罗茨真空泵、压差、真空机组公式

要从三个方面考虑罗茨真空泵的前级泵：

1、应考虑预抽时间的要求。

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2、应考虑对罗茨真空泵机组的极限压力的要求。

3、还应考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。

机组要安装在明亮少尘、通风性能良好的建筑物内，环境温度-5—40℃，相对湿度不大于90%。机组周围应留有充分的空间，便于日常检查及维护保养。机组出厂时一般已安装在机架上，用户需浇注混凝土基础，并在混凝土中埋进地脚螺栓，基础表面要求水平。机组固定就位后，连接管路管道通径不得小于进出气口径，管道内应无任何焊渣，杂物等异物，主泵进气口上方与系统连接管路中应安装阀门，最好为自动止回阀，使机组与系统隔开，严禁在泵口进行焊接。罗茨泵与MH-2真空泵的冷却水压为0.1MPa—0.3MPa以内，且管路通畅，管路上应装阀门。当机组抽出对人体有害气体时，应把气体引离至室外，并使气体通畅排出或配上废气处理器，连接管路不得小于排气口径。电气控制柜应安装在便于操作，无危险性，无腐蚀性的地方。用户自备电气柜时，应根据机组的工作程序自行安装设计，电器设备必须具备互锁及自动过载保护功能。各泵的转向应符合规定要求（泵上有转向标志）。自动化操作过程中，机组冷却水压必须达到要求，否则机组无法启动工作。强制启动，当心机组发热咬死。

罗茨真空机组是由罗茨真空泵和前级泵串联组成的真空机组。一般抽真空极限可达到真空度2帕到0.02帕。

罗茨真空机组正确开启方法：将机组连接到被抽容器上后，开启罗茨真空机组冷却水，开启前级泵，然后缓慢打开主阀（一般就是罗茨真空泵的入口阀），这时罗茨泵开始跟转，待容器真空抽到1000到500帕时（简单的判断方法：罗茨泵不跟转了），开启罗茨泵，直到你所需要的真空度。

为何罗茨泵要待前级泵抽到一定真空后才能开启呢？因为罗茨泵的转速高，如果真空度低，泵转动时空气压缩会产生大量的热能，同时两个“8”字形转子转动主力大（主要因素），电动机的负载大，可能会烧坏电机。

以上手打

罗茨真空泵前级泵选择：

罗茨真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成机组，使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力，由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速是重要的，罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的，在高排出压力下，最大压缩比最多大3：1，而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1，甚至更高些。

因此，雅之雷德提醒：选择前级泵的抽速，要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时，压缩比K=600：30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。

由此得出，当选用30升/秒前级泵时，在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。

对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa～1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

首先我们了解5*10-5帕，是一个相当高的真空度水平；其中涉及到的真空泵有前级的旋片真空泵+分子泵还要有一台离子泵；

基本到达10-2帕是很快的，后面就要耗时间了。这需要长时间的烘烤脱气才能达到。5min时间就本人从业十几年的经验，想想就可以了。

通过真空泵连接阀门管道真空腔体，打开真空泵及阀门即可。

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

真空机组正确开启方法：将机组连接到被抽容器上后，开启罗茨真空机组冷却水，开启前级泵，然后缓慢打开主阀这时罗茨泵开始跟转，待容器真空抽到1000到500帕时开启泵，直到你所需要的真空度。