真空泵有哪些类型？
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：
1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
半导体工厂重要的专业设备为真空泵，真空设备在半导体工厂的作用是为工厂形成负压，保持车间工作环境的高度清洁，是半导体厂房的必须设备。
阿特拉斯.科普柯作为真空泵细分行业领导者和第一品牌。其设备近三分之二（62%）客户为半导体电子制造商。
当手机、电脑、 汽车 等电子消费品市场火热时，导致半导体行业的集成电路需求旺盛、供不应求，它们就将通过增加生产线来扩充产能；扩充产能必将向阿特拉斯科普柯采购真空泵设备。可见，真空泵设备是消费电子、集成电路行业的先导指标。
从2021年1月29号，阿特拉斯科普柯公司发布到20年四季度财报看：真空技术业务订单大幅增长了19%，可见半导体行业需求旺盛。中游的芯片制造业、下游的手机、电脑等消费电子在未来仍将较长时间内处于供不应求的局面，整个相关行业仍将具有不错表现。
当然，半导体芯片制造业在资本市场的表现最重要的因素依然是政策影响、我国目前大力推动 科技 创新，突破卡脖子的技术,芯片是当前急迫需要攻关的。以上技术分析仅展现供需基本面的因素。 下面是热门芯片股中芯国际的表现。
国际半导体制造业巨头英特尔（Intel Corp) 近些年的表现则有些平庸。
普旭（Busch）是一家在全球范围内提供真空泵、鼓风机和压缩机的生产厂家。到2015年为止， 普旭在全球范围内拥有3000名员工。 广泛的真空泵系列、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及广泛的服务网路，使得普旭（Busch）完全有能力为客户提供理想并完善的真空解决方案。
基本介绍公司名称 ：普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司 外文名称 ：Busch 总部地点 ：德国马尔堡 成立时间 ：1963年 经营范围 ：真空泵及真空系统 公司性质 ：德国独资 员工数 ：3000余名 基本情况,中国公司,产品介绍, 基本情况 普旭（Busch） 是真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。产品系列涵盖了广泛套用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。凭借在真空泵及低压泵制造领域 50 多年的经验，普旭（Busch）可提供种类齐全的产品，为全球提供广泛的工业真空技术。 普旭（Busch）创建于 1963 年，总部位于德国马尔堡。普旭（Busch）在德国、瑞士、美国、英国、韩国、捷克共拥有 6 家现代化制造工厂，连同遍布于 43 个主要工业国家的 61 家分公司及完善的经销服务网路为全球用户提供专业服务。 中国公司 普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司是德国普旭（Busch）在中国的全资子公司，成立于 2001 年 8 月，位于上海。装备精良的维修车间配有先进的成套进口设施用于净化（除污）、检测、维修及测试。另设有真空系统制造和调试车间，可以自主完成系统设计、组装和调试，以确保为客户量身定制的系统达到普旭（Busch）全球的标准。同时，宽敞的室内仓库备有充足的产品和配件库存，保证及时现货供应，满足客户的需求。分别在北京、广州、成都、武汉设有办事处。 产品介绍 油润滑旋片真空泵 旋片技术简化了真空泵的工艺结构。油润滑旋片设计，辅以完美的制作材料，配以最先进的精密制造，确保其在持续运行时可以获得稳定的高真空。高效的抽气系统和集成式回油管路结合先进的排气过滤器能确保排气洁净无油污染。当配备气镇阀（可选）时，可处理更大容量的蒸汽。当关闭真空泵时，入口法兰内的单向阀可防止空气回流至真空仓内。泵体由一台法兰连线的标准电机直联驱动，电机能效等级为 IE2。 爪式真空泵及压缩机 爪式真空泵的两个爪形转子在缸体内以彼此相反的方向旋转。空气和工艺气体被爪型转子吸入后压缩并排放。爪型转子之间既不会互相接触，也不会与其运转所在的缸体发生接触。爪型转子与缸体之间的紧密间隙既对其密封性进行了最佳化，又保证了持续的高抽速。同步齿轮确保了转子精确的同步运转。普旭（Busch）的 Mink 爪式真空泵一台法兰连线的异步电机直联驱动，电机能效等级为 IE2。 Mink
