真空泵的性能参数
参数名称参数定义真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。真空泵的前级压强真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。真空泵的何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。真空泵的抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。真空泵的返流率泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。水蒸气允许量水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。压强范围
真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
国产的真空泵型号是由基本型号和辅助型号组成，即（基本型号）①②③-（辅助型号）④⑤⑥，①代表真空泵级数，阿拉伯数字表示，不分级或单级省略。②代表真空泵名称，以汉语拼音第一或第二个字母表示。③代表真空泵特征，汉语拼音表示。④真空泵使用特点。⑤真空泵规格或主参数，阿拉伯数字。⑥真空泵设计序号，从第一次改型开始，A，B，C……表示。
真空泵名称和代号：1往复真空泵 W，2旋片式真空泵 X，3滑阀真空泵 H，4罗茨真空泵（机械真空泵）ZJ，5溅射离子泵L 6分子泵F，7 油扩散真空泵K，8油扩散喷射泵（油增压泵）Z。1~5的真空泵规格或主参数是抽气速率，6~8是泵进气口径。
示例：W-35B，往复式真空泵，抽速35L/s，第二次改型设计；
2X-15A，双级旋片式真空泵，抽速为15L/s；
K-800，油扩散泵，进气口径800mm
Z-400，油增压泵，朝气口径400mm
根据中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95的规定，国产各种真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成，两者中间为一横线。其表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号，456表示辅助型号。
国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示泵在结构上为双级泵。
某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档。其单位是“L/S”。共分18个等级，分别为0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示，其单位是“mm”。由于泵的种类较多，选用时应参阅不同生产厂家的产品说明书式样本，是很重要的。
表3-2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称
代 号 名 称 代 号 名 称
W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵（油增压泵）
D 定片真空泵 S 升华泵
X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵
H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵
ZJ 罗茨真空泵（机械增压泵） DZ 制冷机低温泵
YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵
L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵
XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
F 分子泵 PS 水喷射泵
K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵
（1）抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表示。
（2）残余压力：也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的最低压力，单位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
（3）抽气量：在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。
（4）起动压力：真空泵开始工作时的压力。
ZJ型罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用，在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有水蒸汽等不敏感，可获得高真空。
W3为往复式真空泵(简称往复泵) 又名活塞式真空泵,属于低真空获得设备,为单级抽气，极限压力2000Pa(15托)。
罗茨真空泵主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形的泵腔组成。该泵不能单独排气，必须与前级泵（如滑阀泵、旋片泵、水环泵、油环泵等）串联使用。泵的极限压力由前级泵决定，对小量灰尘不敏感。
我公司是专业生产销售真空
1 micron =10-3 mm
75Micron =9.999Pa
极限真空度没有达到有很多原因，你的泵抽速不到3L/S ，所以不能抽太大的容器，另外，漏气，缺油也都不能达到预期的真空度
