好凯德爪式真空泵的工作原理是什么

真空泵安全操作流程：

1、操作前的准备工作：

首先应将设备放置在水平、通风、干燥处，将真空机组抽气口与被抽系统连接好，密封一定要严密，不应有泄漏点存在。检查真空泵和罗茨泵内的油位及油杯中的润滑油是否符合要求，连接好电源线和接地线。检查是否有其他不安全因素。

2、操作机组的启动运行：

接通主电源开关，主电源指示灯亮；将控制方式放在手动或自动位置；按下控制电源按钮，指示灯亮(真空泵、增压泵和急停按钮应复位，否则控制电源按钮无法接通)，如电源相序错误黄色指示灯亮，则需换相。将真空泵断路器接通，按下真空泵控制按钮，真空泵指示灯亮，同时真空泵运转。

根据实际情况调节增压泵的延时(通过时间继电器，调节范围在1—6分钟)。将增压泵断路器接通，按下增压泵控制按钮，增压泵指示灯亮，同时增压泵运转。油井内设有油位开关，当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警，同时系统关闭。

3、关机停运：

关闭高真空蝶阀一关闭机械增压泵一关闭真空泵一按急停按钮，控制电源关闭一关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时，设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。

扩展资料

真空泵使用注意事项：

1、拆开包装，在泵体与电机的联轴节处用手指按箭头的方向尽力旋转；

2、打开真空泵油箱上面的加油螺塞，将配好的真空泵油倒进泵内，油位应该在油标可见部位的二分之一与三分之二之间。若油位过高会导致喷油的现象，如果过低会影响真空度，还会导致温度上升的同时也会增加噪音，会影响泵的性能。泵油选用一号真空泵油即可；

3、打开进气口和排气口上的黑色橡胶盖，从进气口加入少量(一小勺)真空泵油便于启动，连接真空泵与真空系统(真空泵进气口必须低于被抽仪器之出气口)，被抽仪器与真空泵连接的管道不适宜太过于长。

连接管的口径不能小于真空泵进气口的内径，否则会影响抽速，但必须小于进气口的外径，否则影响密封度。被抽容积不能过于大，一般会选用泵的抽速以秒为单位的15-20倍。在活动的接头处，最好涂上真空脂，以增强其密封度；

4、接上电源，装接电线时，要注意电机铭牌上的接线规定的要求；

5、三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向(注：对三相电机确定转向时，必须在瞬间进行)；

普旭（Busch）是一家在全球范围内提供真空泵、鼓风机和压缩机的生产厂家。到2015年为止， 普旭在全球范围内拥有3000名员工。 广泛的真空泵系列、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及广泛的服务网路，使得普旭（Busch）完全有能力为客户提供理想并完善的真空解决方案。

基本介绍公司名称 ：普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司 外文名称 ：Busch 总部地点 ：德国马尔堡 成立时间 ：1963年 经营范围 ：真空泵及真空系统 公司性质 ：德国独资 员工数 ：3000余名 基本情况,中国公司,产品介绍, 基本情况 普旭（Busch） 是真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。产品系列涵盖了广泛套用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。凭借在真空泵及低压泵制造领域 50 多年的经验，普旭（Busch）可提供种类齐全的产品，为全球提供广泛的工业真空技术。 普旭（Busch）创建于 1963 年，总部位于德国马尔堡。普旭（Busch）在德国、瑞士、美国、英国、韩国、捷克共拥有 6 家现代化制造工厂，连同遍布于 43 个主要工业国家的 61 家分公司及完善的经销服务网路为全球用户提供专业服务。 中国公司 普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司是德国普旭（Busch）在中国的全资子公司，成立于 2001 年 8 月，位于上海。装备精良的维修车间配有先进的成套进口设施用于净化（除污）、检测、维修及测试。另设有真空系统制造和调试车间，可以自主完成系统设计、组装和调试，以确保为客户量身定制的系统达到普旭（Busch）全球的标准。同时，宽敞的室内仓库备有充足的产品和配件库存，保证及时现货供应，满足客户的需求。分别在北京、广州、成都、武汉设有办事处。 产品介绍 油润滑旋片真空泵 旋片技术简化了真空泵的工艺结构。油润滑旋片设计，辅以完美的制作材料，配以最先进的精密制造，确保其在持续运行时可以获得稳定的高真空。高效的抽气系统和集成式回油管路结合先进的排气过滤器能确保排气洁净无油污染。当配备气镇阀（可选）时，可处理更大容量的蒸汽。当关闭真空泵时，入口法兰内的单向阀可防止空气回流至真空仓内。泵体由一台法兰连线的标准电机直联驱动，电机能效等级为 IE2。 爪式真空泵及压缩机 爪式真空泵的两个爪形转子在缸体内以彼此相反的方向旋转。空气和工艺气体被爪型转子吸入后压缩并排放。爪型转子之间既不会互相接触，也不会与其运转所在的缸体发生接触。爪型转子与缸体之间的紧密间隙既对其密封性进行了最佳化，又保证了持续的高抽速。同步齿轮确保了转子精确的同步运转。普旭（Busch）的 Mink 爪式真空泵一台法兰连线的异步电机直联驱动，电机能效等级为 IE2。 Mink