乾式螺杆真空泵-工业 COBRA Industry 乾式螺杆真空泵能高效运行于众多工业领域。该型号展现了在无油真空技术所拥有的多年经验，采用传统轴承系统，是加工技术套用的理想之选。 COBRA Industry 乾式螺杆真空泵-半导体 COBRA Semicon 乾式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解 COBRA Semicon 决方案。具有不同版本：DS（行业标准、气密、传统轴承系统）、BA（气密、悬挂式轴承系统、气冷型）、BC（气密、悬挂式轴承系统、水冷型）。所有这些真空泵都是专为半导体行业的复杂套用而设计的。 罗茨真空泵 Panda 与 Puma 罗茨泵是无油运行的真空泵，需配合前级泵使用，适用于所有需要大吸气量的粗真空和高真空套用。此类加强型真空泵大大提高了前级泵的输出。
Puma/Panda 系列类型真空泵：WP/WPA（工业用、标准型）、WV（工业用、带旁通阀）、WY（半导体、气密）、WZ（半导体、带旁通阀、气密）。 乾式旋片真空泵及压缩机 Seco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技术原理。由于使用自润滑旋片，因此无需工作液润滑。完全采用无油乾式压缩的方式。通过完美匹配的材料、腔体内的特殊石墨旋片、有效的排热和先进的精密加工工艺，得以实现连续运行时的高真空。 Seco 罗茨风机 Tyr 三叶罗茨风机依照罗茨系统原理工作：两个平行的转子在泵体内以相反的方向运转。泵送介质被密封在转子和泵腔之间，并通过转子的旋转运动，将其压缩后泵送至排气口。风机入口配备有集成消音功能的进气过滤器。而被压缩介质经风机排放之前，它也将由排气消音器处理后排出。驱动设备由电机及三角皮带构成。三角皮带的驱动方式可使风机转速得到精确的调节以配合生产工艺。 液环真空泵及压缩机 液环真空泵通常将水用作工作介质。偏置叶片在部分填充液体的泵腔中旋转。叶片的旋转运动所产生的离心力使泵腔内的液体形成液环。气体在各叶片和液环之间的空间传递。由于叶轮偏置，空间增大，生产气体通过吸入槽吸入；随着叶轮继续旋转，空间减小，从而使气体被压缩并通过排出槽排出。真空泵可采用水循环的开环或闭环进行操作。 侧流风机 Samos Samos 侧流风机根据脉冲原理工作，旋转叶轮产生的动能被传送到泵送介质并转化成压力。直接安装在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳形成的侧通道使得介质在其中被压缩，然后通过压力侧的消音器排出。直接安装在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳形成的侧通道使得介质在其中被压缩，然后通过压力侧的消音器排出。 涡旋真空泵 Fossa 涡旋真空泵主要由固定涡旋盘与驱动涡旋盘构成。驱动涡旋盘在固定涡旋盘中转动，产生一个旋转输送动作，将气体从涡旋盘外缘吸入，然后将其在两个涡旋盘间压缩并输送至涡旋盘中央。 涡轮分子真空泵 普旭（Busch）涡轮分子真空泵 TM 1100-2200 A 采用涡轮机工作原理。快速旋转的涡轮叶片在定子叶片之间转动。这种转动将动能传至真空泵内无序的气体颗粒，进而将气体分子从进气口通过压缩传送至真空泵的排气口。 Turbo 扩散真空泵 Rangu Rangu 扩散真空泵的基本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的工作液。