真空泵的主要参数有哪些

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

Micron 原来是长度单位 ，但是真空方面有些用它来代表汞住。

1 micron =10-3 mm

75Micron =9.999Pa

极限真空度没有达到有很多原因，你的泵抽速不到3L/S ，所以不能抽太大的容器，另外，漏气，缺油也都不能达到预期的真空度

内抽式真空机由真空泵、真空室、加热变压器、加热台、有机玻璃板上盖、气囊、电磁阀、时间继电器、电源指示灯、空气开关、真空表、档位开关、急停开关、交流接触器、等部件组成。

可将真空袋内的空气抽走并将胶袋口封牢，该创盟真空机适合于各种食品、电子产品的

基本介绍中文名 ：真空机 外文名 ：Vacuum machine 真空包装,概念定义,分类,作用机理,茶叶真空机,维修保养,常见问题处理,常见故障,操作步骤,类别,真空机出口注意事项, 真空包装 概念定义 真空包装是将食品装入包装袋，抽出包装袋内的气体，达到预定真空度后，一次完成封口与压印日期工序。 真空充气包装将食品装入包装袋，抽出包装袋内的空气达到预定真空度后，再充入氮气或其它混合气体，最后，一次完成封口与压印日期工序。使用产品内充满气体，（膨化食品，面包，鱼片等等产品） 外抽式真空机 主要还有抗压、防碎，阻气、保鲜、保持食品干燥等一些利保存的条件。 分类 1、内抽式真空机分：DZD-400/S单室真空机、DZD-400/2S双室真空机、DZD-500/2S双室真空机、DZD-600/2S双室真空机、台式真空机、茶叶真空包装机，可对固体、液体、粉状、糊状的食品、粮食、果品、酱菜、果脯、化学药品、电子组件、精密仪器表、稀有金属等进行真空包装，包装效果紧密、牢固、美观。 2、外抽式真空机主要分：VS-600与VS-600A型，其档次配置分： （1）继电器+真空发生器 （2）继电器+优质真空泵 （3）PLC控制+优质真空泵 （4）PLC控制+液晶显示屏+优质真空泵 这四种配套都是市场非常广泛的，但是（4）PLC控制+液晶显示屏+优质真空泵是目前操作最方便，可视化程度更高，维修率最低的一款。套用于特大件或异型物品来说此机最为适合。 作用机理 真空包装的主要作用是除去氧气与空气中各种气体，以有利于防止食品变质，其原理也比较简单，因食品霉腐变质主要由微生物的活动造成，而大多数微生物（如霉菌和酵母菌）的生存是需要氧气的，而真空包装就是运用这个原理，把包装袋内和食品细胞内的氧气抽掉，使微物失去“生存的环境”。实验证明：当包装袋内的氧气浓度≤1%时，微生物的生长和繁殖速度就急剧下降，氧气浓度≤0.5%时，大多数微生物将受到抑制而停止繁殖。（注：真空包装不能抑制厌氧菌的繁殖和酶反应引起的食品变质和变色，因此，还需与其它辅助方法结合，如冷藏、速冻、脱水、高温杀菌、辐照 灭菌、微波杀菌、盐腌制等。） 真空除氧除了抑制微生物的生长和繁殖外，另一个重要功能是防止食品氧化，因油脂类食品中含有大量不饱和脂肪酸，受氧的作用而氧化，使食品变味、变质，此外，氧化还使维生素A和C损失，食品色素中的不稳定物质受氧的作用，使颜色变暗。所以，除氧能有效地防止食品变质，保持其色、香、味及营养价值。具有很大的商业价值。 真空充气包装的主要作用除真空包装，所具备的除氧保质、保鲜功能外，主要还有抗压、防碎，阻气、保鲜等作用，能更有效地使食品长期保持原有的色、香、味、形及营养价值。另外，有许多食品不适宜采用真空包装而必须采用真空充气包装。如松脆易碎食品，易结块食品，易变形走油食品，有尖锐棱角或硬度较高会刺破包装袋的食品等。