SK水环真空泵产品介绍与原理分析

国产水环真空泵的种类有很多，根据所达到的极限真空度的高低及抽气量的大小可分为2BA型水环真空泵、2BV型水环真空泵、SK型水环式真空泵、2SK型水环式真空泵、SZ型水环真空泵这几大类，现将这几类的主要特点及概述介绍如下： 一、2BA型水环式真空泵的概述：

2BA型水环式真空泵适用于抽除气体和水蒸气，吸气压力可以达到33mbar绝压(97%真空度)。当用变压器油作为工作液时（称为油环真空泵），吸气压力可达到6.7mbar绝压(99.3%真空度），可以完全取代往复式真空泵。当液环真空泵在吸气压力接近极限真空下长期工作时，应联接气蚀保护管，以对泵进行保护并消除气蚀声。作为压缩机使用时，其压力最大至0.26MPa(绝压)。作为压缩机使用时，随着排气压力的升高会造成2BV泵功率的加大，订货时应注明排气压力以选择适当的电机功率。

2BA型水环式真空泵作为新一代节能型产品，其以出色的性能及众多优点将全面取代同性能的SK、2SK系列水环真空泵及W、WY、WL系列往复真空泵。

2BA系列水环式真空泵/压缩机主要用于抽除爆炸性气体，及在各类易燃、易爆环境中工作。

2BA系列不锈钢真空泵可使用在各种耐腐蚀要求较高的场合及洁净度要求较高的场合。根据工况2BA系列不锈钢真空泵的全部过流部件：泵体、泵盖、圆盘、叶轮材质可选用SUS304（0Cr18Ni9)、SUS316（0Cr17Ni12Mo2）、SUS316L（00Cr17Ni14Mo2）等各类不锈钢材质，泵轴材质：2Cr13或0Cr18Ni12Mo2Ti

2BA型水环式真空泵机械密封采用进口产品，密封件可采用氟橡胶或聚四氟乙烯.

二、2BA型水环式真空泵的特点：

相对于国内同类型SK、2SK、SZ等水环式真空泵，其有以下特点：

·2BA型水环式真空泵机泵同轴式直联设计，节省空间，易于安装。

·2BA型水环式真空泵全部采用国外进口机械密封作为标准配置。

·2BA型水环式真空泵全部设有气蚀保护管接口，如在极限压力下工作，开启气蚀保护管接口（或与分离器连接）可在最大限度保证吸气效果的情况下消除气蚀声，并对泵进行保护。

·铝青铜叶轮强度高，经久耐用，并提高了2BA型水环式真空泵的耐腐蚀性。如过流部件采用不锈钢材质，可工作在更为苛刻的环境中。

·独特的柔性排气口设计，不会产生过压缩，确保了2BA型水环式真空泵在其性能范围内效率最佳。

·全部采用Y2系列电机，防护等级IP54、IP55（普通为IP44）

·2BA型水环式真空泵全部采用NTN或NSK进口轴承 一、2BE型水环式真空泵概述：

2BE型水环式真空泵及压缩机，是我公司在多年科研成果和生产经验的基础上，结合国际同类产品先进技术，研制开发的高效节能产品通常用于抽吸不含固体颗粒，不溶于水，无腐蚀性的气体，以便在密闭容器中形成真空和压力。通过改变结果材料，亦可用于抽吸腐蚀气体或以腐蚀性液体做工作液。2BE型水环式真空泵广泛用于造纸、化工、石化、轻工、制药、食品、冶金、建材、石器、洗煤、选矿、化肥等行业。

2BE型水环式真空泵采用单级单作用的结构形式，具有结构简单，维修方便，运行可靠，高效节能的优点，并能适应排水量大，载荷冲击波动等恶劣工况。

我们对于2BE型水环式真空泵关键部位，如分配板，叶轮和泵轴进行了系统优化设计，简化了结构，提高了性能，实现节能，采用焊接叶轮，叶片一次冲压、成型，型线合理；论彀全部加工，从根本上解决了动平衡问题。叶轮与泵轴采用热装过盈配合，性能可靠，运转平稳。叶轮焊接后，整体运行良好的热处理，叶片具有良好的韧性，使叶片的抗冲击，抗折弯能力得以根本保证，2BE型水环式真空泵能适应载荷冲击波动的恶劣工况。

