真空泵的主要参数有哪些

阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵，但是滑阀真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好几倍。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。滑阀真空泵目前分为单级H型和双极2H型两种型号，比较老的还有MH，1401系列，目前基本淘汰。

滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。目前双极2H滑阀真空泵最大抽速为300L/S。

由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如果滑阀没有很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此小厂很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。可以通过动平衡测试和双缸或三缸结构做好滑阀的质量平衡。

滑阀泵结构及特点：

罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。

根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4：至10：1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油，在前级进口管道上装有电磁充气阀，其动作与前级泵电动机实现联动，当滑阀泵停泵前，向泵口充气，确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内，同时防止真空系统受到真空油污染。

滑阀泵用途：

罗茨滑阀真空机组具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大，可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体，应加装过滤装置。

旋片式真空泵的分类有很多，国产的旋片式真空泵包括2X型旋片式真空泵、X型旋片式真空泵、2XZ型旋片式真空泵、XD型旋片式真空泵、WX型无油真空泵，将其特点和用途介绍如下：

2X型旋片式

一、2X型旋片式真空泵的概述：

2X型旋片式真空泵为双级结构，它的工作性能由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。该泵的技术参数6×10-2pa。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将2X型旋片式真空泵为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使你的设备获得更高的真空。

二、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围：

由于现代科学技术的高度发展，2X型旋片式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，其主要表现在：

1、可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。

2、由于2X型旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是与油联系在一起的，所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定量的可凝汽体。

3、2X型旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10-3托以下的真空作业，以及配合其它真空设备获得真空度10-3托以上的真空作用之用。

4、2X型旋片式真空泵一般在不底于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

可根据用户使用情况，配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，设备能获得更高的真空。

X型旋片式

一、X型旋片式真空泵的介绍及用途：

X型旋片式真空泵系单级旋片式真空泵，国内首创的能抽除大量水蒸气的新产品，由于泵本身带有油再生装置和可靠的气镇装置，延长了泵油的使用寿命。X型旋片式真空泵用来对密封容器抽除气体所获得真空的基本设备，适用于电子器件制造，真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等（工艺品专用泵）。它可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵的前级泵使用，但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时，应加附设装置。主要型号有：X-100型单级旋片式真空泵、X-150型单级旋片式真空泵。

二、X型旋片式真空泵的特点：

1、相对于XD系列单级真空泵具有极限真空高，对于滑阀真空泵可通过调整消声针阀来控制噪声，由于其转子偏心质量小，且对转子作了平衡，故振动小。

2、X系列旋片式真空泵抽气效率高。

3、X系列旋片式真空泵气镇性能好。

X系列旋片式真空泵有经过特殊设计的气镇装置可向排气腔充入干燥气体，从而大大降低排出气体中蒸汽的分压力。当其低于泵温下的饱和蒸汽压时即可随充入空气排出泵外，而避免凝结在泵中。

4、X系列旋片式真空泵配有温控水量调节阀。

泵工作时通过泵自身所配上述调节水压，可将泵温调至75oC±5oC，从而提高排出泵外，但应使泵温不超过80oC（油箱测温点）。

5、X系列旋片式真空泵有油水分离器。

它能够使泵油中的杂质和凝结物积存到油水分离器的底部，通过安装在底部的放水阀排出泵外。

2XZ型旋片式

一、2XZ型旋片式真空泵概述：

2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时将容器内的气体大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级入口的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空，2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。

二、2XZ型旋片式真空泵的特点：

2XZ型旋片式真空泵具有体积小，重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施（2XZ-8）和无防止油封漏油污染场地的措施。

1、2XZ型旋片式真空泵是获得真空的基本设备，它可单独作用，亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。

2、2XZ型旋片式真空泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。

3、泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的，对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以体含氧过高的，有爆炸性的气体。

4、泵有得作压缩泵或输送泵用。

5、2XZ型旋片式真空泵的工作环境：温度5℃-40℃范围内，相对温度不大于90%，进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。

6、装接电源时，按电机标牌的规定接线，应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。

7、连续被抽容器的管道，其直径应不小于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，同时注意管道的泄漏。