食品经真空充气包装后，包装袋内充气压强大于包装袋外大气压强，能有效地防止食品受压破碎变形并不影响包装袋外观及 印刷装潢。 真空充气包装在真空后再充入氮气、二氧化碳、氧气单一气体或二 三种气体的混合气体。其氮气是惰性气体，起充填作用，使袋内保持正压 ，以防止袋外空气进入袋内，对食品起到一个保护作用。其二氧化碳能够溶于各类脂肪或水，引成酸性较弱的碳酸，有抑制霉菌、腐败细菌等微生物的活性。其氧气具有抑制厌氧菌的生长繁殖，保持水果、蔬菜的新鲜及色彩，高浓度氧气可使新鲜肉类保持其鲜红色。 怎样选择真空机： 1.购买设备的时候先选机型哪款设备与你自己包装的尺寸的设备性价比都高。 2.设备产量与真空机力度是否满足自己的包装。 3.真空机的做工要求特别是真空室。 比如说有机玻璃盖与真空室的做工是否平滑焊点。 4.真空泵问题，一般真空机有20的泵与40泵，所以在价格方面会有很大的要区别。 5.真空机的质量市场都差不多少，主要还是服务。 所以买设备的时候，虽买是你买东西，但还是要跟销售人员关系好一点。 那样以后服务起来人家会更愿意为你办事。 6.设备厂家尽找一家模中等的公司。 大公司不会注重你的一家小客户，小公司想做好可以没实力，所以选中等公司没错。 7.价格问题，不要最高的价格公司，自己血汗钱经不起折腾，也不能最便宜的，肯定有猫腻，中等价位就可以，一分价格一分货确实是有道理的。 8.设备与手机一样，自己稍微爱护点，轻拿轻放，保持干净、干燥，用个3-5年之间一点问题的没有，易损件当然不算了。 茶叶真空机 茶叶真空机的工作原理其实很简单。 使用原理与操作过程 ：在装完茶叶后，将装满茶叶的袋子按要求放入不同大小的成型盒中，把需要开口的那一面放在真空的加热棒上，用压条压好需封口，此步骤完成后接下来需要如下： 封口时间、抽真空时间、充氮时间设定好后，开始把真空盖压一下就可以了。 真空机启动力涵牌真空泵后，把真空室内的空气排出来。 其次力涵真空机启动充氮功能，充入氮气，到时间后，开始热封，把产品封牢。 整个动作完成后，真空盖会自行抬起，操作人员就可取出以包装好的产品，重复这样动作即可。 维修保养 常见问题处理 故障现象 故障原因、处理办法： 真空度低：泵油污染、过少或过稀，清洗真空泵，更换新真空泵油。 抽气时间太短：延长抽气时间。 抽气过滤器堵塞：清洗或更换排气过滤器。 有漏气处：抽空后关闭电源，检查电磁阀、管接头、真空泵吸气阀及工作室周边密封垫有无漏气处。 噪音大：真空泵联轴器磨损或破裂，更换。 排气过滤器堵塞或安装位置不正：清洗或更换排气过滤器并安装正确。 有漏气处：检查电磁阀是否有漏气并排除。 真空泵喷油：吸气阀O型圈脱落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽气嘴，取出压簧和吸气阀，轻轻拉伸O型圈几次，重新将其嵌入凹槽内，再安装即可。 旋片磨损：更换旋片。 真空泵漏油：回油阀堵塞，卸下回油阀，清洗(详见说明书)。 油窗松动：放油后，卸下油窗，缠上生料带或薄塑胶薄膜。 真空泵油烟大：抽气过滤器堵塞或污染，清洗或更换排气过滤器。 泵油污染：更换新油。 回油阀堵塞：清洗回油阀(详见说明书)。 不加热：加热条烧断，更换加热条。 加热时间继电器烧坏(开机即两灯同时亮，OMRON灯颜色为黄色)： 更换时间继电器。 加热线烧断：更换加热线，并安装牢固。 控制加热温度波段开关接触不良：修复或更换。 控制加热的交流接触器不复位：修复(用气流吹去异物)或更换。 加热变压器坏：更换。 加热不停止：加热时间继电器接触不良或烧坏，调整时间继电器与插座接触或更换。 