2BE型水环式真空泵，自带气水分离器，多位置没有排气口，泵盖设有排气阀检修窗口，叶轮与分配板间隙通过定位轴两端压盖调整，安装使用方便，操作简单，便于维修。

二、2BE型水环式真空泵的使用范围：

1、2BE型水环式真空泵可在环境温度5～40℃范围内和进口压强小于1330Pa的条件下，允许长期连续工作。

2、2BE型水环式真空泵不适用于抽除含氧过高、有毒的、有爆炸性的、对金属有腐蚀作用的、对泵油起化学反应的，以及含有颗粒尘埃的气体，也不适用于把气体从一个容器输送到另一个容器，作输送泵用。

3、2BE型水环式真空泵在大气压到6000Pa的进口压力下的连续工作时间不超过3分钟，以免喷油或润滑不良引起泵损坏。

三、2BE型水环式真空泵的特点：

2BE型水环式真空泵相对于目前国内广泛使用的SK、2SK、SZ系列水环式真空泵具有真空度高、功耗低等显著优点，是SK、2SK、SZ系列水环式真空泵理想替代产品，现在生产的2BE型水环式真空泵及压缩机结构主要特点如下：

1、轴承全部采用原装进口轴承，保证了2BE型水环式真空泵的叶轮精确定位及运转过程中的高稳定性。

2、叶轮材质全部采用球墨铸铁铸造或钢板焊接，充分保证了2BE型水环式真空泵叶轮在各种恶劣工况下的稳定性，且大大提高了2BE型水环式真空泵的使用寿命。

4、泵体全部采用钢板制作，提高了2BE型水环式真空泵的使用寿命。

5、2BE型水环式真空泵的轴套作为最易损坏的零件，本公司全部采用高铬不锈钢制作，比普通材质寿命提高了5倍。

6、2BE型水环式真空泵皮带轮（皮带传动）采用标准高精度锥套皮带轮，运行可靠，皮带寿命长，拆卸方便。

7、2BE型水环式真空泵联轴器（直联传动）采用标准高强度弹性联轴器，弹性元件采用聚氨酯材质，运行稳定可靠，使用寿命长。

8、独特的上置式气水分离器节约空间，并有效降低了2BE型水环式真空泵噪声。

9、铸件全部采用树脂砂铸造，表面质量好。铸件表面无需打腻，使2BE型水环式真空泵散热效果最佳。

10、机械密封（选配件）全部采用进口件，充分保证2BE型水环式真空泵在长时间运行过程中无泄漏。

11、2BE型水环式真空泵泵体内壁型线采用近似椭圆的型线以保证最佳的抽气效果。 一、SK型水环式真空泵概述：

SK型水环式真空泵及压缩机是用来抽吸或压送空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在密闭的容器中形成真空和压力，满足工艺流程要求。吸人或压送的气体允许混有少量的液体。

SK水环式真空泵及压缩机被广泛应用于机械、石油化工、制药、食品、制糖工业及电子领域。由于在工作过程中，气体的压缩过程是等温的，所以在压缩和抽吸易爆炸气体时，不易发生危险，所以其应用更加广泛。 工作真空范围为-0.03---0.08MPa。

二、SK型水环式真空泵的特点：

1、SK型水环式真空泵结构紧凑、维修方便；

2、SK型水环式真空泵应用范围广泛，可抽除含水蒸汽、易燃、易爆、含少量灰尘的、含少量液体的各种气体；

3、SK型水环式真空泵主要用水作为工作介质，维护费用低；

4、SK型水环式真空泵可以在较为恶劣的环境下工作。 一、SK型直联水环式真空泵概述：

SK型直联水环式真空泵包含SK-0.4、SK-0.8 、SK-1.0 、SK-1.5B四个规格，是用来抽吸空气和其它无腐蚀性，不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。吸入气体中允许混有少量液体。

二、SK型直联水环式真空泵特点：

SK直联式水环真空泵可直接从大气压起动抽气。机泵同轴、结构紧凑、维修方便、铜叶轮材质。

三、SK型直联水环式真空泵使用范围：

SK型直联式水环真空泵广泛用于电子器件制造、真空干燥、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空浸渍、进滤、浸渍、涂腊、焊接、冶炼、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业。SK型直联水环式真空泵不可用来抽含氧过高的、有毒的、易爆的或与泵油发生化学作用的气体，也不可当作压缩机或传输泵使用。 一、2SK型水环式真空泵概述：