8、每次起动前着重查看油位，以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。

9、具泵油采用清洁的SY1634-701号真空泵油。

10、2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难，可拨掉进气管塞帽起动，随后投入运转。

WX型无油型

一、WX型无油真空泵概述：

WX型真空泵系无油真空泵，是一种获得真空设备之一。WX型无油真空泵的极限真空为6×10-2Mpa。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。是一种使用范围非常广泛的机械真空泵。与一般油润滑的真空泵相比，无油真空泵的使用范围更广泛，应用于各种物品的吸收和输送，自动机械的物料供给设备。

二、WX型无油真空泵系列旋片式真空泵的用途：

无油真空泵可具体应用于下列各项工作中：

1、自动包装线上的真空吸拉列开装、装料。

2、印刷机械上的纸张真空吸送。

3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。

4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

5、物体表面在真空状态下的气密性试验。

6、纸箱及瓶类物品的标签真空吸送粘帖。

7、真空吸引固定下的照相制版。

8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。

9、各种医药机械自动线上的配套使用。

10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。

11、各种容器在真空状态下的检漏试验。

12、食品加工机械上的应用。

13、中西药厂真空蒸馏干燥。

14、医院手术室的真空吸引。

15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。

16、各种医疗仪器的配套使用等。

XD型旋片式

一、XD型旋片式真空泵概述：

XD型旋片式真空泵为单级旋片式联轴式结构。它的工作性能是高转速，低噪声，抽速快，效率高。XD型旋片式真空泵只需空气冷却，有防返油结构，防止泵油返入被抽系统，泵内装有排气过滤器，有效消除油雾，运转平衡，振动小，可以在任意压强下工作。XD型旋片式真空泵泵的技术参数2×10-2Pa，已普遍适用食品真空包装，医药、印刷机械纸张输送，玻璃工业输送，真空夹具，干燥等单位的使用。

二、XD型旋片式真空泵的特点：

1、XD型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，最大的特点。

2、在XD型旋片式真空泵的内部装有油雾消除器，能有效地消除泵排出的气体中的油雾，避免油雾对周围环境的污染。

3、在XD型旋片式真空泵的吸气口装有逆止阀，当泵停止时逆止阀与泵内专门设置的孔的联合作用下，可以立即使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统，同时保持了被抽容器的真宽度，因而使用本型真空泵洋就可以不需要再配置带有放气的真空截止阀，从而可以减少用户的使用费用。

4、XD型旋片式真空泵配有油气分离器，它与油雾消除器一起组成了有效的消音系统，能消除排气噪音，避免噪音污染。

5、XD型旋片式真空泵和电动机直接联接安装，采用空气冷却，不需水冷却管道，因此本型是一种结构紧凑，安装简便的设备。

6、结构设计合理，振动小，不用地脚螺栓即可工作。

旋片式真空泵适用范围：

气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。

工作要求：进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

工作要求：进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。

环境温度：真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。

旋片式真空泵其工作压强范围为101325－1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似，但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的，故称滑阀泵。

滑阀泵亦分单级泵和双级泵两种，有立式和卧式两种结构形式。单级泵的极限压力为0.4～1.3Pa；双级泵的极限压力为6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超过150L/S的大泵都采用单级形式。这种泵可单独使用，也可作其它泵的前级泵用。

1．工作原理

滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成(见图11)。

图11：滑阀式真空泵结构原理图

泵体中装有滑阀环(4)，滑阀环内装有偏心轮(3)，偏心轮固定在轴(2)上，轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动，因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中，由于A、B两室容积周期性地改变，使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔；同时，在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩，并通过排气阀排出泵外。

双级型的滑阀泵，实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上，有的是直接铸成一个整体，有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。

阀门产品有很多，我们面临的选择也不少，今天为大家说明推荐的是一种改变进出口通道位置来控制物体流向的分流法，也就是我们通常所说的滑阀，它经常被用在蒸汽机等装置中，能够达到不错的控制效果，除此之外，市面上的滑阀可以根据尺寸规格或者价位品牌进行详细细致的分类，从而为消费者提供一系列个性化的选择和服务，那么接下来不妨就和小编一起了解一下关于滑阀这方面的建议和知识吧。

　　一、滑阀真空泵工作原理

滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成

泵体中装有滑阀环(4)，滑阀环内装有偏心轮(3)，偏心轮固定在轴(2)上，轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动，因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中，由于A、B两室容积周期性地改变，使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔同时，在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩，并通过排气阀排出泵外。

