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油封式机械真空泵如何

动听的小熊猫
踏实的篮球
2022-12-26 19:44:03

油封式真空泵工作原理是什么?如何应用?

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动人的银耳汤
活力的小土豆
2026-04-20 06:43:50

油封式真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油封式真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得最小时,与泵的入口管道连通,于是气体进入泵吸入腔,一直到吸入腔容积最大并重新与进气口分开时为止。当容积减少时,气体被压缩,直到气体的压力大于一个大气压,排气阀被打开,将气体排出。

用油作密封泵液的必要性

当前大量使用的机械真空泵,即使设计得最好,相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时,也难以阻止气体由低真空端向入口端突破返流。另外,由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间,这也降低泵的极限真空度。油封式真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来;将有害空间充填,使得高压气体反突破的机会少得多,密封性能也就好得多,从而使泵能达到较高的真空度。

油封式真空泵的应用

油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前,油封式真空泵是国内真空获得技术中应用最广的一种泵,它可单独用作低真空设备的排气用泵,也可用作高真空排气时的前级真空泵。真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。因此,它已在国民经济的很多部门,例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。由于油封式真空泵均装有气镇装置,故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性,对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。

目前,国内的许多研究单位和生产厂家正在设计和生产出抽除水蒸气和耐腐蚀的油封真空泵系列。随着新技术、新材料的发展和应用,性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封式真空泵必将生产出来。

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故意的店员
迅速的信封
2026-04-20 06:43:50

导读:真空泵的工作原理?真空泵工作原理解析

整个汽车车身上有非常之多形状不一、不同功用的零部件,而“真空泵”是干什么的?汽车真空泵已经成为一个不可或缺的关键零部件。据了解,汽车真空泵主要应用于汽车制动系统,为汽车制动系统中的真空助力器提供真空源,减轻踏板阻力,从而减小制动距离。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。下面一起看下真空泵工作原理解析吧。

真空泵工作原理解析——种类

随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。

常用真空泵包括:干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

真空泵工作原理解析——工作原理

1)、水环式真空泵工作原理

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时,将水甩至泵壳形成一个水环,环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心,右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大,从而形成真空,使气体经进气管进入泵内进气空间。随后气体进入左半部,由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强,于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

2)、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33&tim es 10-2(pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

3)、罗茨真空泵工作原理

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量,使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时,有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压,从而降低了抽空效能,如果是酸性气体,那就会腐蚀油泵,如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。

真空泵工作原理解析——保养窍门

1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。

2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。

3、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。

4、真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。

5、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

6、向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。

7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。

8、重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。

9、开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。

10、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。

11、真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。

12、真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。

13、真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。

14、经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。

15、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

汽车的真空泵装置地位如此重要,不好好保养怎能行?也是希望大家认真阅读以上内容,不定哪天就会用到了。对于真空泵漏油到底需不需要更换,其实在面对不一样的问题时候应该用采用不一样的解决办法,而不是一致出现问题就更换,有些可能只是一个小零件坏了或者老化了,所以具体情况具体分析。以上就是我分享的关于真空泵工作原理解析的相关信息。

@2019

幽默的电话
顺利的小甜瓜
2026-04-20 06:43:50
原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外,主要是在吸气过程中,吸气腔体积增大,真空度降低,将容器内气体吸入泵腔,在排气过程中体积变小,压强增大,最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项:正常运传前,真空泵应先做一次试运转,检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强,应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下,真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂,一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水,然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时,应检查电机是否正转,也就是电机与真空泵内转子转向一致,一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源,温度过高的地方也不适合。

怕孤单的太阳
搞怪的滑板
2026-04-20 06:43:50

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:  

一、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。  

1、往复式真空泵 :利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

2、旋转式真空泵 : 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:  

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二、动量传输泵 

它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式:

1、分子真空泵 :它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。  

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

按其工作原理,基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

一、气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

二、气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等。

无限的曲奇
丰富的小懒虫
2026-04-20 06:43:50

真空泵工作原理解析:

1)、水环式真空泵工作原理

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时,将水甩至泵壳形成一个水环,环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心,右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大,从而形成真空,使气体经进气管进入泵内进气空间。

随后气体进入左半部,由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强,于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

2)、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33&times10-2(pa)属于低真空泵。

它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

保养窍门

1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。

2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。

3、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。

4、真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。

5、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

激情的月光
整齐的康乃馨
2026-04-20 06:43:50
旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