乾式螺杆真空泵-工业 COBRA Industry 乾式螺杆真空泵能高效运行于众多工业领域。该型号展现了在无油真空技术所拥有的多年经验，采用传统轴承系统，是加工技术套用的理想之选。 COBRA Industry 乾式螺杆真空泵-半导体 COBRA Semicon 乾式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解 COBRA Semicon 决方案。具有不同版本：DS（行业标准、气密、传统轴承系统）、BA（气密、悬挂式轴承系统、气冷型）、BC（气密、悬挂式轴承系统、水冷型）。所有这些真空泵都是专为半导体行业的复杂套用而设计的。 　 罗茨真空泵 Panda 与 Puma 罗茨泵是无油运行的真空泵，需配合前级泵使用，适用于所有需要大吸气量的粗真空和高真空套用。此类加强型真空泵大大提高了前级泵的输出。

Puma/Panda 系列类型真空泵：WP/WPA（工业用、标准型）、WV（工业用、带旁通阀）、WY（半导体、气密）、WZ（半导体、带旁通阀、气密）。 乾式旋片真空泵及压缩机 Seco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技术原理。由于使用自润滑旋片，因此无需工作液润滑。完全采用无油乾式压缩的方式。通过完美匹配的材料、腔体内的特殊石墨旋片、有效的排热和先进的精密加工工艺，得以实现连续运行时的高真空。 Seco 罗茨风机 Tyr 三叶罗茨风机依照罗茨系统原理工作：两个平行的转子在泵体内以相反的方向运转。泵送介质被密封在转子和泵腔之间，并通过转子的旋转运动，将其压缩后泵送至排气口。风机入口配备有集成消音功能的进气过滤器。而被压缩介质经风机排放之前，它也将由排气消音器处理后排出。驱动设备由电机及三角皮带构成。三角皮带的驱动方式可使风机转速得到精确的调节以配合生产工艺。 液环真空泵及压缩机 液环真空泵通常将水用作工作介质。偏置叶片在部分填充液体的泵腔中旋转。叶片的旋转运动所产生的离心力使泵腔内的液体形成液环。气体在各叶片和液环之间的空间传递。由于叶轮偏置，空间增大，生产气体通过吸入槽吸入；随着叶轮继续旋转，空间减小，从而使气体被压缩并通过排出槽排出。真空泵可采用水循环的开环或闭环进行操作。 侧流风机 Samos Samos 侧流风机根据脉冲原理工作，旋转叶轮产生的动能被传送到泵送介质并转化成压力。直接安装在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳形成的侧通道使得介质在其中被压缩，然后通过压力侧的消音器排出。直接安装在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳形成的侧通道使得介质在其中被压缩，然后通过压力侧的消音器排出。 涡旋真空泵 Fossa 涡旋真空泵主要由固定涡旋盘与驱动涡旋盘构成。驱动涡旋盘在固定涡旋盘中转动，产生一个旋转输送动作，将气体从涡旋盘外缘吸入，然后将其在两个涡旋盘间压缩并输送至涡旋盘中央。 涡轮分子真空泵 普旭（Busch）涡轮分子真空泵 TM 1100-2200 A 采用涡轮机工作原理。快速旋转的涡轮叶片在定子叶片之间转动。这种转动将动能传至真空泵内无序的气体颗粒，进而将气体分子从进气口通过压缩传送至真空泵的排气口。 Turbo 扩散真空泵 Rangu Rangu 扩散真空泵的基本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的工作液。油蒸汽上升进入喷嘴系统，经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出系统。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移，流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝结，直接返回机组底部。借助其多阶段、创新的喷嘴理念，Rangu 扩散真空泵可以提供极高且稳定的抽速。 真空系统 真空系统 通过全面了解影响选择的因素，寻找最适合具体套用的真空解决方案。普旭的系统工程师在设计过程中考虑各方面要求，根据其在全球众多安装项目中获取的经验，为客户量身定制真空系统。