双级型的滑阀泵，实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上，有的是直接铸成一个整体，有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。

二、滑阀真空泵结构及特点

罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。

根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4：至10：1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油，在前级进口管道上装有电磁充气阀，其动作与前级泵电动机实现联动，当滑阀泵停泵前，向泵口充气，确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内，同时防止真空系统受到真空油污染。

上文我们为大家举例说明的是滑阀，作为阀门旗下的一种，它属于分流阀，能够控制流体的流向，因此经常被用在蒸汽机等等器械产品中，而且因为产品的优点是切换速度快、精确，支持微调，所以也使得它得以用在其它的液压或者气动装置中发挥扮演着关键的作用。上文所述就是关于滑阀真空泵结构及特点、工作原理方面的介绍，有意向了解或者想要深入学习的朋友可以借此有选择性加以参考。

微型真空泵的主要参数有真空、真空度、负压、流量、抽气速率、电压、电流等。现在微型泵选型中，如微型真空泵，微型气泵，微型气体采样泵，微型气体循环泵，微型抽气泵，微型吸气泵，微型打气泵，微型充气泵，微型高压气泵等选型中，有几个基本概念要弄清楚：1. 真空：指在给定的空间内，压力低于101325Pa(100Kpa,即一个标准大气压)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，压力值越小则表示气体越稀薄。例如，两个密闭容器，A容器内气体压力为50Kpa，B容器为30Kpa， B容器内气体肯定比A容器稀薄。工业上有真空泵、气体采样泵、气体循环泵、抽气泵、抽气打气泵等多种微型泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有： 2. 真空度 ：是衡量气体稀薄程度的物理量，常用单位是Kpa(千帕)。它是以“理论上存在的真空”为参照物，因为得出的压力值都比“理论上的真空”的压力值大，所以是正值。通常也叫“极限真空”、“绝对真空度”、“绝对压力”。它是指将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。 3. 负 压：普通真空表测得的真空值。常用单位也是Kpa(千帕)。它是以“一个大气压”作为参照物，是指被测气体压力与大气压的差值。因为得出的压力值都比“一个大气压”的压力值小，所以是负值。通常也叫“表压”、“相对真空度” 、 “相对压力”。示意图请见： http://www.wcjx.net/test-data/1jczs.htm

滑阀式真空泵的抽气工作原理其实与片泵相似，当两者泵结构不同的时候。滑阀式真空泵是主要利用滑阀机构来改变西气腔容积，因而称为华发泵。 ”滑阀式真空泵虽然是一种老泵，但与旋片泵等比较，它具有允许工作压力高(10 4 pa)、抽气量大、能在恶劣环境下连续工作，经久耐用等突出特点，所以在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等行业得到广泛的应用。

Micron 原来是长度单位 ，但是真空方面有些用它来代表汞住。

1 micron =10-3 mm

75Micron =9.999Pa

极限真空度没有达到有很多原因，你的泵抽速不到3L/S ，所以不能抽太大的容器，另外，漏气，缺油也都不能达到预期的真空度

如下回复：金属镁还原机械真空泵方案及真空度等主要性能等

真空是皮江法炼镁的必要条件，机械真空泵是皮江法炼镁的必要设备，其中用于金属镁还原罐其中真空还原工艺（皮江法、又名硅热法），所使用的机械真空泵，就目前国内有3中型号真空泵 炼镁机械真空泵方案一、1、罗茨真空泵ZJP1200 2、罗茨真空泵ZJP600 3、滑阀真空泵H150 一、1、罗茨真空泵ZJP1200 2、罗茨真空泵ZJP600 3、滑阀真空泵H150

以上真空泵用于金属镁还原需要组成真空机组配置如下：

1类配置方案

罗茨真空泵ZJP1200与滑阀真空泵H150组成真空机组，形成抽气速率1200L/S的真空机组。（国内金属镁厂家使用大部分在此配置另加滑阀真空泵H150做还原罐预抽泵）

