键，先介绍功能：

1.power键，开机电源键

2.mode/lock键，模式选择键，虽然标有lock（锁定），但实际上不能通过此键锁定，这个键只能选择month（月份）模式，为什么后面在解释。可选择的月份有：

1,2,4,6,……12个月，再加上一个H，字母H是hour（小时）的第一个字母。模式选择，就是选择多久加一次油，是一个月，还是两个月，还是一个小时。

3.test键，测试键。注油器按当前模式运行（注油）一个周期然后自动停。这个键实际上就是用来测试注油器能否正常工作的。

4.reset键，复位键。所有设定将恢复出厂默认值。

再介绍注油器的操作:

1.开机，按住power键不动，大约3,4秒吧，显示屏灯亮，开机成功，但此时显示屏上的字是闪烁的，不固定，lock键也不能固定（锁定），此键如同虚设啊

不管它了，大约10秒左右，自己不闪了，且显示屏左上角出现了一把锁，自己锁定了

接上面步骤

2.模式选择，即选择多久注一次油。点击mode/lock键，一点反应也没有，只是指示灯闪了一下（红色）。按住mode/lock键不放，大约3秒，显示屏字开始闪烁，那把锁也消失了，可以设置模式了。在闪烁状态下点击此键，month线框内依次出现1,2,4……H，我选择H，即每小时注一次油，因为烘箱里高温嘛，要是选一个月那链条就挂了。

每小时注油注多长时间呢？这个无法设置，注油时间和所选模式是对应的，厂家设置好的默认值，不能改变。字母H下面的数字是15，意思是每小时连续注油15秒。

3.测试，模式设置好了，接下来就测试一下，看注油器能不能注油且连续注15秒。按住test键不放，大约三秒，显示屏字闪烁，电动机符号M闪烁，注油器开始注油了，看见油在管子里走动，刚好15秒后停止注油。

（2）、每天检查泵的温升，电机负荷及温升。

（3）、定期检查罗茨泵的轴承、油封、齿轮等部件，如有损坏应予更换。

罗茨真空泵抽气过程：

如图为罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,水环真空泵在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵.

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。