咨询关于爱德华真空泵
您好，实际上我的专业仅仅和真空沾点边，毕业之后在真空行业工作一年，而且现在也不在真空这个行业里面工作了。不过也是有一些了解的。
首先真空泵本身，真空泵有很多种，主要分为高中低真空泵：低真空的泵国产比较多，除了一些要求无油润滑的真空泵，用的进口比较多。这类的泵爱德华比较多。中真空比较多的是罗茨泵，罗茨泵国内和进口都有，国内基础的也做得也还好。高真空泵是一些专业真空设备的核心组件之一，主要分为扩散泵、复合分子泵、低温泵等。
扩散泵就是一个喷泉，利用热油喷射带走气体。现在国产的扩散泵比较多也比较好用。
复合分子泵是唯一一种可以达到高真空的机械泵。主要利用高速旋转的叶轮将分子单向排出。国产的以泰岳恒等牌子为主，但是好一点的都是用莱宝的。
低温泵是通过极低温（一般为10K以下），捕捉分子，让分子不在真空室内自由移动。这种泵好像还是莱宝用的多。
我们厂当时主要是买泵装配卖成套设备的。所以独立的泵方面只做过扩散泵。主要是泵壳成型焊接，泵芯制作，盘管（夹套）制作，底座加工，全套组装，加油，上电测试等，具体真空泵都有自己的特点。
给你个建议吧，真空泵厂家都有自己的产品资料，去官网看看吧，产品选型手册很厚一本的，只是很多产品和国内比性价比不高，国内不常用罢了。
自带。
爱德华真空泵自带气震器，真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。
四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱（仅限 iH1000）
请问是已经维修过了，还是没有维修过就无法启动呢！
一般爱德华真空泵无法启动有一下几个原因：
1、电源线连接不正确：对策：检查维修电源线, 以连线正常
2、电机保护开关设置不正确：对策：正确设定电机保护开关。
3、供给电机的电源电压与电机不匹配：对策：更换电机，电机功率需和真空泵相匹配
4、电机发生故障：对策：检修年电机是否故障，是否可以维修，是否需要更换电机
5、真空泵油温低于12℃（54℉）：对策：把泵和泵油加热到需要的温度值以上或使用适用于此台真空泵牌号的真空泵油
6、真空泵油太粘稠：对策：换真空泵油,需要使用合适于此泵的适用真空泵油
7、排气过滤器/排气管路堵塞：对策：更换排气过滤器并检查看是否需要清洗排气管路，一般每月检查排气过滤器，每年要更换一次。
8、真空泵被卡死（现象：真空泵卡住）：对策：检修真空泵，看是什么原因卡死，针对问题更换零配件，修复问题。
该结构包括滤网、进气管、压板、排气阀片、旋转片、弹簧、转子、放油塞、油标、排气口、皮带轮、轴端密封和级间排气通道。它具有结构简单、运行可靠的特点，应用广泛。
一、爱德华真空泵工作原理和结构特点
1、工作原理：它是一种容积可变的真空泵，依靠插入偏心轮转子中的几个旋转板，可以滑动进出，隔离、压缩和排出泵体内的气体。
2、结构特点：该结构可分为两类：油封式和油浸式。泵体结构有三种类型：整体式、中壁压入式和组合式。转子结构有三种类型：整体式、压缩套筒式和转子盘式。排气阀是旋转叶片泵的主要易损部件之一，它影响泵的泵送性能并产生噪声。有两种形式：一是用橡胶垫作为阀板另一种是用布酚醛压板或弹簧钢片作为阀板，排气阀必须浸在泵油中。
爱德华真空泵的结构和维修知识
气镇阀：真空泵设计用于泵出可冷凝气体，由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时，止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油，改善泵的润滑条件，扩大泵的应用范围，旋转叶片泵还配有许多附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等。
爱德华真空泵常见故障与消除方法：
1、真空度低：(1)油量不足。加油。
(2)泵油不清洁，乳化了。开气镇阀，换新油。
(3)泵油牌号不对。换油
(4)进油孔堵塞。清理进油孔，调节油量。
(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处，更换密封圈。
(6)排气阀片损坏。换新阀。
(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。
(8)泵温升高，油的粘度过低。加大冷却水量。
(9)泵油气体温度过高。加气冷装置。
(10)端盖螺钉松紧不一，造成转子轴芯偏移。拆开重装。
(11)旋片弹簧断裂。换新弹簧。
(12)进气管过滤网堵塞。清洗。
(13)气镇阀未关好/损坏。关闭/修理。
(14)泵轮键断裂，轮空转。换键。
2、卡泵：
(1)端面间隙过小，泵油温升过高。研磨旋片，调整间隙。
(2)泵内进入杂物。清理。
(3)泵温升高。加强水冷。
(4)转子断裂。拆泵更换。
(5)泵腔生锈。洗锈。
3、噪声大：
(1)旋片弹簧断裂。换弹簧。
(2)装配零件松动。重装。
(3)零件有毛刺，装配有变形。重装、修磨、换件。
(4)电机轴无油。加润滑油。
4、漏油：
(1)轴孔、端盖、油标、油箱等部位密封件损坏或没压紧。换密封件，拧紧螺钉。
(2)油箱有漏孔。堵好漏孔。
5.启动困难：
(1)油温过低。加热到15℃以上。
(2)泵内润滑不好。调节油量。
(3)泵腔内未放气，大量油进入泵腔。停泵时放气。
6、喷油：
(1)系统突然暴露大气。关低真空阀，继续开阀。
(2)油量过多。调节油量。
(3)转子旋转方向反了。重接电源，换向。
7、不抽气：
(1)泵轮键断裂，转子不转。换新键。
(2)双级甏转子十字接头断了，高真空级不转。更换。
(3)没打开进气口阀。打开阀。
(4)排气阀片碎了。更换。
爱德华真空泵的维护很简单，节能控制意味着可以极大地延长大修保养间隔时间。如果您忘记了保养，直观的 Airlogic 集成界面会监控性能并在需要保养时进行提醒。智能设计极易维护和操作，缩短了执行全面检查和常规保养的时间。经常关注系统的保养需求可极大地延长大修间隔时段，并确保清洁高效运行。为保持佳性能，建议您始终使用原装 Edwards 零件。为此可提供品种齐全的备件和润滑油
你好：
看油的颜色，颜色深了，就需要更换了，
看真空泵油没有冒烟，有冒烟的情况，如果油雾分离器没有问题，就需要考虑真空泵油的问题
就是看爱德华真空泵上的提示的时间，如果真空泵油到了那个时间，就需要考虑更换真空泵油了
