旋片式真空泵在运行时真空度下降、这是怎么回事

抖动有两种主要类型：确定性抖动和随机性抖动。

确定性抖动是由可识别的干扰信号造成的，这种抖动通常幅度有限，具备特定的（而非随机的）产生原因，而且不能进行统计分析。

随机抖动是指由较难预测的因素导致的时序变化。例如，能够影响半导体晶体材料迁移率的温度因素，就可能造成载子流的随机变化。另外，半导体加工工艺的变化，例如掺杂密度不均，也可能造成抖动。

描述方法

可以通过许多基本测量指标确定抖动的特点，基本的抖动参数包括：

1、周期抖动（period jitter）

测量实时波形中每个时钟和数据的周期的宽度。这是最早最直接的一种测量抖动的方式。这一指标说明了时钟信号每个周期的变化。

2、周期间抖动（cycle-cycle jitter）

测量任意两个相邻时钟或数据的周期宽度的变动有多大，通过对周期抖动应用一阶差分运算，可以得到周期间抖动。这个指标在分析琐相环性质的时候具有明显的意义。

3、时间间隔误差（timer interval error，TIE）

测量时钟或数据的每个活动边沿与其理想位置有多大偏差，它使用参考时钟或时钟恢复提供理想的边沿。TIE在通信系统中特别重要，因为他说明了周期抖动在各个时期的累计效应。

抖动成分

随着信号速率的不断提高和对精度的越来越高要求，需要进行抖动成分的分离以更深入表征抖动特征和查找问题根源。一般按进行抖动成分的分离。

Total Jitter(TJ)：总体抖动；

Random Jitter(RJ):随机抖动；

Deterministic Jitter(DJ):确定性抖动；

Data Dependent Jitter(DDJ)：数据相关抖动；

Periodic Jitter(PJ):周期性抖动；

Inter-symbol Interference(ISI):码间干扰

Duty Cycle Distortion(DCD)：占空比失真；

Sub Rate Jitter(SRJ):子速率抖动。

异响一般有这么几个可能，1，真空泵转子轴承坏了，旋转不畅乱响，这个是最便宜的坏法。2，旋片坏了，但是这个东西坏了一般响声不大，且真空会变差。3，阀片坏了，这个最有可能，应为它坏了的话就是你说的这个声音，另外还有一个明显的特征，阀片的位置用手摸明显发烫。

基本上是旋片泵+罗茨泵组合的极限真空了，状况比较好的话，可以达到0.5pa，但是大部分都是在1～10pa左右。

反复变化的原因可能是旋片泵与罗茨泵配合问题，当真空达到一定程度后，旋片泵达到极限，少量气体回流导致浮动。也有可能是真空计质量不好，假象。

（1）旋片式真空泵油位太低，不能对排气阀起油封作用，旋去加油螺塞后有较大排气声，并有油雾，证明油位太低，加油即可排除。（2）油为可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，应该更换新的真空泵油。（3）泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气，大漏时，旋去加油螺塞有大的排气声，并有气和油雾排出，应找漏，消除之。（4）进气管橡胶件装配不当，损坏或老化应调整或更换。（5）油孔堵塞，真空度下降，可放油，拆下油箱，松开油嘴压板，拔出进油嘴，疏通油孔，尽量不要用纱头擦零件。（6）真空系统有严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。（7）旋片弹簧折断，应予调新。（8）旋片、定子或衬套磨损，应予检查，修整或调换旋片式真空泵。（9）泵温过高，这不但使油粘度下降，饱和蒸汽压升高，还可能造成泵油裂解。应改善通风冷却，降低环境温度。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内，环境温度高，应尽量采用较好的高速度真空泵油或3#扩散泵油。（10）由于零件的变形磨损或移动使止回阀头的最大开启高度降低甚至不能开启，进油过少而使旋片式真空泵的真空度降低，应调整，详见装配部分。开启高，进油多，但开启过高，止回阀在某些位置上停时将不能自动下落，失去防止返油作用。常用的旋片式真空泵主要有：双级旋片式真空泵单级旋片式真空泵

运转时有抖动，说明运转的原件不平衡。例如转子等。

一般设备出厂前都会平衡校正。

如果之前没有抖动现在才出现。

那么最大的可能就是有些定位原件损坏。造成设备不正常运转。

应该立刻停车检查，不应该继续运行了。