嗯这样的，真空泵大概的制作流程分为：真空泵壳体毛坯、外壳车铣加工、真空泵叶轮加工、真空泵底座加工、全套组装、上电机测试真空度、测试抽气速率等，这些都完成合格后就可以喷漆包装出成品了，这些也是我们大路通真空泵的大概生产过程。

1、首先要了解真空泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。

2、判断真空泵故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。

3、排除油泵故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。

4、有毒有害、有腐蚀性的真空泵，应请用户先行清洗，并告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。

5、干式真空泵故障分类

建议把故障分为运转故障和性能故障。

运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。

性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足要求。

6、故障判断与诊断例举

（1）真空泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。

①真空泵泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。

②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。

（2）真空泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。

（3）进口真空泵漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。

自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。

（4）进口真空泵漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。

（5）大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。

（6）干泵极限压力不达标。

可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、真空泵运转不正常等引起。

外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。

如果真空泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检杏仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。

极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。

用经校准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。

极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。

（7）真空泵噪声大。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。

（8）真空泵喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况,挡油板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡油帽、气分离器，油位的高低，进油量的大小，都会影响泵的喷油，泵门敞开抽大气时，直联泵排气口的气流速度可以高达30m/s，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。

7、其他。有些真空泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器(防油蒸汽返流用)，有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤器失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。

8、真空泵清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转了内部，不易排出。

9、真空泵拆装。要按照使用说叫书推荐和规定有序进行，记好位置，合理摆放，以免错装。

干泵的泵腔内没有任何液体，可以从大气抽到几个Pa。1980年干泵在半导体行业己经替代油封式机械泵，获得（1～100）Pa的极限压力，用于化学汽相沉积和芯片的刻蚀。过去半导体行业的油封机械泵都是采用惰性的氟油来润滑，以防止腐蚀性气体对油的侵蚀，但是氟油十分昂贵，而且维护费用亦很高。

采用干式真空泵，泵内不仅不存在润滑油，而且亦不存在废液处理的问题。但是泵腔内没有油，就使得泵腔内部的间隙无法保持密封，而且还失去了用于控制温度的传热介质，这对干式真空泵带来很大的挑战。

早期的干泵是由几级罗茨型转子或几级爪型转子串联而成，它们在泵腔内没有任何接触，用同步齿轮带动二个平行的转子轴，由于泵腔内没有任何液体，所以内部间隙要尽可能保持很小，以减少气体的返流。但是这个很小的间隙对于工艺颗粒的堆积显得十分敏感，目前解决这个问题的办法就是：从泵的入口充入惰性气体将它冲刷掉，或者用惰性气体来稀释可凝性的腐蚀气体。

干泵在半导体行业应用成功，亦激励干泵制造商将干泵引入化学工业，虽然干泵价格昂贵，但运行成本较低，特别是没有废液处理问题，对环境和健康十分有利。目前各种类型的干泵很多，包括涡旋泵、隔膜泵、干式旋片泵、罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。在化工行业应用中占主导地位的是罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。

1 罗茨型干泵

罗茨型干泵是属于较大型的干式真空泵，在化学工业有着广泛应用。该泵是由三级三叶型罗茨转子串联组成，它们装在同一根轴上，各级转子之间由中隔板隔开，形成各级泵腔，上一级排气口连到下一级进气口，各级串联进行抽气。各级转子的直径和形状是相同的，各级转子的宽度向高压侧方向变窄，但是这种设计均需要级间冷却，亦即上一级排出的气体通过热交换器后冷却后再进入到下一级的入口，如图8所示。这种三叶型的罗茨型干泵虽然可以减少气体返流，但是被抽气体要经过曲折路程才能排出到泵外，容易造成工艺物料堆积在泵腔内，而且颗粒杂质也不容易直接排出到泵外。罗茨型干泵可以从大气抽到10Pa，抽速为（36～60）升/秒。

