飞越真空泵vrd-8说明书

旋片式真空泵使用说明：1、与泵联接的管道不宜过长,且不宜小于泵的进气口径。2、被抽气体温度不得高于40℃,否则应把气体冷至常温。3、含有较多尘埃的气体则应加以过滤,有腐蚀性及油起化学反应之气体则应加气体吸收及综合装置,如含水蒸气过多,则应加去湿装置,以防止泵油弄脏,影响其真空性能及泵的使用寿命。4、泵云装过程中油温不能高于70℃,在正常工作时应听到“嗒、嗒、嗒”之排气声,如有异声或温度骤升时应停止工作,检查原因。▲检查油温时,小心接触,以免烫伤。5、泵不使用时,应把进气口盖好,以免污物落入泵内6、停泵前必须关闭其余被抽系统联接之阀门(避免泵油进入被抽系统),然后关闭电机并注意是否打开了充气阀,最后停止冷却水。7、普诺克真空科技本产品使用的真空泵油如为本《使用说明书》上规定性能则能保证产品性能。但如用其它的品种,我们将不能确保泵的性能达到使用要求和寿命要求。8、根据不同的使用环境,油的更换周期不同。更换油时,先敞开进气口,拆下油箱盖,用于旋转皮带轮(按箭头方向),把泵腔油全部排至油箱,用油扫扫出后用布抹干净。如需彻底淸洁,可再在进气口倒适量的清洁油,重复上述过程。清完后,倒入新真空泵油至油镜中线位置(保证正常运行时,油面处于油镜中线高度),注意油量不能过多,否则会影响泵的再次启动及喷油。9、真空泵是用来抽除密封容器中的气体,开机后会从排气口排出油和空气混合的烟雾状气体,俗称“烟”。排“烟”时间长短视容器大小而定。如果在油温不高的情况下长时间有烟,则证明管道或被抽容器漏气直接导致真空度不高,应检查漏气原因。▲泵内部核心部件,非绝对必要,切不可自行拆卸,如有损坏或装配不当,会影响泵的性能。

上海曙光高真空扩散泵是由三只真空泵串联组合而成。 第一级是以扩散油在一个密闭的容器内加热通过蒸发塔产生高速气流，气流的循环引成抽真空，这是射流原理。 第二级是一只罗茨泵把蒸发塔中的空气抽出加大扩散泵真空度。 第三级是旋片式真空泵，只有这样三级合力抽真空才能达到效果。

扩散泵多用于灯具真空镀铝等用途要就真空度高，如过真空度达不到（10－3～5X10-7)镀出来的产品会发黑或有花纹。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

真空机组安装前检查设备的完整性，并熟悉所配各泵的使用说明书。将机组就位固定好底角，按要求连接管路。罗茨真空机组启动前，要检查系统各管道是否有泄漏；液环泵启动前要点车启动，检查是否被卡住；启动前还要按《好凯德罗茨真空泵使用说明书》将罗茨泵油箱及油杯内油位注至指定要求；并且连接好罗茨泵的冷却管路，保证罗茨泵轴封端的冷却效果。真空机组装配好控制柜，按电气原理图联接电动机和电接点真空表。给电控柜送电前，还应遥测其绝缘电阻10MΩ，且机架与各电机有良好的接地。

此外，好凯德罗茨真空机组机组启动前，检查各泵的转动方向是否正确，做好开车前的其他准备工作。由于它具有启动快、耗功少、运转维护费用低，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感等特点，被广大的用户所认可。

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。

真空泵的使用方法如下：

1、将真空泵的吸气口通过工艺管与压力表的三通修理阀相连接。

2、将压力表的三通修理阀在与另一边的工艺管相连接。

3、将工艺管带顶针的一端与空调外机的三通截止阀相连接。

4、空调管道抽真空的时候,先打开修理阀的阀门。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

使用旋片式真空泵在起动时应先把系统的连接法门关闭，起动后再慢慢打开连接系统的法门，这样可以避免因进气量过大造成泵内的油液喷出而流失。关闭真空泵之前应先关闭系统连接法门，然后再停泵，这样可以避免系统内反流回气体，破坏系统真空度。