ZJP1200/H150真空机组主要性能参数：

极限真空：0.1pa 抽气速率：1200S/L

进气口径：250mm 排气口径：80mm

电机功率：11KW+15KW=26KW

预抽泵H150主要性能参数：

极限真空：1pa 抽气速率：150S/L

进气口径：100mm 排气口径：80mm

电机功率：15KW 炼镁机械真空泵方案二

罗茨真空泵ZJP600与滑阀真空泵H150组成真空机组，形成抽气速率600L/S的真空机组。 （国内金属镁厂家使用大部分在此配置另加滑阀真空泵H150做还原罐预抽泵）

ZJP600/H150真空机组主要性能参数：

极限真空：0.1pa 抽气速率：600S/L

进气口径：200mm 排气口径：80mm

电机功率：7.5KW+15KW=22.5KW

预抽泵H150主要性能参数：

极限真空：1pa 抽气速率：150S/L

进气口径：100mm 排气口径：80mm

电机功率：15KW

该真空机组特点： 我公司生产的滑阀泵它具有允许工作压力高(105Pa)、抽气量大、能在较恶劣环境下连续抽真空工作，经久耐用等突出优点，所以在真空冶炼它具有允许工作压力高(105Pa)、抽气量大、能在较恶劣环境下连续工作，经久耐用等突出优点；真空机组抽真空无波动，真空上升快速且平稳，镁还原质量好，所以该真空机组被金属镁厂家广泛使用。真空泵的主要部件及材质：滑阀泵优点：其中滑阀泵抽真空部分；导轨、滑阀、偏心轮等为滑阀泵的主要工作部件我公司经过多年研发改进偏心轮一次加工成型。同时零部件均做动平衡，油封为耐高温氟橡胶，采用进口NSK轴承。 罗茨真空泵优点：真空机组罗茨真空泵配带有旁通阀，有效的解决电机过载而导致烧坏电机的情况发生。罗茨真空泵主要组成部件有：转子、轴、轴套、齿轮等。齿轮材质采用20GrMnTi、轴套45#钢高频溅火处理、传动轴采用45Gr。同时零部件均做动平衡，油封为耐高温氟橡胶，采用进口NSK轴承。 部分真空泵厂家，偏心轮加工为二次乃至三次组合成型工艺，部分厂家滑阀泵H-150配用电机功率较大，而增加了用户使用成本。更有厂家，零部件外发加工，自身工厂只组装整机，整个真空机组造型粗糙，同时机组机架不为联体结构，噪音震动较大，使用寿命和性能大打折扣。 联系人：曹工13989621528（技术部、销售部）浙江求是真空设备制造有限公司