图8 罗茨型干泵

2 爪式干泵

爪泵在1930年就己经研究成功，并首次用于压缩机行业，这种爪式转子的特点是在高压下具有高的压缩比。爪式转子还具有两个功能：一是用来截获、输送以及压缩气体，另一个就是像阀门一样，在适当的时间打开和关闭吸气口和排气口。目前这种泵的设计结构大都是由一级罗茨转子与三级爪式转子串联而成，罗茨转子作为高真空级，爪形转子作为压缩排气级，如图9所示。

图9 单爪式泵

这种爪式干泵早期应用于半导体的溅射、刻蚀、离子注入及PCVD薄膜制备等领域时，由于在工艺过程中会生成大量微小颗粒或反应生成的腐蚀性介质，可以通过向泵口引入惰性气体进行清洗，以防止微小颗粒在泵腔内沉积，同时亦降低腐蚀性气体的浓度。爪型泵己经在化工行业的蒸发、蒸馏、干燥、浓缩等领域应用。这种爪型泵的极限压力为（1～10）Pa，抽速为（25～140）L/s。

3 螺杆真空泵

螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦组件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域到广泛应用。

螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口，见图10。

图10 螺杆真空泵断面图

早期的螺杆真空泵是等螺距，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成，另外一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵，螺杆是由一个整体材料加工制作而成，各种不同的螺杆设计见图11所示。

图11 各种不同的螺杆设计

变螺距真空泵的最大优点就是比等螺距螺杆真空泵节能30％，排气温度亦较低。图12和图13分别为等螺距与变螺距的P-V图。

图12 等节距螺杆P—V图

图13 变节距螺杆P—V图

与罗茨型干泵和爪式泵相比，螺杆真空泵被抽气体在泵内的路程很短（见图14、15、16），很少受到扰动，可以迅速排出，因而微小的颗粒杂质不易积累在泵内。

图14 多级罗茨式

图15 罗茨+爪式

图16 干式螺杆泵

另外，螺杆真空泵的抽速特性较好，有效工作压力范围很宽，在大气到100Pa时仍有较高抽速（见图17）。

图17 抽速特性比较

由于螺杆真空泵大多数是用于抽除腐蚀性或危险性气体，为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或生锈并延长泵的使用寿命，根据不同的应用可选择下列不同的涂层：

PTFE(聚四氟乙烯)涂层：

●耐化学性能好；

●涂层寿命较短；

●熔点低于300℃；

●耐磨性较差。

NIFA涂层：

●2个涂层（Ni+PFA），第一层Ni（15～20）μm，第二层PFA（25～35）μm(可溶性聚四氟乙烯)；

●对所有的化学物质均具有良好的耐腐蚀性；

●耐机械划伤的性能好；

●即使PFA涂层磨损，仍然有Ni涂层保护基体材料。

NIFLON涂层：

●1个涂层（PTFE溶于化学镀Ni）15～20μm；

●良好的耐磨性；

●对基材具有良好的结合力；

●对极大多数化学物质具有良好的耐蚀性；

●耐机械划伤；

尽管螺杆真空泵有涂层保护，但是仍然要避免腐蚀性介质冷凝在泵内，因此正确的操作使用和日常维护仍然十分重要——

在启动螺杆泵以前，首先要从泵的入口充入惰性气体，运行半小时，使泵腔内的温度升高，以防止被抽气体冷凝在泵腔内；

在螺杆泵停机以前，亦要从泵的入口充入惰性气体，运行半小时，以彻底清除泵腔内的残余物质；

如果工艺物质堆积在泵腔内，造成再启动困难或启动电流过大，则需要在停泵情况下，关闭主阀，打开排气口，用水蒸汽进行冲刷，直到泵可以灵活转动为止；

最后，由于螺杆泵在化工行业使用工况比较恶劣，必须根据使用说明书的要求进行日常维护。

结语

液环泵结构简单，运动部件少，操作、维护都十分简便，而且价格亦较低廉。螺杆真空泵虽然价格比较昂贵，但性能十分优越，运行费用亦低，不存在废液排放问题，既节能又环保。所以上述两种真空泵最适合于化工工艺应用。

使用旋片式真空泵在起动时应先把系统的连接法门关闭，起动后再慢慢打开连接系统的法门，这样可以避免因进气量过大造成泵内的油液喷出而流失。关闭真空泵之前应先关闭系统连接法门，然后再停泵，这样可以避免系统内反流回气体，破坏系统真空度。

