无油干式机械真空泵的原理及简介

水环真空泵主要是有液体做工作液来完成真空作业

其真空度一般

油式真空泵主要是用油密封工作腔来完成真空作业

其真空度高

干式真空泵主要是用两个密合转子旋转压缩来完成真空作业

其真空度较高

因为真空泵是抽气体的所以比较的时候是在同一抽速下比较容易理解

具体设计的使用环境

工作要求

所选择的泵种类也不相同

很多工艺只

有一种泵适合，所以要有业内人士帮你选择比较好。

真空泵的作用是抽真空，抽出工艺系统中的气体而满足使用要求

真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空浸渍、真空干燥及真空冶炼等

产业界看起来有长三角、大湾区、武汉集群、福州厦门集群、南昌上饶集群。

长春，长光所和长春理工，奥普光电，图丽肯高等等，研究所强而产业偏弱。

福州，福州物构所，福州大学；福州高意，福晶，华科光电，福光，福特科等等；在光学晶体方面，独领风骚。

厦门，厦门大学；三安光电，乾照，力鼎，爱劳德等等；LED方向，厦门是重镇。

杭州，浙江大学；海康威视，大华，水晶光电（台州），美迪凯，科汀，士兰微等等；安防监控，摄像头模组，非常强悍。

宁波，宁波材料所；舜宇，永新等等；宁波材料所偏磁性材料，而舜宇，永新在摄像头模组，显微镜光学领先。

南昌，南昌大学；欧菲光，联创，晶能，兆驰等等，辐射周边上饶地区。欧菲光强于触摸屏、摄像头模组，屏下指纹等，联创偏车载摄像头，晶能、兆驰主攻LED。

武汉，华科，武汉邮科院，武大，辐射周边襄阳、孝感、荆州、宜昌等；烽火科技，华为武研院，长飞光纤，华工科技，楚天激光，久之洋，武汉高德红外，三赢兴，五方光电，东田光电等等；光纤强，光器件、激光切割、红外强。

南京，南京大学，东南大学，南理工；茂莱、波长、英田、迈得特等等；仪器、红外、天文、非球面，各有所长。

丹阳，丹耀光学，眼镜光学，万新、明月、淘镜等等；依视路独领风骚。

广州，中山大学，华南理工；蔡司眼镜，陆逊梯卡，华国光学（佛山）；高端太阳镜、眼镜片，蔡司和陆逊梯卡是大咖。

苏锡常，苏州大学、苏州纳米所；维亚威、菲尼萨、贰陆光学、瑞声科技、长光华芯、捷普绿点；非球面镜头、光通讯模块、晶元级光学、摄像头模组、激光雷达、MEMS等等

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：  

一、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。  

1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：  

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二、动量传输泵 

它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。  

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。

罗茨真空泵使用说明：

新泵就位后先查看油位，齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜，电机侧以油窗中心略高为宜，轴伸上油杯不应缺油，各部位润滑油均采用1号真空泵油

智能真空泵一般特指集成了传感器、真空表、单片机等监控系统的微型真空泵、小型真空泵、微型气泵，能对真空泵关键参数如“真空度(负压)”、“流量”等进行实时、自动调整，从而完成一般要构建一个较复杂系统，才能完成的如“真空保压”、“自动定时停机、启动”、定时定量“真空抽滤”等的多种功能。

智能真空泵正面

跟大型真空泵动辄几十、几百公斤的重量和庞大的体积相比，智能真空泵重量、体积都要小得多，甚至可以说是便携式；因而常常也被叫做“智能真空仪”、“台式真空泵”、“自动真空泵”、“便携式真空泵”。

(1)可以调节实际工作中需要的真空度，可设定并通过集成的数字液晶面板，“实时”显示出当时的真空度(负压)值；

(2)流量可以进行大小调节；

(3)配备高灵敏度的进口传感器，优质流量调节阀门及精密控制电路，来完成“自动调节”功能，大大节省了开发人员的时间、精力；

(4)内置低干扰、长寿命微型真空泵；配合微型气泵专用消音系统及独立减震系统，确保智能真空泵能长时间、低噪音、可靠的工作；

(5)核心部件为一台微型真空泵，所以继承了微型真空泵无油无污染，可以连续24小时运转的优点，属于名副其实的干式真空泵，所以无需维护，不用加润滑油和真空泵油；

(6)交流220V供电，即插即用。

干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:

能在大气压到10-2Pa

的压力范围内工作在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,

即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的分类

现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分,

只有两类,

即:

①

容积式的无油真空泵,

例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa,

抽速为0.01～

0.04m

3?s。

②

动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,

在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,

可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,

抽速为0.02～0.15m

3?s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

这些干式泵和油封式机械泵相比,

达到同样的极限压力,

其残余气体成分则全然不同,经分析结果明,

油封泵的残余气体,

CnHm

气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,

而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。

有些干式泵在结构设计上,

如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,

也有用合成油,

如PFPE

油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,

严格来说不是全无油的泵,

但经分析,

这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。