一、真空双锥回转真空干燥机机使用环境要求：

a）温度：　5～40℃

b）相对湿度：≤85%

c）电源电压：　AC220V±10%

d）周围无强烈震动及腐蚀性气体影响

二、真空双锥回转真空干燥机机的抽真空调试：

a）将箱门关上并将门拉手旋紧到位，关闭放气阀（使橡皮塞上的孔与放气阀上的孔扭偏90°），开启真空阀（由逆时针旋转90°），第一次使用可能真空阀开关较紧，可用力旋转。

b）用随机配件真空连接管（内径：Φ16mm壁厚：10mm）将真空双锥回转真空干燥机箱抽气管（外径：Φ16mm）和真空泵（2XZ-2型，进气口外径Φ16mm）连接牢固（6090及6210型已连接好）。接通真空泵电源，开始抽气，当真空表指示值达到-0.1Mpa时，先关闭真空阀后关闭真空泵电源，以防止真空泵机油倒流到工作室内，（6090及6210型无真空阀，可直接关闭面板上真空泵电源）此时真空双锥回转真空干燥机机内处于真空状态。

三、真空双锥回转真空干燥机机调试：

在真空度调试完毕后，可作如下操作：

a）打开真空双锥回转真空干燥机机电源，此时电源指示灯应亮（6090及6210型应再分别打开控温仪开关）控温仪通电自检，PV屏显示工作室内测量温度，SV屏显示出厂时设定的温度。控温仪上AT及HEAT等灯应亮，表示仪表进入加温的工作状态。

b）修改设定温度

⒈按一下控温仪的功能键（SET)PV屏显示SP字符后，可用键头按钮进行设定温度的修改（6090与6210型对2及3个仪表应分别设定修改，以下类同）。

⒉修改完毕后，再按一下SET键，PV屏显示ST字符，设定定时时间。如不使用定时功能，则仍然让其ST=0

⒊再按一下SET键，使PV屏显示工作室温度，SV屏显示新的设定温度。仪表AT及HEAT灯亮，此时仪表重新进入加温的工作状态。

⒋若工作室内双锥回转真空干燥机物的湿度较大，产生的水气会影响真空泵的性能，建议在双锥回转真空干燥机箱和真空泵之间，串入一个“双锥回转真空干燥机/过滤器”。该公司能按需配一个外形尺寸为Φ120×300mm，接口外径Φ16的双锥回转真空干燥机器。

⒌若在双锥回转真空干燥机物品的过程中，需要加入氮气等惰性气体，应在合同中注明，增配一个进气阀。

c）当工作室内温度接近设定温度时，HEAT灯忽亮忽暗，表示加热进入PID调节阶段，仪表有时测量温度超过设定温度，有时低于设定温度属正常现象。当测量温度接近或等于设定温度后，再待1~2h后工作室进入恒温状态，物品进入双锥回转真空干燥机阶段。

d）所需温度较低时，可采用二次设定方式，如所需工作温度70℃，第一次先设定60℃，等温度过冲开始回落后，再第二次设定70℃，这样可降低甚至杜绝温度过冲现象，尽快进入恒温状态。

e）当物品双锥回转真空干燥机完毕后，关上电源，如果加速降温，则打开放气阀使真空度为0，待5分钟左右再打开箱门。

四、真空双锥回转真空干燥机机使用时的注意事项：

⒈外壳必须有效接地，以保证使用安全。

⒉真空双锥回转真空干燥机机应在相对湿度≤85%RH，周围无腐蚀真空干燥机性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。

⒊真空双锥回转真空干燥机机工作室无防爆、防腐蚀等处理，不得放易然、易爆、易产生腐蚀性气体的物品进行双锥回转真空干燥机。

⒋真空泵不能长时期工作，因此当真空度达到双锥回转真空干燥机物品要求时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，待真空度小于双锥回转真空干燥机物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。

