无油爪式真空泵优势

抽速你选一样大的就没有影响，爪式泵真空度3Pa,建议用一级罗茨加爪式泵机组。我是淄博的，我们公司是做爪式泵的，我是做爪式泵技术工作的，如需要资料说明书什么的可以网上发给你，离得比较近可以联系。

淄博真空泵生产制造厂家非常多，规模大小、产品质量也不一样。其产品大多是仿照最早西门子2BV\2BE平盘式真空泵系列产品。档次最高的当属佶缔纳士机械设备有限公司，其次是淄博真空设备厂有限公司（老国企做事风格很靠谱，注意名称不是淄博真空泵厂，查询的时候名字一个字都不能错）。产值最高的是淄博水环真空泵厂有限公司（不过该厂家产品质量一般，属于冲量型）。再者还有博山精工泵业有限公司（产品质量和规模都可以，属于成长型企业，在机组和特材方面比较擅长）。以上四个厂家基本可以代表淄博的真空泵设计制造水平。其他都是些上不了台面的公司，要不没有检测设备要不属于作坊加工，更有甚者连个像样的车间都没有，东拼西凑些东西给你装起来能转就出厂。这一波主要走的是经销商和个体户，产品质量根本没有保障！如果你要上项目应该过来淄博看一下，一看就全明白了。

好凯德爪式真空泵原理：

有两个计数旋转的转子同步转动的压缩室，与不接触，不摩擦，很紧的间隙。在同步性是通过精密齿轮来实现的。作为爪轮流在吸入腔，气体流入通过进气口的腔室，并移向排放口。在运动过程中的这个过程中，气体被由于两个爪之间体积的收缩，直到下爪压缩揭示了压力通道。随后被压缩的气体排出通过的通道。以除去造成在压缩过程的热量，冷却空气被吸入壳体和一个消音盖之间。

v=0.4*0.4*3.1415926*2=1立方米

你的系统有大问题，你7到8分钟才能抽到压力表所显示的真空状态大概是-0.015，不是容器有打漏，就是系统上有什么很大的问题。

明确的告诉你，肯定有问题，这个真空度抽与没抽没什么区别。

还有，仔细看一下说明书，你的容器体积与泵抽速不匹配，泵要用2X-30A的，不过怎么说也要抽到-0.1。

公式:抽速=(体积*ln(起始压力/目标压力))/时间

你要抽到-0.1，目标压力就设为1000Pa好了，旋片泵1000Pa以上是100%的效率，所以系数就算了。

我们公式变换一下计算一下时间，从大气到-0.1，t=1000*4.6/15=306.66s=5.11min

也就5分，就算80%的效率都够了。所以，肯定系统有问题。要么就是压力表坏了

无油真空泵是一种无需任何油作润滑就能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。无油真空泵耐用性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。

无油真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积小巧，易于安装，维护简单，移动方便，不产生油烟，不污染环境，尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室最常备的设备之一。

因此在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而选的真空泵就要高于需求的真空度，否则达不到抽真空的要求，就会达不到工作要求。其次是无油真空泵抽气速率，选型时就要稍大于所需求的抽气速率，这样就能更好的满足需要。最后看抽取的气体有无腐蚀性，有腐蚀的气体会腐蚀泵，必须要用特殊的材质才能满足需求。

无油直联旋片真空泵，是一种旋片式单级真空泵。用来抽除密封容器中的气体，以获取真空的基本设备。

该泵可用于空调，制冷设备的修理，医疗仪器的抽吸装置，印刷机械，真空包装，真空吸塑，理化实验及需要真空环境的小型装置等各种真空作业用。还可以作为小型的油增压泵、油扩散泵，分子泵等的前级泵使用。

该泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高，有爆炸性的有毒气体。更不能作为传输泵（即从一个容器抽送到另一个容器）使用。

是用来抽吸空气或其它不溶于水、不含固体颗粒、无腐蚀性的气体（淄博生产的玻璃钢耐腐蚀水环泵可抽吸腐蚀性气体），以便在密闭容器内形成一定的真空度，是适宜轻纺、食品、冶金、化工等工业部门用于真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空干燥、真空冶炼等工艺过程。

干泵的泵腔内没有任何液体，可以从大气抽到几个Pa。1980年干泵在半导体行业己经替代油封式机械泵，获得（1～100）Pa的极限压力，用于化学汽相沉积和芯片的刻蚀。过去半导体行业的油封机械泵都是采用惰性的氟油来润滑，以防止腐蚀性气体对油的侵蚀，但是氟油十分昂贵，而且维护费用亦很高。

