旋片式真空泵使用说明

真空泵使用说明书：

1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。

2．水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。

3．环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。

4．检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。

5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。

6．用油选择：真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。

(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。

(2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。

(3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不高，可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

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iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。

水环式真空泵又叫循环水真空泵，顾名思义就是水可以循环使用，但是，由于水在低压下沸点会变低，特别是夏天，要经常补充循环水。当然，如果你用自来水直接供水则可不考虑供水问题。水环式真空泵需要正常工作的循环水量一般在0.1个m³/h以上，具体的数值参考真空泵的使用手册，都是有明确标注的，如下图。

关于水汽分离器的问题，据我所知，水汽分离器并不是阻止水汽化的装置，很多时候是为了回收某种不溶于水的气体而设置的。一般抽吸无毒无气味的气体时，配置水汽分离器的目的是为了更好的利用循环水。我们知道，水环式真空泵的出气口吐出的是气体和循环水并且有一定的压力，如果让出气口直接吐出到循环水箱，会溅起很多水雾。

首先我不知道你的真空泵是什么类型的，所以没办法判断是什么原因造成的，我在这里只给你说说进口油润滑旋片式真空泵（德国becker真空泵）的维护要点：过滤器（是排气过滤器且是棉质材料制成的）是不能清洗的，排气过滤器浸水之后会造成排气过滤器受堵塞而出现油烟较大，泵浦返压，真空度不够，泵浦过热等等故障，我给你一份正确的维护说明，如果还有不明白的地方可以随时打电话给我们；

BECKER真空泵使用维护手册

安装调试  周期保养  一般维修  中修  大修

一.    安装调试:

1.  泵浦放置水平地面或平台,也可用底脚螺栓固定于水平支座。

2.  进行进气口管道连接,除去排气口防护塞子,如操作介质中有粉尘,请加装进气口过滤器。

3.  按规定的油品和油量给泵浦注入泵油。

4.  进行电源线连接,保证供电电压频率符合电机要求。

5.  瞬时通电, 检查泵浦运转方向,使运转方向与电机上的方向标记一致。

注意:调试和使用过程中,若泵浦进气口是与大气相通状态,则绝对不允许泵浦连续运转超过3分钟

二.    日常维护:

1.  检查泵浦操作环境,避免异物杂物落在泵浦上。

2.  开机前检查油位油质是否达到开机要求,若泵油不够可添加,并确定在正常油位。

3.  注意起动及运转声响和温升情况。

4.  系统起动15分钟后查看排气压力,检查排气口有无喷油现象。

5.  在操作介质含有适量水份的情况下,泵浦要在系统起动前30分钟开机, 且在系统关闭30分钟后停机。

注意：油箱内绝对不能混有不同牌号的真空泵油

三.    周期保养:

真空泵油:1 建议使用我公司指定的泵油品牌和型号。

2.泵浦初次使用100小时后更换泵油,以后每500-2000个工作小时更换一次,(视操作介质,工作环境等因素而定)。     3 换油时应先将油箱内的油放完,注入少量新的油,开机半分钟后再将油放完,最后注入新的泵油到指定油位。

旋片:  使用周期四年左右。

轴承:  约四年更换,通常在大修保养时更换。

排气过滤器:  更换周期18个月(视操作环境而定)或当排气压力超过0.6bar时(排气压力表指针指向红色区域)。

油过滤器:  原则上与泵油同期更换

油箱油路:  清洁周期为500-2000小时

进气过滤器:  每周清洁一次。

四.    一般维修:

一般维修与周期保养是同时进行的,在保养的同时检修泵浦,而保证泵    浦工作能力。一般维修保用期为6个月。一般维修工作建议由我公司专业人员进行

五.    中修:在真空度达不到工作要求或泵头出现异常声响时需进行泵头中修。中修保用期为6个月。

1  检查更换泵头所有出现问题的零部件,更换轴封,泵油。

2  对缸套,转子,排气阀进行除碳清洁。

3  清洁进气法兰所有零件,必要时更换进气口单向阀

4  装配泵头,进行转子间隙调整。

5  整机装配,运转一个小时,检测技术参数。

中修工作必须由我公司专业人员进行

六.    大修:

泵浦严重受损,操作数据严重下降,或日常维护,保养不足三年以上,及泵  浦连续使用五年以上等情况时,需进行大修保养。大修保用期为6个月。

1.更换下列零部件(一套大修包):

旋片,轴承,轴封,轴套,密封圈,排气过滤器,油过滤器,泵油。

2.清洁下列零部件:

油路系统,排气阀,缸体,转子,进气口组件,排气口组件。

3.泵头的装配,进行转子间隙调整。

4.整机装配,运转一个小时,检测技术参数。

大修工作必须由我公司专业人员进行                 自动工程有限公司欢迎您来电具体咨询维修注意事项，

我司电话：0551-2664585，传真0551-2664586，联系人：荣朝申/查峰

2X系列旋片真空泵维护和保养如下：

1、旋片真空泵在工作中除了注意第15条事项外，尚须注意下列事项：

（1）旋片真空泵须经常保持清洁，泵上不得放置其他物件。

（2）注意皮带松紧是否适当，第半年年调整一次。

（3）管道接头是否漏气，及时杜绝。

2、旋片真空泵连续工作三月至半年之后，就应换油一次，在湿度较大的地区，在潮湿季节工作的泵，或被抽气体污染很大的，应根据具体情况酌情缩短换油时间。

换油事项如下：

（1）将旋片真空泵拆除真空系统，把底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出，再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上对，内部进行清洗，照此操作3—5次，特污油放清后，再装上放油塞，将泵放平，从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。

（2）换油时不宜长久开动电机，以免使排气阀片跳动过于剧烈和疲劳。

（3）严禁用煤油、汽油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。

注：旋片式真空泵换油最好的油温升高后进行。

3、如停旋片真空泵时间较长，应取下排气罩放上排气塞，封闭进气口，放净积水。

不知道您用的是哪种真空泵~如果是水环式真空泵进水量过大会加大对叶轮的冲击力、易产生气蚀现象把叶轮击穿或击碎，噪音过大，减短设备使用寿命；一般真空泵的进水量很难有准确的界定，一般新设备的供水量都要小一些，随着设备运行磨损内部间隙变大，逐渐加大供水量，在真空泵运行时慢慢调整供水阀门，当真空泵噪声较小，设备运行比较平稳，无刺耳噪声，这时候说明供水量比较合适。个人工作经验总结，若有偏颇请指出。

用长方形框架固定检修平台上，把一级转子的前端隔板放在上面，按照标记放入主动和从动转子，逐级安装泵壳、隔板、级间密封环、调整纸垫以及四角处的圆柱定位销，注意调整纸垫的厚度需要和拆卸时的记录一致，拧紧泵体紧固螺栓；罗茨真空泵泵体体平放检修台，安装两端隔板处转子的节流环；安装轴承箱内墙板；安装轴承座及轴承；用塞尺检查各级转子和隔板的前后间隙，要求其符合罗茨真空泵的检修手册间隙数据，一般是保证转子和前后隔板的间隙大于所要求的最小值，调整范围在0-0.10mm；预装同步齿轮：安装锁紧有键槽的同步齿轮，有圆锥的同步齿轮先用手轻轻压紧即可；两转子角度调整为交叉90°，用0.20mm塞尺插人第二级两转子之间，固定长轴垂直的转子；用手轻轻盘车另一个转子，感觉松紧前后相当，再把锁紧螺母拧紧在圆锥同步齿轮上；再手动盘车应无卡死现象；用塞尺检查各级转子间的间隙，在两转子与水平线成±45°位置要作检查；D为两转子的总间隙，一般要求转子在-45°时为D/3，转子在+45°时间隙为2D/3；安装前后轴承箱后盖板及油封、机械密封，安装后端冷却水箱，安装皮带轮；罗茨真空泵安装回原设备基础，紧固地脚螺栓，调整三角皮带松紧度，恢复进出口管道连接。