控制加热交流接触器不复位：修复或更换。 封口不平、不紧或不封口：钢盒变形，调整钢盒加热时间与加热温度未调好，调整至合适。 加热布上有附着物：用指甲轻轻刮去附着物。 加压电磁阀不动作：清洗或更换电磁阀。 气囊破损：更换气囊。 加压气管破损：修理或更换。 不放气：冷却时间继电器坏(电器箱内) 更换时间继电器。 放气阀线路断路：查找并接好。 放气阀粘住或烧坏：拆下清洗或更换。 一边加热，一边不加热：不加热一边的包装袋压条与加热装置短路(一般与铜焊片短路) 调整铜焊片位置，或休整包装袋袋压条。 泵转不抽真空：工作室未盖严，将工作室盖严。 电机反转： (注意不要换地线，花色线为地线) 保险断(指示灯亮) ：更换相同规格保险。 合盖不工作：没有电源，查看有无电源。 行程开关未动作：调整行程开关拨片。 频繁烧保险：有短路处，查找并排除。 电机反转时间过长：任意两相电源线调换安装(地线除外) 。 排气过滤器堵塞：清洗或更换。 油粘度太高：清洗泵并换油。 保险盒内拨片有短路处：修复。 跑袋：加压阀坏或堵塞，更换或清洗加压阀。 加压气路通气不畅：理顺疏通加压气路。 常见故障 跑袋：外接气源压力太大，外接气源压力指示≤0.2MPa 。 充气嘴口太大：减小充气嘴口。 封口起皱：充气嘴没有固定，固定充气嘴。 外接气源压力大：外接气源压力指示≤0.2MPa 。 充气量不足：充气管路受压迫，调整充气管路。 充气时间太短：延长充气时间(至少15秒)。 食品真空机特性 食品真空包装机具有抽真空、封口、印字、冷却一次性完成之功能，适用于食品药品、水产、化工原料、电子元件等产品的真空包装，可防止产品的氧化霉变、防腐防潮，可保质、保鲜、延长产品的储存期限。 技术参数 型号：400-A 电源电压：220V 50Hz 功率： 1.5KW 真空室尺寸：420x440X115mm 封口长度：400x10mm 包装速度：1-4pec/min 重量：105kgs 外形尺寸：660x600X1010mm 食品真空包装机的特点 1 、进出料方式：前进右出式； 2 、采用热箱固定瞬间加热方式，节省能源； 3、特殊电热排列，热量分布均匀； 4、机体小巧，占地面积小； 5、采用台湾、日本、韩国原装进口零配，性能稳定可靠。 操作步骤 1、接通电源：根据需要拨动电源选择开关，即电源指示灯亮。电源选择开关指向真空为真空封口，指向真空充气为真空充气封口。 2、将装有物品的塑胶袋置放真空室内。袋口整齐地摆在热封条上(如作充气包装至少应有一只喷咀插入袋口内)。 3、压下机盖，面板上抽气(真空)指示灯亮。真空泵开始抽气，机盖即被自动吸住，抽真空旋钮可根据包装要求调节真空度高低，调节时，视刻度由低至高，幅度要小。 4、当抽气达到设定的时间(即所要求的真空度)时，即抽气结束，抽气指示灯熄灭，充气指示灯亮，以示充气开始。充气旋钮可调节充气时间长短(即充气量多少)，方法同上。如不需要充气。将电源开关拨到真空位置，程式自动进入真空包装，充气指示灯熄灭。 5、抽气或充气完毕时，指示灯随之熄灭，热封指示灯亮，即进入封口程式，面板上设有热封时间及温度调节旋钮，以适应不同厚薄材料，调节时间及温度时，旋动幅度要小，防止热封温度突然增高，烧坏热封配件。 6、当达到设定热封时间时，热封指示灯熄灭，以视热封结束，即真空室经电磁阀进入大气，直至机盖自动抬启，真空充气包装过程全部结束，准备进行下次包装循环。 类别 真空机之下的类别：台式真空机、家用真空机、单室真空机、双室真空机、自动真空机、桶式真空机、外抽式真空机都是真空机下面的分类。 真空机出口注意事项