⒌双锥回转真空干燥机的物品如潮湿，则在真空箱与真空泵之间最好加入过滤器，防止潮湿气体进入真空泵，造成真空泵故障。

⒍双锥回转真空干燥机的物品如双锥回转真空干燥机后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网，以防双锥回转真空干燥机物吸入而损坏真空泵（或电磁阀）。

⒎真空双锥回转真空干燥机机经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出距离来解决。当真空箱双锥回转真空干燥机温度高于200℃时，会产生慢漏气现象（除6050、6050B、6051、6053外），此时拆开箱体双锥回转真空干燥机背后盖板用内六角扳手拧松加热器底座，调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。

⒏放气阀橡皮塞若旋转困难，可在内涂上适量油脂润滑。（如凡士林）

⒐除维修外，不能拆开左侧箱体盖（6090及6210型除外）以免损坏电器控制系统。

⒑真空双锥回转真空干燥机机应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭，应用松软棉布擦拭。

⒒若真空双锥回转真空干燥机机长期不用，将露在外面的电镀件擦净后涂上中性油脂，以防腐蚀，并套上塑料薄膜防尘罩，放置于双锥回转真空干燥机的室内，以免电器元件受潮损坏，影响使用。真空干燥机面临整合 提升技术管理是关键、真空干燥机面临整合 提升技术管理是关键、真空干燥机的可持续发展、微波真空干燥设备的优点、传导传热真空干燥机在制药中的应用、微波真空干燥设备的七大优点分析 真空干燥机系由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。它的工作原理是将被干燥的物品先冻结到三相点温度以下，然后在真空条件下使物品中的固态水份（冰）直接升华成水蒸气，从物品中排除，使物品干燥。物料经前处理后，被送入速冻仓冻结，再送入干燥仓升华脱水，之后在后处理车间包装。真空系统为升华干燥仓建立低气压条件，加热系统向物料提供升华潜热，制冷系统向冷阱和干燥室提供所需的冷量。

设备采用高效辐射加热，物料受热均匀；采用高效捕水冷阱，并可实现快速化霜；采用高效真空机组，并可实现油水分离；采用并联集中制冷系统，多路按需供冷，工况稳定，有利节能；采用人工智能控制，控制精度高，操作方便。对冻干制品的质量要求是：生物活性不变、外观色泽均匀、形态饱满、结构牢固、溶解速度快，残余水分低。要获得高质量的制品，对冻干的理论和工艺应有一个比较全面的了解。

冻干真空干燥工艺包括预冻、升华和再冻干三个分阶段。合理而有效地缩短冻干的周期在工业生产上具有明显的经济价值。真空干燥机在密封的夹层中通入热能源（如热水、低压蒸汽或导热油），热量以内壳传给被干燥物料。在动力驱动下，罐体作缓慢旋转，罐内物料不断地混合，从而达到强化干燥的目的。物料处于真空状态，大气压下降使物料表面的水份（溶剂）达到饱和状态而蒸发，并由真空泵及时排出。 真空干燥机操作时，先开动搅拌器，加入被干燥的物料，并将加料口关闭。同时通入蒸汽加热，加热蒸汽的压力一般为0.2~0.4Mpa（表压）。用真空泵抽出水蒸汽和不凝气体，一般物料干燥时，真空度约为700mmHg。这种干燥器的水分蒸发强度，随物料性质、湿度、加热蒸汽压力及真空度等的不同而异。例如，在真空度为700mmHg，加热蒸汽压力为0.2Mpa（表压）时，将马铃薯淀粉从初水分为40%干到20%，干燥机的水分蒸发强度为5~7 kg/m2·h。

真空干燥机的操作比箱式干燥器的劳动强度低，能回收物料中的有用湿分，操作条件好，管理比较方便。其缺点是生产能力低，设备结构比较复杂，搅拌器叶片易损坏等。这种干燥器在染料和医药工业中应用较多。例如，干燥还原染料中间体、蒽醌磺酸、还原橄榄绿R、水杨酸中间体、卡普龙聚合体、二氨基蒽醌等物料的干燥。真空耙式干燥机设备结构。