直排大气用什么真空泵
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。多级气冷罗茨泵,国内沃德气体自主研发的专业技术,绿色环保,节能增效。
罗茨泵是加压的,用在泵的前级,一般在旋片泵或双级泵前加罗茨泵,用来提高真空度,它本身真空度不高,也有日本生产的罗茨泵可以产生0.5mbar的真空度,旋片泵是现在普遍用的一种真空泵,它的压力范围很广,500-0.1mbar,维护简单,两级泵就是相当于2台旋片泵串连起来用,特点就是真空度比旋片泵高,一帮0.006mbar,所以成本也高,主要是看自己用的行业来选泵,还有就是螺杆真空泵,真空度和旋片泵一样,适合大流量场合,要好又耐用还是选进口的才行,要很详细就加我慢慢聊
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
罗茨真空泵也分粗真空使用的湿式罗茨真空泵、气冷式罗茨真空泵,中高真空作为机械增压泵使用的干式罗茨真空泵以及多级罗茨真空泵。
无法单独启动的只是中高真空中使用的罗茨真空泵。简单的说,就是因为粗真空下使用,压差过大会使罗茨真空泵过热,导致膨胀卡死、电机烧毁,因此中高真空下的罗茨泵必须配备前级泵使用。而湿式及气冷式罗茨泵的间隙设计以及冷却设计作了针对处理,降低了真空性能换来了可直排大气的效果;多级罗茨泵采用多级设计,抽速由第一级确定,也可以单独使用。
1、如果是直接抽水:选用水泵即可
2、抽含水蒸气(水汽)的空气:选用水环泵或隔膜泵(水汽少的情况下)
3、抽热空气含水汽:选用真空泵+冷却器的方式
4、抽气含有腐蚀性:选用化工防腐泵
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虽然好像国外厂家的分子泵是可以抽大气的,但是一般是没有这样用,一般会给分子泵配一个前级泵,一般实现高真空的步骤:先用粗抽泵和罗茨泵抽一个低真空,一般在几帕真空度,然后再用高真空泵抽高真空,一般普通的分子泵和扩散泵的极限真空度在-4帕这个阶段。
当然想实现超高真空,除了对真空泵的要求,还有对整个真空系统的设计,制造,选材等都有很高的要求。还要采取其他的一些辅助设备等等。
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。下面就来说说真空泵型号的相关内容。
真空泵的型号
现在市场上水环真空泵的型号大致分为以下几种:
2BA水环真空泵及压缩机
2SK水环真空泵及压缩机
2SK-P1水环泵-大气喷射泵机组
2BV水环真空泵及压缩机
2BEC水环真空泵及压缩机
SK型水环真空泵:SK型水环真空泵及压缩机是用来抽吸或压送空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,以便在密闭的容器中形成真空和压力,满足工艺流程要求。吸人或压送的气体允许混有少量的液体。
2BE型水环真空泵:2BE型水环真空泵及压缩机,在多年科研成果和生产经验的基础上,结合国际同类产品先进技术,研制开发的高效节能产品通常用于抽吸不含固体颗粒,不溶于水,无腐蚀性的气体,以便在密闭容器中形成真空和压力。
真空泵在工作时,需要注意以下两个方面:
1、尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。
根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。
如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单,容易制造和维护,且在高真空情况下抗汽蚀性好。
如果仅作较大气量的压缩机使用,则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大,体积小,重量轻,径向力能得到自动平衡,轴不容易产生疲劳断裂,水环泵的使用寿命较长。
变容积式真空泵的工作原理和优缺点
往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高,但是活塞是运转部件,因此活塞的磨损是避免不了的,随着检修次数的增加工作真空度将不断下降,直至满足不了生产的要求。此类泵工作噪音大,耗油量大,故障率高也是其致命的缺点,一般都需要开一台备用一台,这无形中增加了设备投资与运行费用。另外如果用此类泵抽吸水蒸汽等可凝性气体,将使润滑油乳化,因此只能应用在抽吸不凝性(空气类)气体,也不能抽吸带有颗粒状的介质,这也就限制了其适用范围。
(2)水环真空泵是靠装在泵壳内的带有多叶片的偏心转子旋转,把水抛向泵壳形成与泵壳同心的水环,水环与转子叶片形成了容积周期变化从而将气体吸入、压缩并排出。它的优点是低真空时抽气量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体。它的缺点是真空度低不能抽吸带有颗粒状的介质转子高速旋转不易做防腐处理,因此不能抽吸具有腐蚀性的介质。
以上就是有关真空泵型号的相关内容,希望能对大家有所帮助!
一、真空泵抽取真空(机械法):
1、变容真空泵,是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种。
2、动量传输泵,它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。
二、工作原理:
气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,有以下几种形式:
1、吸附泵:依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2、吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
扩展资料
1、液环泵:
虽然液环泵属于粗真空泵,但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。
液环泵工作原理在国外,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%,仅次于干泵,由于液环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品。
2、滑阀泵:
由于滑阀泵比较耐用、可靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,滑阀泵工作原理但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。
3、直联旋片泵:
随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势。
关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。