我国现有的真空标准

建议你买本 《真空技术标准汇编》查起来方便

l.GB 913 66 泵分类及技术条件

2.GB 4844 84 氮气

3.GB 4845 84 氮气验收方法

4.GB 4982 85 夹紧型真空快卸法兰

5.GB 4983 85 拧紧型真空快卸法兰

6. GB 6071 . 1 85 超高真空法兰结构型式

7 .GB 6071.2 85 超高真空法兰尺寸

8. GB 6071 .3 85 超高真空法兰用铜密封垫

9.GB 6306.1 86 变容真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

1O.GB 6306.2 86 变容真雪泵极限压力测试方法

11.GB 6306.3 86 变容真空泵消耗功率测试方法

12.GB 6306.4 86 变容真空泵工作温度测试方法

13 . GB 6307.1 86 蒸气流真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

14.GB 6307.2 86 蒸气流真空泵临界前级压力测试方法

15 . GB 6308. 1 86 橡胶密封真空规管接头

16.GB 6308.2 86 金属密封真空规管接头

17 .GB 7772 87 变容真空泵噪声测量方法

18. GB 7773 87 变容真空泵振动测量方法

19.GB7774 87涡轮分子泵性能测试方法

20.GB 7775 87蒸气流真空泵加热时间和加热功率测试方法

21. GB 7776 87蒸气流真空泵泵液返流率测试方法

22. GB 9445 88 元损检测人员资格鉴定通则

23.GB 14174 93 大口径液氮容器

24.GB 16774 97 自增压式液氮生物容器

25. GB 18442 2001 低温绝热压力容器

26. GB/T 3163 93 真空技术术语

27 .GB/T 3164 93 真空技术系统图用图形符号

28. GB/T 5458 97 液氮生物容器

29. GB/T 6070 95 真空法兰

30.GB/T 11164 99 真空镀膜设备通用技术条件

31.GB/T 12604 95 元损检测术语

32. GB/T 13979 92 氮质谱检漏仪

33.GB/T 14211 93 机械密封试验方法

34. GB/T 15823 95 氮泄漏检验

35.GB/T1670996真空技术管路配件装配尺寸

36.GB/T 16775 97 低温容器漏气速率测定方法

37 .GB/T 18193 2000真空技术质谱检漏仪校准

38. GB/T 18443.1 2001低温绝热压力容器试验方法容积测量

39.GB/T 18443.2 2001 低温绝热压力容器试验方法真空度测量

40.GB/T 18443.3 2001 低温绝热压力容器试验方法漏率测量

41.GB/T 18443.4 2001 低温绝热压力容器试验方法漏放气速率测量

42.GB/T18443.52001 低温绝热压力容器试验方法静态蒸发率测量

43 . GJB 128A 97 半导体分立器件试验方法

44. GJB 360A 96 电子及电气元件试验方法

45 . GJB 548A 96 微电子器件试验方法和程序

46. GJB 1808 93真空计的校准方法动态流量法

47 .GJB 2709 96 有机材料低温气体渗透系数试验方法

48. GJB 2715 96 国防计量通用术语

49.GJB/j 3416 98 真空计(电参数)检定规程

50. JB/T 1246 97 滑阀真空泵

51.JB/T 2965 92溅射离子泵性能测试方法

52 .JB/T 4077 91 高真空插板阅型式与基本参数

53.JB/T407891 高真空挡板阀型式与基本参数

54. JB/T 4079 91 高真空蝶阔型式与基本参数

55.JB/T408091 高真空电磁阀型式与基本参数

56.JB/T 4081 91 溅射离子泵型式与基本参数

57 .JB/T 4082 91溅射离子泵技术条件

58.JB/T 4083 91 真空电磁带充气阀型式与基本参数

59. JB/T 5410 91 低真空电磁压差充气阅型式与基本参数

60.JB/T5971-92单级多旋片式真空泵

61. JB/T 6446 92真空阀门技术条件

62 .JB/T 6533 97 旋片真空泵

63.JB/T 6921 93 罗茨真空泵机组

64. JB/T 6922 93 真空蒸发镀膜设备

65.JB/T692393 真空"加压浸渍设备

66. JB/T 7265 94 蒸气流真空泵

67 .JBIT 7266 94 容积真空泵性能测量方法68.JB/T767395 真空设备型号编制方法

69 .JB/T 7674 95 罗茨真空泵

70.JB/T767595 往复真空泵

71.JB汀8105.199 橡胶密封真空规管接头

72.JB/T 8105.2一佣金属密封真空规管接头

73.JB/T810699容积真空泵噪声测量方法

74 .JB/T 8107 99容积真空泵振动测量方法

75 .JB/T 8472.1 96蒸气流真空泵性能测定第一部分:抽气速率(体积流率)的测定

76.JB/T 8472.2 96蒸气流真空泵性能测定第二部分:临界前级压力的测定

77. JB/T 8540 97 水蒸气喷射真空泵

78. JB/T 8944 99单级旋片真空泵

79. JB/T 8945 99 真空溅射镀膜设备

80. JB/T 8946 99 真空离子镀膜设备

81.JB/T912599 立式涡轮分子泵

