无油真空泵的工作原理是什么

无油真空泵应该都靠石墨叶片和缸体的摩擦产生真空吧？如果是这样的话就要注意叶片的磨损情况（尺寸过短，容易掉入转子和缸体的缝隙，造成泵浦抱死损坏），还有就是要定期检查泵浦内部杂物是否掉入，如粉尘，叶片粉末等，注意清理！我就知道这些了，希望能帮助你！

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

旋片式真空泵有很多种，其中就有无油的。

无油式真空泵有更多种，其中就包含无油式旋片真空泵。

总之，这些真空泵都不是真正意义上的无油，真空无油的是水环式、射流式、蒸汽喷射式等等！

分都没有，下次不回答了！

故障现象 故障原因 对 策

真空度或排气压力不足 过滤器芯阻塞使空气不能吸入 取下过滤器芯，用压缩空气清除粉尘等垃圾，如必要用新滤芯更换；

油份泵体内，使滑片不能飞出 如少量油分进入，从吸气口倒入少量汽油，点接电源使泵运转起来，将油分甩出；如大量油进入，需要解体更换轴承和滑片

由于吸入水分，缸体内生锈，滑片不能飞出 解体取出锈斑，烘干滑片

过滤器箱消音箱或配管有漏气现象 将各部分重新调整后使之密封

皮带松弛打滑或连轴节、皮带轮固定螺栓松动 重新调整皮带张力或紧固螺栓

因电机故障转数不够 维修或更换电机

真空压力表故障 更换表计

有异常声音及表计指针数字不稳 因真空度或排气压力调整过高 吸气排气压力恢复到正常值

联轴节偏离轴心 调整同心度

各部位紧固螺栓松动 重新紧固

泵体进入油分，滑片不能飞出 清除油分

吸入杂质，滑片破碎 清除异物，更换滑片

过滤芯阻塞使空气不能吸入 清理过滤芯或更换

电机发出异常音 检测电机电流和电压

气泵运转停止 混入异物，滑片被打碎 除去异物，更换滑片

电机故障 维修或更换

转子与气缸偏心间隙过小 用砂纸打磨后重新调整

它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。无油真空泵耐用性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。

无油真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积小巧，易于安装，维护简单，移动方便，不产生油烟，不污染环境，尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室最常备的设备之一。

因此在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而选的真空泵就要高于需求的真空度，否则达不到抽真空的要求，就会达不到工作要求。其次是无油真空泵抽气速率，选型时就要稍大于所需求的抽气速率，这样就能更好的满足需要。最后看抽取的气体有无腐蚀性，有腐蚀的气体会腐蚀泵，必须要用特殊的材质才能满足需求。