油蒸汽上升进入喷嘴系统，经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出系统。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移，流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝结，直接返回机组底部。借助其多阶段、创新的喷嘴理念，Rangu 扩散真空泵可以提供极高且稳定的抽速。 真空系统 真空系统 通过全面了解影响选择的因素，寻找最适合具体套用的真空解决方案。普旭的系统工程师在设计过程中考虑各方面要求，根据其在全球众多安装项目中获取的经验，为客户量身定制真空系统。
NASH（佶缔纳士）2BV系列液环真空泵
NASH 2BV液环真空泵包括2BV2、2BV5、2BV6三大系列，可广泛应用于塑机、电子、化工、制药、食品等众多行业。一百多年的高标准设计、生产经验，使其卓越的性能完全满足或超出行业应用的要求。
性能范围
吸气量范围：27~500m3/h
极限真空度：33mbarA
产品型号：
2BV2 060-0NC00-2P
2BV2 061-0NC02-2P
2BV2 070-0NC00-2P
2BV2 071-0NC03-7P
2BV5 110-0KC00-7P
2BV5 111-0KC00-7P
2BV5 121-0KC00-7P
2BV5 131-0KC00-7P
2BV5 161-0KC02-7P
特点与技术优势
机泵同轴式直联设计，易于安装，占地空间小，维护简便；
青铜叶轮，可采用不锈钢材质，增强了防腐蚀和抗侵蚀能力，适用于更苛刻的环境；
100%无油设计，利于环境保护；
独特的柔性排气口设计，能达到最佳工作效率；
采用机械密封作为标准配置，有效防止泄露，降低维护成本；
运行平稳，噪声低，无需消音装置；
只有一个转动部件，没有磨损，使用寿命长，无须维护；
具有自吸功能，便于操作。
NASH（佶缔纳士） 2BE系列液环真空泵
Gardner Denver Nash 生产的2BE1系列液环真空泵/压缩机至今已经积累了一百多年经验，可以完全满足苛刻工况的要求，广泛应用在造纸、煤炭、地热、制糖、化工等行业。由于只有一个转动件(叶轮），且没有金属间的直接摩擦，Gardner Denver Nash的平圆盘式设计实际上避免了磨损，即便在多年的连续运转之后也是如此。
吸气量范围：600~22500m3/h
极限真空度：33mbarA
NASH（佶缔纳士）2BE1系列广泛应用在：
■ 冷凝器抽真空
■ 飞灰处理中的脱硫装置
■ 乙炔等易燃易爆的特殊气体压缩
■ 臭氧压缩
■ 纸浆和造纸
■ 气体回收
■ 土壤净化
■ 消毒
■ 减压蒸馏
■ 脱水
■ 过滤
■ 挤压/真空成型
■ 浸渍
■ 萃取
特点：
结构简单，易于维护；
两组进排气口，方便安装，节省空间；可采用不锈钢材质，增强防腐蚀能力；工作液消耗低，降低运行成本；独特的柔性排气阀设计，确保在最佳效率点上工作。NASH 2BE5真空泵
具有可靠，高效，灵活的特点。
NASH真空泵 2BE5 72 、2BE5 67 、2BE5 62 、2BE5 60 、2BE5 52
NASH真空泵 2BE5 50 、2BE5 42 、2BE5 40 、2BE5 32 、2BE5 30
NASH 2BM1 - 磁力驱动真空泵及压缩机
抽气量125至1400立方米/小时真空到33mbar排出压力至2.0bar（）。
2BM1 203 、2BM1 202 、2BM1 153 、2BM1 152 、2BM1 151 、2BM1 103 、2BM1 102
NASH 905系列真空泵
型号：905 L 、905 M 、905 P 、905 R 、905 S 、905 T
NASH AT系列双层真空泵
NASH真空泵 AT3006E 、AT3004E 、AT2006E 、AT2004E 、AT1006E 、AT1004E
MARINE DUTY真空泵
单级MD570 、MD670 、MHC 、MHF系列真空泵