2SK系列水环式真空泵相当于2台SK系列水环真空泵串联使用。

因SK系列水环真空泵只能达到-700mmHg的极限真空度，为达到较高真空及高真空下的较大抽气速率，20世纪80年代国内开发了2SK系列真空泵。

随着我公司生产的2BV及2BE系列新一代节能型产品的出现，2SK型水环式真空泵将逐渐被取代。

2SK－P1系列两级水环真空泵－大气喷射泵机组主要工作在绝压10~50mmHg下，但其在高真空区效率较低，如需长期运行可选用 罗茨水环真空机组，如此可获得高真空区抽气最佳效率。

2SK型水环式真空泵和2SK-P1系列两级水环真空泵—大气喷射泵机组是用来抽吸空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体以便在密闭容器中获得较高真空。

2SK型水环式真空泵被广泛应用于食品、纺织、化工、医药和冶金工业及电子领域的真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空浸渍、真空干燥及真空冶炼等。

2SK系列使用于吸入压力低于-0.08MPa的工况条件，2SK-P1系列使用于吸入压力低于-0.096MPa的工况条件。

二、2SK型水环式真空泵特点：

1、比较SK系列单级水环真空泵而言，具有真空度高、在高真空区抽速大等特点。

2、相同抽速率下，轴功率明显高于2BV、2BE系列水环式真空泵。

3、因结构为双叶轮结构，制造、维修较为复杂，易损件较多。 用来较高真空的真空泵(机械增容泵)使不得直排大气，如直排大气会造成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如复杂加大真空泵电机功率又会造成真空泵过热致使罗茨真空泵旋子之间的微弱间隙很快因热收缩而卡死。为保障真空泵能达成较高真空务必保障真空泵旋子之间的间隙。因而真空泵运用时务必设有前级泵，用前级泵将零碎内压力抽至定然规模内时再启动真空泵，如此能够防止真空泵过载。前级泵能够选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往返式真空泵等可直排大气的真空泵。

真空机组在正常状况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为无利，这重要是因为它可以抽除一大批的可凝性蒸汽，尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽威力不够，或运用的溶剂能使泵油好转而莫须有性能，或者是真空零碎不容许油净化的时机更为显然。

水环泵机组宽泛地用来化工、药品升华干涩、低空模仿尝试等的抽真空零碎中。这类联结机组，大体有如次多少品种型。

（1）水环泵：机组中水环泵的作用是造成所需的准备真空，因而务求该水环泵的最大容许排气压力，即是说，一上面要放量普及水环泵的极限真空，另一上面，也要变法儿普及最大容许排气压力。

正常状况，单级水环泵极限真空度不高，而眼前我国生产的务求的预真空又较高，故理论上不必单级水环泵作为前级泵，而用能普及极限真空度的双级水环泵作为前级泵运用，采纳双级水环泵，还能够普及机组的极限真空度。

一台极限真空度是较低的，尤其是当它与水环泵组合运行时，运用规模受到制约，整个机组的极限真空度可能更低，但若用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就能大大普及机组的极限真空度。

故在这品种型里通常见到的是两台串联后再用双级水环泵作前级泵组成机组。

（2）水环泵－大风泵机组：即便采纳双级水环泵，极限真空度的普及也只是在定然的规模之内，这是所以受到水的饱和蒸汽压的制约。水环泵的实践极限压力就是水的饱和蒸汽压。那末思忖气体返流等成分的莫须有，理论上溯环泵的极限压力显著比该水温上的饱和蒸汽压力为高。为了普及前级泵的极限真空度，还能够使水环泵与大风泵组合运用。

那样，串联一级大风泵后的极限真空度可达20~30Torr,那末水环泵与二级大风泵组合，则极限真空可达2~10Torr。

（3）水环泵串联机械真空泵：此机组重要用来须要解决一大批水蒸汽，且极限真空度务求较高的抽真空零碎，比如在真空干涩上面。

务求解决一大批水蒸汽的真空零碎中，运用水环泵是较适合的，但因为其极限真空度不高，以致整个机组的极限真空度较低。固然在务求真空度较高的抽真空零碎中，须要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵运用。但因为水环泵的耗电量大，效率很低，噪声高，在须要短工夫的真空干涩零碎中，用水环泵作为前级泵很不经济。

