气冷式罗茨真空泵与普通罗茨真空泵

一般把罗茨泵作为前级泵使用，目的是增加真空度，因为作为主泵的真空泵可能只能达到粗真空，而工作条件要求的真空是真空泵正常工作时达不到的，所以需要前置一级或多级真空泵，另外还要根据工作环境选择合适的真空泵材质

检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，罗茨真空泵增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上。同时再检查润滑油的颜色，罗茨真空泵油出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。

检查罗茨真空泵中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好。打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常（中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上）。待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。

罗茨真空泵真空机组启动

打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保循环冷却进出水正常。关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常（电机及泵发出噪声均衡）后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和罗茨真空泵进气阀门。待系统压力达到中间泵设定的允许进口压力后，启动中间泵，如过采用自动控制挡，则直接拨到自动控制挡，机组的启动过程则实现自动化。如手动控制，当中间泵出口压力达到主泵允许进口压力后，启动主泵。

罗茨真空泵运转注意事项

真空机组在运转过程中声响应均匀，无杂音且运行中无不规则的异常震动。注意电动机负荷和泵的各部位温升情况，在正常情况下，罗茨真空泵泵的最高温升不得超过40℃，工作最高温度不得超过80℃。在工作中如发现有漏油时，应立即停止工作，泄压后进行检查、修理。罗茨真空泵不允许在发现漏油的现象之后，仍继续进行工作或带压进行检修。在工作中必须保证循环冷却水的正常进出。

罗茨真空泵真空机组停机操作

将真空机组控制柜上控制手柄打入手动挡，关闭罗茨真空泵的吸气口阀门，与真空系统隔断。按主泵、中间泵前级水冲泵次序，逐级停泵，严禁搞错停机程序。在停前级水冲泵时，先打开水冲泵缓冲罐排污阀门，后停泵关机。

罗茨真空泵也分粗真空使用的湿式罗茨真空泵、气冷式罗茨真空泵，中高真空作为机械增压泵使用的干式罗茨真空泵以及多级罗茨真空泵。

无法单独启动的只是中高真空中使用的罗茨真空泵。简单的说，就是因为粗真空下使用，压差过大会使罗茨真空泵过热，导致膨胀卡死、电机烧毁，因此中高真空下的罗茨泵必须配备前级泵使用。而湿式及气冷式罗茨泵的间隙设计以及冷却设计作了针对处理，降低了真空性能换来了可直排大气的效果；多级罗茨泵采用多级设计，抽速由第一级确定，也可以单独使用。

真空泵如何选型选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级 

真空泵如何选型选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时，需要注意以下两个方面：

1.尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。

如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。

如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。

摘要:https://www.chinabaike.com/t/31782/2014/0511/2191272.html

这是一个压力值。水环真空泵，往复真空泵，气冷罗茨真空泵都可以达到这个压力。

还要看你需要多大抽气量，还有使用环境，来选择合适的泵。

类似于可以达到8公斤的气泵。有大的也有小的。

另外抽的气体有没有腐蚀性，有没有杂质水分灰尘，也是选择真空泵的条件。

干式真空泵是相对于湿式真空泵而言的，例如水环真空泵需要水或者其他溶液做工作液，否则无法工作。旋片真空泵或者滑阀真空泵需要油做介质。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。

干式真空泵目前主要有罗茨干式真空泵真空泵，螺杆干式真空泵，爪式干式真空泵。这三类的转子分别是罗茨转子、螺杆转子、爪式转子。名称也是这么来的。

目前国内用的最多的就是螺杆干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比较高。

罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来。但是在国外，罗茨干式真空泵最广泛。其实在同样加工精度下，罗茨结构更稳定。

上面说的都是真空度比较高的，都是多级转子组合起来的。

另外，罗茨气冷真空泵也可以称作干式真空泵，但是真空度很低。