飞越真空泵vrd-8说明书

旋片式真空泵使用说明：1、与泵联接的管道不宜过长,且不宜小于泵的进气口径。2、被抽气体温度不得高于40℃,否则应把气体冷至常温。3、含有较多尘埃的气体则应加以过滤,有腐蚀性及油起化学反应之气体则应加气体吸收及综合装置,如含水蒸气过多,则应加去湿装置,以防止泵油弄脏,影响其真空性能及泵的使用寿命。4、泵云装过程中油温不能高于70℃,在正常工作时应听到“嗒、嗒、嗒”之排气声,如有异声或温度骤升时应停止工作,检查原因。▲检查油温时,小心接触,以免烫伤。5、泵不使用时,应把进气口盖好,以免污物落入泵内6、停泵前必须关闭其余被抽系统联接之阀门(避免泵油进入被抽系统),然后关闭电机并注意是否打开了充气阀,最后停止冷却水。7、普诺克真空科技本产品使用的真空泵油如为本《使用说明书》上规定性能则能保证产品性能。但如用其它的品种,我们将不能确保泵的性能达到使用要求和寿命要求。8、根据不同的使用环境,油的更换周期不同。更换油时,先敞开进气口,拆下油箱盖,用于旋转皮带轮(按箭头方向),把泵腔油全部排至油箱,用油扫扫出后用布抹干净。如需彻底淸洁,可再在进气口倒适量的清洁油,重复上述过程。清完后,倒入新真空泵油至油镜中线位置(保证正常运行时,油面处于油镜中线高度),注意油量不能过多,否则会影响泵的再次启动及喷油。9、真空泵是用来抽除密封容器中的气体,开机后会从排气口排出油和空气混合的烟雾状气体,俗称“烟”。排“烟”时间长短视容器大小而定。如果在油温不高的情况下长时间有烟,则证明管道或被抽容器漏气直接导致真空度不高,应检查漏气原因。▲泵内部核心部件,非绝对必要,切不可自行拆卸,如有损坏或装配不当,会影响泵的性能。

1、首先双立人真空泵使用说明请注意遵守预防事故规章VBG?16条对于空气压缩机的有关规定，特别是第IIIc段“安装”和第IV段“运行”，以及VBG第四条“电气设备与器材”的规定。

2、其次本真空泵用于产生抽空（真空）

3、然后连接与安装，确保尺寸正确和管道清洁干净（无焊接滴溅物，无缺口或类似污染物）。管道直径至少应与连接螺扣相等。长度超过2米的管道其直径应选择大一码。

4、最后维护保养，经常性的维护保养可使真空泵保持良好工作状态。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

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iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。