在上述状况下，可将气镇机械真空泵与水环泵串联，作为前级泵。真空干涩时，先用水环泵继续预抽，直至水蒸汽一大批缩小时，再开行气镇机械真空泵，切断水环泵。如须要较短工夫能力实现干涩的场合，所需结冰水和功率都较少。

1）机组前装冷凝器

为了放量使机组的体积小些，可变法儿使待抽的蒸汽在进入泵机组之前冷凝，那样剩下来的就差错可凝性气体和微量残余蒸汽。气体降温后在相反压力下身积也减小。因而冷凝后所需抽器量减小，相应地泵也能够选得小一些。

采纳哪种形式较经济？应视其具体状况而定，举例注明如次：

冷凝蒸汽有两种形式：一种是装置一台结冰安装，另一种是在机组的低压级中服一台冷凝器，再不能用一般的水结冰。

其零碎须要每时辰抽除50kg的水蒸汽量，在吸入压力为1Torr时的体积流量为50000m3/h。

1)要抽吸上述的水蒸汽量，须要三个罗茨泵串联，并用一台水环泵作前级组成的机组，该机组的总功率90kW。

2）为了使蒸汽在抵达真空泵之前冷凝，就要在坐落A处装一个冷凝器和一个功率为30000kcal/h的结冰安装。在1Torr的吸入压力下，水蒸汽的冷凝热度均为-19℃，为了能保障陆续作业，应取冷凝安装的冷凝热度为-25℃，且串联装置2台冷凝器。依据非冷凝气体的组作成体划算得，真空泵的抽器量就能够升高到1000~2000m3/h，总机组（囊括冷凝器的消费功率）的功率同样是90kW。

3）先用罗茨泵抽出水蒸汽，并在45Torr压力下继续冷凝，该压力下有的冷凝热度约为36℃，此外可使冷凝器的冷凝热度维持在30~35℃之间，可用一般结冰水结冰。冷凝器设在B处。那时总功率的消费为75kW左右。

经过上述三组形式的比拟可知，其三种计划最好，可缩小15kW的能源消费。

2BV真空泵属于机泵同轴式直联设计，节省空间，易于安装；

采用机械密封作为标准配置，消除了泄露，维护简便；

运行平稳，噪音可低到62分贝；

统一的耐腐蚀设计青铜叶轮提高了泵的耐腐蚀性，不锈钢材质则更适用于更为苛刻的应用；

独特的柔性排报导口设计，不会产生过压缩，确保了临朐恒昌机械厂生产的2BV泵在其性范围内效率最佳。

2sk-3是抽气量为每分钟3个立方的双叶轮水环式真空泵 简称双级泵

还有以FSK或F2SK打头的是玻璃钢耐腐蚀水环式真空泵。

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。下面就来说说真空泵型号的相关内容。

真空泵的型号

现在市场上水环真空泵的型号大致分为以下几种：

2BA水环真空泵及压缩机

2SK水环真空泵及压缩机

2SK-P1水环泵-大气喷射泵机组

2BV水环真空泵及压缩机

2BEC水环真空泵及压缩机

SK型水环真空泵：SK型水环真空泵及压缩机是用来抽吸或压送空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在密闭的容器中形成真空和压力，满足工艺流程要求。吸人或压送的气体允许混有少量的液体。

2BE型水环真空泵：2BE型水环真空泵及压缩机，在多年科研成果和生产经验的基础上，结合国际同类产品先进技术，研制开发的高效节能产品通常用于抽吸不含固体颗粒，不溶于水，无腐蚀性的气体，以便在密闭容器中形成真空和压力。

真空泵在工作时，需要注意以下两个方面：

1、尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上，可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。

如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。

如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，水环泵的使用寿命较长。

变容积式真空泵的工作原理和优缺点

往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高，但是活塞是运转部件，因此活塞的磨损是避免不了的，随着检修次数的增加工作真空度将不断下降，直至满足不了生产的要求。此类泵工作噪音大，耗油量大，故障率高也是其致命的缺点，一般都需要开一台备用一台，这无形中增加了设备投资与运行费用。另外如果用此类泵抽吸水蒸汽等可凝性气体，将使润滑油乳化，因此只能应用在抽吸不凝性(空气类)气体，也不能抽吸带有颗粒状的介质，这也就限制了其适用范围。