(1)体积小、重量轻、噪音低;

(2)设有气镇阀,可抽除少量水蒸气;在环境温度五摄氏度到四十摄氏度范围内,进气口压强小于1.3X103Pa的条件下允许长期连续运转,被抽气体相对湿度大于百分之九十时,应开气镇阀。

(3)设有自动防返油止回阀,启动方便;

(4)进气口连续畅通大气运转不得超过一分种;

(5)不适用于抽除对金属有腐蚀的,对泵油起化学反应的,含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高的,有爆炸性的,有毒的气体。

尊敬的黑米
单身的鸡翅
2026-04-20 06:43:50

旋片式真空泵油箱的油是靠大气压力压进去的。

旋片式真空泵是一种变容积真空泵。 泵内偏心安装的转子与定子固定面相切,两个(或以上)旋片在转子槽内滑动(通常为径向)并与定子内壁相接触,将泵腔分为几个可变容积的一种旋转变容积真空泵。 通常,旋片与泵腔之间的间隙用油来作为密封,是油封式机械真空泵。

由于真空泵开始工作后内部压力低于大气压力,油箱中的油会在大气压力的作用下流入定子空间内。

欢喜的翅膀
含糊的母鸡
2026-04-20 06:43:50
使用真空的原理是一种依靠气压差产生挟裹污水的高速气 流,并把污水从器具中取走的排水系统,其具备的优势在于:1.可以简单地解决排水沼坡,使污水可以任意地提升;2.管道管径小,埋深浅,施工更为方便快捷;3.没有外溢,不会污染地下水,环保程度高;4.整体密闭性强,没有气味,清洁度高;5.系统安全自检性强.

室内系统的工作原理是当污水达到一定水量时,真空控制阀(3)会自动开启.真空泵站中的真空泵使管道内 维持着0.6bar的负压,污水将以4m/s的速度通过真空管道(9.10) 进入真空泵站中的真空罐(1).真空排水避免了传统的重力 向下的排水局限性,所以管道布置具有任意性.在图1中我们 可以看到地下室的洗脸盆(5)及洗衣机的污水通过管道被提 升再进入真空罐.污水在真空罐内存储到一定水位后,污水泵 会开启,把污水排入市政管道.

室外系统的工作原理是不改变建筑物内原重力排水,使用 真空收集箱作为功能设备,连接其出水口,通过气动传感原理 将内部真空阀门打开,从而使进入的污水处于真空负压状态 .污水及废水就会通过收集箱吸入真空管道,再进入真空泵站 中的真空罐.室外的真空管道可以随意绕过各种障碍物,甚 至在同一沟渠内将污水管同其它管线布在同一平面.一个中心 真空泵站的辐射半径最高可达3公里而不需要另外的提升泵,在有水系的地方可以将真空管道直接沿着桥下布管;在野外管 线长,放坡大或是地下室有卫生间,需将集水池深挖的情况 下,真空管道只需埋深地下60cm至1.2m.真空泵站的工作原理和 室内系统相同.

CG-17玻璃三级高真空油扩散泵工作原理

先由转动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空.

水环式真空泵/液环真空泵工作原理

水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa.水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力.

水环泵最初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门.在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用.由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视.由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多.

在泵体中装有适量的水作为工作液.当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环.水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度).此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔.如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外.

综上所述,水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵.

罗茨泵的工作原理

罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动.在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行.由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵.罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空.为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用.

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似.由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出.由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀.

但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高.当转子继续转动时,气体排出泵外.

旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵.其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵.它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵.它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门.

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体.但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体.

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一.旋片泵多为中小型泵.旋片泵有单级和双级两种.所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来.一般多做成双级的,以获得较高的真空度.

干净的蓝天
凶狠的棒球
2026-04-20 06:43:50
1.首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。如抽取气体还有腐蚀性,则须选用不锈钢材质。若抽取的气体具有爆炸性,则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机,因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。

2.真空设备或者零部件对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。若要求不严格,可以选择有油泵,并且加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

3.真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵如水环式真空泵,或者把油蒸气排到室外。

4.如有多台大型水环式真空泵同时工作,循环液应该进行冷却,否则影响真空度。冷却装置可以配备冷却塔,同时须配增压泵对管路加压。

5.真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

6.真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

7.真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若环境不允许,应选择无振动的泵或者采取减震措施。

欣喜的手链
多情的羊
2026-04-20 06:43:50
无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。

干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。