随着经济全球化的发展，中国与世界的接触更加紧密了，因此中国的商品也越来越多的走向国际市场，对于包装行业也不例外， 真空机 的出口就是很好的实例，但对于刚刚着手做出口行业的人员与企业来说，这都是陌生的，那么真空包装机在做出口时需要注意哪些问题呢？

1、电压问题。这是不容忽视的，目前国内的电压都是220v与380v居多，生产的设备也多用这两种电压，一旦出口到国外，这个问题就一定要加以考虑，如果被出口国有特殊要求，一定要与生产商及早沟通，以免造成不必要的麻烦。

2、易损配件。任何设备都有易损的零部件，真空包装机也不例外，在做出口时这些部件除了厂家配送的以外，用户还应多购买一些以备后期的及时更换，避免造成生产的延误与运输成本的增加。

3、控制台与使用说明书的语言问题。这个问题也是非常重要的，它直接决定了用户能否正常操作设备，因此在做出口时一定要确定 真空机 的使用语言是被出口国的使用者可以接受的。

GFJX1986 好很高兴认识你!

DZ-400/2ES 真空包装机 的详细说明

DZ系列真空包装机，只需按下真空室盖即可按设定的程序完成抽真空或抽真空后充入惰性气体，封口、印字、冷却、排气的全过程。经真空或真空充气包装后的物品可防止氧化、霉变、虫蛀、受潮、延长产品储存期限

型号: DZ-400/2D DZ-400/2ES DZ-400/2F

电源电压: 380V/50HZ 220V/50HZ

功率: 0.75KW 0.7KW

热封功率: 0.5KW

真空室最低绝对压强: 1.33Kpa

真空室体积: 440×420×100(mm)

热封条长度宽度: 400×10(mm)

每室热封条数: 2

真空泵排气量: 20m3/h

真空室形式及材质: 不锈钢真空室

外形尺寸(L×W×H): 540×480×1010(mm) 540×480×550(mm)

重量: 110kg 80kg

首先要弄清楚600mmHg是表压表数据还是绝压表的数据，计算算出来真空度。但是进气压力600mmHg是表示设备连接到管道再到真空泵吸气口，表示的是这一段的管路的压力值，其实也代表设备使用真空度。

微型真空泵的主要参数有真空、真空度、负压、流量、抽气速率、电压、电流等。现在微型泵选型中，如微型真空泵，微型气泵，微型气体采样泵，微型气体循环泵，微型抽气泵，微型吸气泵，微型打气泵，微型充气泵，微型高压气泵等选型中，有几个基本概念要弄清楚：1. 真空：指在给定的空间内，压力低于101325Pa(100Kpa,即一个标准大气压)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，压力值越小则表示气体越稀薄。例如，两个密闭容器，A容器内气体压力为50Kpa，B容器为30Kpa， B容器内气体肯定比A容器稀薄。工业上有真空泵、气体采样泵、气体循环泵、抽气泵、抽气打气泵等多种微型泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有： 2. 真空度 ：是衡量气体稀薄程度的物理量，常用单位是Kpa(千帕)。它是以“理论上存在的真空”为参照物，因为得出的压力值都比“理论上的真空”的压力值大，所以是正值。通常也叫“极限真空”、“绝对真空度”、“绝对压力”。它是指将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。 3. 负 压：普通真空表测得的真空值。常用单位也是Kpa(千帕)。它是以“一个大气压”作为参照物，是指被测气体压力与大气压的差值。因为得出的压力值都比“一个大气压”的压力值小，所以是负值。通常也叫“表压”、“相对真空度” 、 “相对压力”。示意图请见： http://www.wcjx.net/test-data/1jczs.htm