(2)水环真空泵是靠装在泵壳内的带有多叶片的偏心转子旋转，把水抛向泵壳形成与泵壳同心的水环，水环与转子叶片形成了容积周期变化从而将气体吸入、压缩并排出。它的优点是低真空时抽气量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体。它的缺点是真空度低不能抽吸带有颗粒状的介质转子高速旋转不易做防腐处理，因此不能抽吸具有腐蚀性的介质。

以上就是有关真空泵型号的相关内容，希望能对大家有所帮助！

清水泵

IS清水泵

ISGB便拆清水泵

ISW卧式清水泵

SG型清水管道泵

S.SH双吸泵

YT单吸清水泵

YW漩涡泵

ZX自吸泵、

ISG立式清水泵

热水泵、

ISR型单吸热水泵

IRG型立式热水泵

IRGB立式便拆热水泵

ISWR卧式热水泵

SGR热水管道泵

2. 耐腐泵

IH化工泵

IHG立式化工泵

IHGB立式便拆化工泵

SGP管道化工泵

DF多级化工泵

GDLP多级化工泵

FSB氟塑料合金泵

FB耐腐蚀泵

AFB单级化工泵

IHF氟塑料化工泵

FY耐腐蚀化工泵

FYS氟合金液下泵

油泵

IY单击油泵

AY离心油泵

YG立式油泵

YGB立式便拆热水泵

SGB管道油泵

ISWB卧式油泵

WRY热油泵

CYZ自吸油泵‘

KCB齿轮油泵

2CY双齿轮油泵

2CG高温齿轮油泵

多级清水泵

D清水多级泵

MD耐磨多级泵

DC锅炉给水泵

DG锅炉给水泵

DL立式多级泵

DLR立式多级热水泵

GDL立式多级泵

TSWA卧式多级泵

LG立式多级管道泵

污水泵

AS.AV潜水排污泵

WQ无堵塞排污泵

WL立式排污泵

WY液下排污泵

GW管道排污泵

HW蜗壳混流泵

ZW自吸排污泵

WG污水泵

PW污水泵

PWL立式污水泵

杂质浆泵

NL立式泥沙泵

NWL立式泥浆泵

YPN卧式泥浆泵

YPNL立式泥浆泵

LXL卧式浆泵

ZJ渣浆泵

ZJM渣浆泵

M.AH.HH渣浆泵

I-1B螺杆浓浆泵

潜水泵

QJ深井潜水泵

QS冲水潜水泵

QY油沁潜水泵

真空泵

SZ.SK水环式真空泵

ZKB真空泵

SZB真空泵

X真空泵

特种泵

CQ磁力驱动泵

CQF塑料磁力驱动泵

CQB不锈钢磁力驱动泵

ZCQ自吸磁力驱动泵

PB屏蔽泵

QBY气动隔膜泵

DBY电动隔膜泵

XBD消防泵

WFB自控自吸泵

N冷凝泵

NW输水泵

循环水在水环式真空泵中有三个作用：压缩介质、密封介质、冷却介质。

工作原理主要是靠偏心的叶轮旋转带动水环形成将吸气口吸入的气体压缩后至排气口排出，一个循环的吸排气过程，将吸气口连接的系统空气排出，形成真空状态。

用途很广泛：

★真空过滤(脱水)：化学制品厂、造纸厂、铁矿厂、磷肥厂、选煤厂等

★真空蒸馏：牛奶厂、食品厂、化工厂、纸浆厂等

★真空成型：塑料厂、橡胶厂、轮胎厂、聚乙烯产品制造等

★真空浸渍：食品加工、木器加工、纺织厂、胶合板厂、电线杆的制造等

★真空消毒：医院、医务室、实验室等

★压缩空气再生：纸浆、钢铁、汽车、玻璃、化工等

★真空脱气：瓶装厂、水软化、食品加工、食品包装等

★真空引水：自来水厂、排灌站、电站、水泵吸排饮水等

★真空输送：卷烟厂、制罐厂

★真空吸送：化工厂、真空造浪系统等

其他用途还有木材烘干处理、蒸汽回收、溶剂回收、土壤净化等等

亨联泵业为您解答，希望对您有帮助！

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原理：在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。