真空泵有水循环泵、油式泵、干式泵，他们有什么区别

区别如下：

1、机械泵干泵是机械真空泵（又简称干式机械泵），没有润滑，使用收取的液体来润滑。

2、油泵，是在机械腔内有润滑油润滑的泵体，工作时间长待久性好。

3、干泵的原理是工作腔产生容积的变化而进排气，形成了真空，可直接向外排气。工作装置永远没有机械摩擦因而不需要任何介质（媒体）介入。

4、油泵原理是利用油类密封各运动部件间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空帮浦。这种帮浦通常带有气镇装置。

一、有油真空泵

有油真空泵是通过油来密封，润滑，降温，这个类型的真空泵可以接受一点水分，而无油真空泵由于叶片材质多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨胀，损坏，但是无油真空泵用起来比较干净，在一些环境要求比较高的地方可以使用。

二、无油真空泵

它的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。

干式真空泵是相对于湿式真空泵而言的，例如水环真空泵需要水或者其他溶液做工作液，否则无法工作。旋片真空泵或者滑阀真空泵需要油做介质。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。

干式真空泵目前主要有罗茨干式真空泵真空泵，螺杆干式真空泵，爪式干式真空泵。这三类的转子分别是罗茨转子、螺杆转子、爪式转子。名称也是这么来的。

目前国内用的最多的就是螺杆干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比较高。

罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来。但是在国外，罗茨干式真空泵最广泛。其实在同样加工精度下，罗茨结构更稳定。

上面说的都是真空度比较高的，都是多级转子组合起来的。

另外，罗茨气冷真空泵也可以称作干式真空泵，但是真空度很低。