上海龙亚

SZ系列水环式真空泵及压缩机是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空和压力。但吸入气体允许混有少量液体。它被广泛运用于机械、石油化工、制药、食品、制糖工业及电子领域。

由于在工作过程中，气体的压缩是等温的，所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时，不易发生危险。所以其应用更加广泛。

性能参数

型号

真空最大吸气量(m3/min)

压缩机最大排气量(m3/min)

电机功率(kw)

转速r/min

水耗量L/min

最大真空度%

最大压力MPa

重量(包括电机)kg

当真空度为

当压力为(MPa)

真空泵

压缩机

0%

40%

60%

80%

90%

0

0.05

0.08

0.1

0.15

SZ-1

1.5

0.64

0.4

0.12

-

1.5

1

-

-

-

4

5.5

1440

10

84

0.10

310

SZ-2

3.4

1.65

0.95

0.25

-

3.4

2.6

2

1.5

-

7.5

11

1440

30

87

0．14

380

SZ-3

11.5

6.8

3.6

1.5

0.5

11.5

9.2

8.5

7.5

3.5

22

37

980

70

92

0．21

1300

SZ-4

27

17.6

11

3

1

27

26

20

16

9.5

75

90

740

100

93

0．21

2000

在选型前，我们必须弄清楚关于真空泵的几个基础概念：真空度、极限相对压强、抽气量。

真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限绝对压强3300Pa旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)

极限相对压强：相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽，因此，内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候，数值前面必须带负号，表示容器内部压强比外部压强低。

极限绝对压强：绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限，我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值，因此，真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时，数值前面无负号。

抽气量：抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m³/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解，理论下抽一个相同体积的容器，为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度，而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气，而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素，所以，大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议，在计算出理论抽气量的情况下，我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。抽气量具体计算公式以下会介绍。

清楚了真空度、绝对压强、相对压强这几个真空泵的基础参数后，我们就可以进入真空泵的正式选型。

1、工艺要求达到的真空度

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果绝对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

2、工艺要求的抽气量(抽气速率)

真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。

S=(V/t)×ln(P1/P2)

其中：S为真空泵抽气速率(L/s)

V为真空室容积(L)

t为达到要求真空度所需时间(s)

P1为初始压强(Pa)

P2为要求压强(Pa)

3、判定被抽物体的成分

第一、被抽物体是气体、液体还是颗粒，如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质，慎选旋片式真空泵，如果真空度要求较高，则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。

第二、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性，PH值是多少?)，若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体，应过滤或中和处理才能选旋片式真空泵。

第三、被抽物体是否对橡胶或者油品有污染?针对不同的被抽介质要选用相应的真空设备，如果气体中含有大量蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装相应的辅助设备，如冷凝器，过滤器等(具体联系我们相应技术工程人员)。

第四、 真空泵的噪音，振动，美观的对工厂是否有影响。

第五、俗话说，便宜没好货。购买真空泵和真空设备时，还应优先考虑设备的质量、运输及其维修和保养费用等。

我们生产设备一直都在用微型真空泵和微型气泵，在“成都气海”采购了一年多，品质倒是好，但价格贵。后来因成本原因，我们选了其它几家的产品，他们的参数忒复杂，专门忽悠人，什么“最大瞬间压力”、“额定工作压力”、“最大压力”等等，五花八门，在使用中产品陆续出现问题，电话咨询，他们说公布的参数是瞬间值、短时间工作参数，产品不能在这个参数下长期工作。晕死！既然你的产品不能在这个参数下长期可靠工作，那你公布这个参数干嘛！纯粹忽悠人，不负责！回过头来，还是采购“气海”的，他们公布的参数很负责，经得起实践考验，只是希望能便宜点。各位同行千万小心！

对于真空度的标识通常有两种方法，一是用绝对压力（即：绝对真空度）标识，二是用相对压力（即：相对真空度）标识。

所谓绝对压力是指，真空泵与检测容器相连，经过足够时间连续抽气后，容器内的压力不再继续下降而维持某一定值，这时容器内的气体压力值就是泵的绝对压力

相对真空度是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。