爱德华双级真空泵使用说明书和易耗件清单
爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱（仅限 iH1000）
首先真空泵本身，真空泵有很多种，主要分为高中低真空泵：低真空的泵国产比较多，除了一些要求无油润滑的真空泵，用的进口比较多。这类的泵爱德华比较多。中真空比较多的是罗茨泵，罗茨泵国内和进口都有，国内基础的也做得也还好。高真空泵是一些专业真空设备的核心组件之一，主要分为扩散泵、复合分子泵、低温泵等。
扩散泵就是一个喷泉，利用热油喷射带走气体。现在国产的扩散泵比较多也比较好用。
复合分子泵是唯一一种可以达到高真空的机械泵。主要利用高速旋转的叶轮将分子单向排出。国产的以泰岳恒等牌子为主，但是好一点的都是用莱宝的。
低温泵是通过极低温（一般为10K以下），捕捉分子，让分子不在真空室内自由移动。这种泵好像还是莱宝用的多。
我们厂当时主要是买泵装配卖成套设备的。所以独立的泵方面只做过扩散泵。主要是泵壳成型焊接，泵芯制作，盘管（夹套）制作，底座加工，全套组装，加油，上电测试等，具体真空泵都有自己的特点。
给你个建议吧，真空泵厂家都有自己的产品资料，去官网看看吧，产品选型手册很厚一本的，只是很多产品和国内比性价比不高，国内不常用罢了。
爱德华真空泵自带气震器，真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
答：爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵，也叫罗茨泵，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。
请问是已经维修过了，还是没有维修过就无法启动呢！
一般爱德华真空泵无法启动有一下几个原因：
1、电源线连接不正确：对策：检查维修电源线, 以连线正常
2、电机保护开关设置不正确：对策：正确设定电机保护开关。
3、供给电机的电源电压与电机不匹配：对策：更换电机，电机功率需和真空泵相匹配
4、电机发生故障：对策：检修年电机是否故障，是否可以维修，是否需要更换电机
5、真空泵油温低于12℃（54℉）：对策：把泵和泵油加热到需要的温度值以上或使用适用于此台真空泵牌号的真空泵油
6、真空泵油太粘稠：对策：换真空泵油,需要使用合适于此泵的适用真空泵油
7、排气过滤器/排气管路堵塞：对策：更换排气过滤器并检查看是否需要清洗排气管路，一般每月检查排气过滤器，每年要更换一次。
8、真空泵被卡死（现象：真空泵卡住）：对策：检修真空泵，看是什么原因卡死，针对问题更换零配件，修复问题。