NASH P2620真空泵
TC/ TCM二级真空泵
TC 11 、TC 10 、TC 9 、TC 8 、TC 7 、TC 5 、TCM 3 、TCM 2 、TCM 1
VECTRA GL / XL真空泵
GL 35 、GL 45 、GL 60 、GL 80 、GL 100 、GL 130
XL 45 、XL 60 、XL 80 、XL 100 、XL 130 、XL 150 、XL 250 、XL 350 、XL 500 、XL 750 、XL 950
VECTRA SX泵和压缩机
SX5 、SX10 、SX20 、SX25 、SX30
NASH液环压缩机
2BE5压缩机
2BM1压缩机
2BQ 压缩机
NASH 2BQ1 590压缩机
905 压缩机
GARO 压缩机
NASH HP-9 高压水环压缩机
NASH NAAM 单级压缩机
NASH NAB 双级压缩机
NASH 2BE4 低压水环压缩机
NASH Vectra XL 基本压缩机
NASH Vectra SX 基本压缩机
NASH 2BG 双级压缩机
NASH 2BK 单级压缩机
VECTRA GL和XL压缩机
VECTRA SX泵和压缩机
VECTRA XM-150型环压缩机
NASH Vectra?XM-150压缩机
CLASSIC泵和压缩机
2BE1 - 液环真空泵及压缩机
2BE1 705 、2BE1 703 、2BE1 655 、2BE1 605 、2BE1 603 、2BE1 505 、2BE1 503
2BE1 405 、2BE1 403 、2BE1 355 、2BE1 353 、2BE1 305 、2BE1 303
2BE1 253 、2BE1 252 、2BE1 203 、2BE1 202 、2BE1 153 、2BE1 152 、2BE1 151
2BE1 103 、2BE1 102 、2BE1 101
NASH 2BE3及2BE4压缩机
NASH压缩机 2BE4 72 、2BE4 67 、2BE4 62 、2BE4 60 、2BE4 52 、2BE4 50 、2BE4 42
NASH压缩机 2BE4 40 、2BE4 32 、2BE4 30
2BE3 &2BE4 真空泵
2BV5 MONOBLOCK液环泵：2BV5 110 、2BV5 111 、2BV5 121 、2BV5 131 、2BV5 161
2BV7 MONOBLOCK液环泵：2BV7 060-2 、2BV7 060-3 、2BV7 061-1 、2BV7 070-2 、2BV7 0703 、2BV7 0712 、2BV7 0713
904压缩机
904真空泵
CL真空泵及压缩机
SC压缩机
SC真空泵
2BV2071ONC037P
产品实拍图
产品型号 2BV2071-ONC03-7P
额定功率 3.85 KW
气量 110 M3/h
工作液流量 0.25 M3/h
重量 62 KG
噪音dB 72 dB
产品特点：
1.100%无油设计，利于环境保护
2.运行平稳，噪声可低至62分贝
3.机泵同轴式直联设计，易于安装
4.独特的设计使得设备零维护
5.采用大气喷射器真空可低至10mbar
6.可选材质：整泵不锈钢
7.标准配置：机械密封和不锈钢叶轮
8.2BV系列可配置闭式水冷机组，风冷机组，柜式机组
定制说明
定制电子工厂厂务真空系统（真空泵）
随着电子厂自动化程度越来越高，很多机器都需要真空作为设备的动力。大部分的真空度要求在--0.06MPa --0.08MPa左右。
目前，大部分使用真空发生器，用空压气转换成真空气，转换效率只有50%，非常浪费电费。还增加不少空压机的维护成本。
如果改成使用中央真空系统，就能节约50%的能耗。
真空系统的组成：
由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
客户须知
1.关于产品
美国佶缔纳士工厂生产，按美国行业标准检测出厂
2.关于售后
保修一年
3.关于发货
装箱清单，木架包装运输。
