机械泵干泵和油泵的区别

工作原理用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

先由转动真空泵把系统抽到10-2帕扩散泵油被加热沸腾，以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结，待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出，从而逐渐获得高真空。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

扩展资料：

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

参考资料来源：百度百科-真空泵

（1）、罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。

罗茨真空泵使用说明：

新泵就位后先查看油位，齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜，电机侧以油窗中心略高为宜，轴伸上油杯不应缺油，各部位润滑油均采用1号真空泵油

从2021年初开始，干式螺杆真空泵就“出圈”了。到了11月，光伏行业的业务出现了爆发式的增长，再次引起了业内人士的关注，也再次将干式螺杆真空泵推上了风口浪尖。与此同时，逐渐能够抢占国际高端市场的国内螺杆干式泵厂商也引起了大家的关注。干式螺杆真空泵是一种高科技产品，主要用于高纯度真空工艺。具有高真空度，能适应恶劣的工作条件，并具有抽取冷凝和颗粒气体的能力。特别适合洁净环境，容易做防腐处理。干式螺杆泵(RSP干式螺杆真空泵)光伏行业是干泵的“消费大户”之一，在电子、化工、生物医药、金属加工、食品加工等领域的应用也十分广泛，不可或缺。干式螺杆真空泵由于技术含量高，生产厂家自然要求更高。公司的自主研发能力、技术工程师的综合素质、拥有的技术专利数量以及使用的生产和检测设备都对产品质量起着决定性的作用。这些也是买家在选择国产干泵厂家时会重点考虑的几点。螺杆泵真空装置(干式螺杆泵装置)中国有几家知名的干式螺杆真空泵制造商。你会选择哪一家作为你的供应商？刚才提到的几个方面，必须重点调查。其他因素包括品牌历史、品牌声誉和市场份额。豪凯德是干式泵制造商之一。由于螺旋干式泵的应用受到工业领域的青睐，公司的生产和R&D热情非常高，特别是随着光伏产业的快速发展。目前，公司的干式螺杆真空泵已经开始批量供应给国内外多家光伏制造企业。同时，加快锂电池和半导体行业真空泵的研发和生产。

干式真空泵的定义

干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:

能在大气压到10-2Pa

的压力范围内工作在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,

即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的分类

现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分,

只有两类,

即:

①

容积式的无油真空泵,

例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa,

抽速为0.01～

0.04m

3?s。

②

动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,

在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,

可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,

抽速为0.02～0.15m

3?s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

这些干式泵和油封式机械泵相比,

达到同样的极限压力,

其残余气体成分则全然不同,经分析结果明,

油封泵的残余气体,

CnHm

气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,

而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。

有些干式泵在结构设计上,

如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,

也有用合成油,

如PFPE

油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,

严格来说不是全无油的泵,

但经分析,

这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。

水环真空泵主要是有液体做工作液来完成真空作业

其真空度一般

油式真空泵主要是用油密封工作腔来完成真空作业

其真空度高

干式真空泵主要是用两个密合转子旋转压缩来完成真空作业

其真空度较高

因为真空泵是抽气体的所以比较的时候是在同一抽速下比较容易理解

具体设计的使用环境

工作要求

所选择的泵种类也不相同

很多工艺只

有一种泵适合，所以要有业内人士帮你选择比较好。

真空泵的作用是抽真空，抽出工艺系统中的气体而满足使用要求

真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空浸渍、真空干燥及真空冶炼等

因为干泵的工作原理和油润滑泵原理不同，有些特殊场所要求必须要无油，所以就有了干泵了。干泵还分为很多种，我所知道的有微型无油泵（膜片式，摆动活塞式），无油旋片式真空泵，螺杆泵，涡旋泵等类型。这些泵的工作原理都不需要泵油来润滑，冷却，散热，所知有限，希望我的回答能对你有所帮助。

原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

国产的真空干泵也有很多生产厂家，质量最好的，最典型的龙头企业就是沈阳科仪了，自从沈阳科仪生产出来自己的真空干泵后，整个国内的进口真空干泵的价格都下降了，对国内的真空干泵做出了巨大的贡献呀！

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。