为了使系统内不存在任何一点易于大量放气的物质以及除去蒸气压较高的物质,必须进行彻底的处理。不同的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法，常用的真空元件清洗方法如下。

(1)好凯德旋片式真空泵的清洗

对无明显故障的好凯德旋片式真空泵的清洗,一般不拆开泵,只需从放油孔排出旧油及脏物,用漏斗从进气口注入新真空泵油(作洗涤用),用手慢慢的旋转泵轮几圈后,再把此油放出。用同样的方法重复一、二次,就可灌新油正式使用。对新好凯德旋片式真空泵不必清洗,但需要检查管道入口处是否清洁,有无异物,并擦去表面油灰。

(2)金属扩散泵的清洗

雅之雷德机电科技根据实际经验总结,可按下述步骤进行:

①将泵内的喷口及引管小心地取出,并拆开,用干净的棉纱或废纸将泵内部及各级喷口与引管上的油脂擦掉

②用浓度为50～100克/升的苛性钠溶液,并加热到60～70℃,进行浸洗,或者直接用有机溶剂如四氯化碳,三氯化乙烯、丙酮等进行浸洗

③用热水冲洗

④用冷水多次冲洗

⑤将零部件用热风吹干或在烘箱中烘干。

(3)对玻璃扩散泵、玻璃管及玻璃活栓的清洗

①用冷水充分冲洗,必要时用药棉擦试

②若玻璃表面有油脂时,用较浓的苛性钠溶液清洗

③用重铬酸钾溶液(又称洗液)清洗,其配方如下:

重铬酸钾饱和水溶液 20～30毫升

浓硫酸(94%

) 500毫升

配制方法是,将重铬酸钾加入蒸馏水内,直到结晶不再溶化,即得到饱和溶液,量出所需的数量,然后将浓硫酸缓慢加入并不断的搅动,即配成洗液。使用时温度最好在100～110℃,此时溶液是透明红色,用过多次失效后,溶液变成绿色或泞污

④冷水冲洗,再用蒸馏水洗,玻璃上应没有肉眼可见的水珠

⑤用吹风机吹干或放于烘箱内烘干。

(4)真空橡胶管(或橡皮块)的清洗

①在15%～20%苛性钠溶液中热煮(70℃

～80℃)1小时以上。

②冷水漂净

③在水中煮沸

④吹干或烘干。

(5)玻璃活栓在使用下清洗

玻璃活栓在使用一段时间后,常后产生漏气,转动困难,此时可用药棉花醮点汽油、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油脂。待溶剂完全挥发后,再涂以适当型号的真空脂密封。

(6)金属零件的清洗

一般小型金属零件,用有机溶剂去除油污,然后烘干。对金属零件及材料若有特殊的清洁要求,则此时的清洗方法,可按具体要求办理,总的原则是尽量减少气源和污染源。

真空泵根据压力分为初真空、低真空、中真空、高真空和极高真空，根据形式有液环真空泵、水喷射真空泵、大气喷射器、蒸汽喷射器、罗茨真空泵（不能在大气压下启动，必须配前级泵，多以机组的形式出现）、气冷式罗茨真空泵、旋片真空泵、隔膜真空泵、漩涡真空泵、滑阀真空泵、干式螺杆真空泵、干式爪式真空泵、扩散泵、分子泵等；液环真空泵（因为其工作液大多使用水做密封液所以通常被称作水环泵）的工作原理：进入泵体中的液体，在 叶轮的驱动下,形成与泵壳同心的液 环,液环与偏心安装的叶轮轮毂形成 了月牙形空间,这个空间被叶轮上的 叶片分隔成若干个小气室,随着叶轮 旋转,前半转时,小气室容积由小变 大,气室内形成真空,气体被吸入,后 半转时,小气室容积由大变小,气体 被压缩,当达到排气压力时,气体被 排出泵外，这样一个连续的过程 上海尼可尼真空部

油式真空泵：油式真空泵是通过油来密封，润滑，降温，这个类型的真空泵可以接受一点水分，而无油真空泵由于叶片材质多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨胀，损坏，但是无油真空泵用起来比较干净，在一些环境要求比较高的地方可以使用。无油真空泵：它的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。马力 工程师整理提供。根据环境要求还是用无油的比较适合。