82.JBITQ 563 87 2X型旋片真空泵质量分等

83. JB/TQ 564一87滑阀真空泵质量分等

84. JB/TQ 565 87 真空间门质量分等

85 . JB/TQ 566 87 往复真空泵质量分等

86.JB/TQ 567 87 2XZ型旋片真空泵质量分等

87. JBITQ 568 87 罗茨真空泵质量分等

88. JB/TQ 569 87 油扩散泵质量分等

89.JB/TQ 570 87 油扩散喷射泵质量分等

90. JB/TQ 571 87 真空镀膜设备质量分等

91.JB/TQ 634 88 真空振动流动干燥设备系列参数

92. JB/I'Q 635 88 真空振动流动干燥设备技术条件

93. JB/I'Q 636 88 真空振动流动干燥机质量分等

94. JB/I'Q 638 88 振动流化床干燥机质量分等

95. JB 1090 91 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

96.JB 1091 91 JO型骨架型真空用橡胶密封圃型式及尺寸

97 .JB 1092 91 0型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

98. JB 1246 85 滑间真空泵型式与参数

99.JB 1247 85 滑阀真空泵技术条件

100 .JB 2569 81 溅射离子泵性能测试方法

101.]B 5278.1 91铜丝密封可烘烤真空法兰连接型式

102.]B 5278.2 91 铜丝密封可烘烤真空法兰法兰结构尺寸

103 .]B 5278.3 91 铜丝密封可烘烤真空法兰铜丝密封圈结构尺寸104.ZB] 78001 87 2)CZ型直联旋片真空泵系列参数

105. ZB] 78002 87 2)CZ型直联旋片真空泵技术条件

106.ZB] 78003 87 2X型旋片真空泵系列参数

107.ZB] 78010 87 直筒式水冷挡板参数、技术条件、验收规则

108.ZBJ 78011.1 89 余摆线真空泵系列参数

109.ZB] 78011.2 89 余摆线真空泵技术条件

110.ZBY 117 83 热偶真空计技术条件

111. ZBY 153 83 电火花真空检漏器技术条件

112.ZBY 176 83 电离真空计型号命名方法

113.ZBY 227 84 热阴极电离真空计控制元件技术条件

114.ZBY 243 84 真空测量仪表通用技术条件

115 . ZBY 248 84 电阻真空计技术条件

116. ZBY 285 84 冷阴极电离真空计技术条件

117 .ZBY 286 84 冷阴极电离真空计规管技术条件

118.ZBY 287 84 真空蒸发镀膜设备技术条件、验收规则

119. ZBY 290 84 热阴极电离真空计规管技术条件

120. SY 1632-65 真空封蜡

121.SY 1633一75真空封泥

122.SY 1634一70真空机械泵油

123. SY 1635-66 真空增压泵油

124.SY 1636•6 真空扩散泵油

125 . QJ 1322 87 真空中材料质量损失测试方法

126.QJ 1371一88真空中材料可凝挥发物测试方法

127.QJ 154•-88 加压充氮一步快速检漏筛选法

128. QJ 1558 88 真空中材料挥发性能测试方法

129.QJ 1610一89阀门气

130. QJ 1897 90 真空封口阅

131. QJ 1898 90 真空封口阅技术条件

132. QJ 1991 90 真空.紫外辐照材料质量损失测试方法

133.QJ 2040.1 91标准漏孔的校准方法绝对校准方法

134.QJ 2040.2 91标准漏孔的校准方法相对校准方法

135.QJ 2075 91 阔门液体压降试验方法

136.QJ 2194 91 有机材料气体渗透系数测试方法

137.QJ 2195 91 有机材料低温气体渗透系数测试方法

138.QJ 2196 91 高熔点氧化物气体渗透系数测试方法

139. QJ 2197 91 金属及其合金气体渗透系数测试方法

140.QJ 2213.1 92 继电器特种环境试验方法超高真空冷焊试验

141. QJ 2475 93 低温容器通用技术条件

142.QJ 2651 94 真空封口接头

143. QJ 2667 94 真空用油脂饱和蒸气压测试方法

144.QJ 2675.1 94低温容器性能试验方法夹层真空度试验

145.QJ 2675.2 94低温容器性能试验方法放气速率试验

146.QJ 2675.3 94低温容器性能试验方法真空夹层漏率试验

147.QJ 2675.4 94低温容器性能试验方法日蒸发率试验

148. QJ 2676 94 吸附剂低

149.QJ 2693.1 94 空间材料出气速率测试方法15℃~45℃出气速率

150.QJ 2693.2 94 空间材料出气速率测试方法45℃~100O℃出气量和出气速率

151. QJ 2768 95 低温容器检修技术条件

152. QJ 2861 96 氮质谱检漏最小可检漏率的检验方法

153. QJ 2862 96 压力容器焊缝氮质谱

154.QJ 2965 97 氟橡胶密封超高真空法兰规范

155 . QJ 3088 99 正压标准漏孔校准方法

156. QJ 3089 99 氮质谱正压检漏方法

157.JJG(航天)3399 气体活塞式压力计检定规程

158.JJG(航天)4599 比对法校准真空计检定规程

159 .JJG 793 92 标准漏孔检定规程