采用干式真空泵，泵内不仅不存在润滑油，而且亦不存在废液处理的问题。但是泵腔内没有油，就使得泵腔内部的间隙无法保持密封，而且还失去了用于控制温度的传热介质，这对干式真空泵带来很大的挑战。

早期的干泵是由几级罗茨型转子或几级爪型转子串联而成，它们在泵腔内没有任何接触，用同步齿轮带动二个平行的转子轴，由于泵腔内没有任何液体，所以内部间隙要尽可能保持很小，以减少气体的返流。但是这个很小的间隙对于工艺颗粒的堆积显得十分敏感，目前解决这个问题的办法就是：从泵的入口充入惰性气体将它冲刷掉，或者用惰性气体来稀释可凝性的腐蚀气体。

干泵在半导体行业应用成功，亦激励干泵制造商将干泵引入化学工业，虽然干泵价格昂贵，但运行成本较低，特别是没有废液处理问题，对环境和健康十分有利。目前各种类型的干泵很多，包括涡旋泵、隔膜泵、干式旋片泵、罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。在化工行业应用中占主导地位的是罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。

1 罗茨型干泵

罗茨型干泵是属于较大型的干式真空泵，在化学工业有着广泛应用。该泵是由三级三叶型罗茨转子串联组成，它们装在同一根轴上，各级转子之间由中隔板隔开，形成各级泵腔，上一级排气口连到下一级进气口，各级串联进行抽气。各级转子的直径和形状是相同的，各级转子的宽度向高压侧方向变窄，但是这种设计均需要级间冷却，亦即上一级排出的气体通过热交换器后冷却后再进入到下一级的入口，如图8所示。这种三叶型的罗茨型干泵虽然可以减少气体返流，但是被抽气体要经过曲折路程才能排出到泵外，容易造成工艺物料堆积在泵腔内，而且颗粒杂质也不容易直接排出到泵外。罗茨型干泵可以从大气抽到10Pa，抽速为（36～60）升/秒。

图8 罗茨型干泵

2 爪式干泵

爪泵在1930年就己经研究成功，并首次用于压缩机行业，这种爪式转子的特点是在高压下具有高的压缩比。爪式转子还具有两个功能：一是用来截获、输送以及压缩气体，另一个就是像阀门一样，在适当的时间打开和关闭吸气口和排气口。目前这种泵的设计结构大都是由一级罗茨转子与三级爪式转子串联而成，罗茨转子作为高真空级，爪形转子作为压缩排气级，如图9所示。

图9 单爪式泵

这种爪式干泵早期应用于半导体的溅射、刻蚀、离子注入及PCVD薄膜制备等领域时，由于在工艺过程中会生成大量微小颗粒或反应生成的腐蚀性介质，可以通过向泵口引入惰性气体进行清洗，以防止微小颗粒在泵腔内沉积，同时亦降低腐蚀性气体的浓度。爪型泵己经在化工行业的蒸发、蒸馏、干燥、浓缩等领域应用。这种爪型泵的极限压力为（1～10）Pa，抽速为（25～140）L/s。

3 螺杆真空泵

螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦组件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域到广泛应用。

螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口，见图10。

图10 螺杆真空泵断面图

早期的螺杆真空泵是等螺距，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成，另外一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵，螺杆是由一个整体材料加工制作而成，各种不同的螺杆设计见图11所示。

图11 各种不同的螺杆设计

变螺距真空泵的最大优点就是比等螺距螺杆真空泵节能30％，排气温度亦较低。图12和图13分别为等螺距与变螺距的P-V图。

图12 等节距螺杆P—V图

图13 变节距螺杆P—V图

与罗茨型干泵和爪式泵相比，螺杆真空泵被抽气体在泵内的路程很短（见图14、15、16），很少受到扰动，可以迅速排出，因而微小的颗粒杂质不易积累在泵内。

图14 多级罗茨式

图15 罗茨+爪式

图16 干式螺杆泵

另外，螺杆真空泵的抽速特性较好，有效工作压力范围很宽，在大气到100Pa时仍有较高抽速（见图17）。

图17 抽速特性比较

由于螺杆真空泵大多数是用于抽除腐蚀性或危险性气体，为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或生锈并延长泵的使用寿命，根据不同的应用可选择下列不同的涂层：

PTFE(聚四氟乙烯)涂层：

●耐化学性能好；

●涂层寿命较短；

●熔点低于300℃；

●耐磨性较差。

NIFA涂层：

●2个涂层（Ni+PFA），第一层Ni（15～20）μm，第二层PFA（25～35）μm(可溶性聚四氟乙烯)；

●对所有的化学物质均具有良好的耐腐蚀性；

●耐机械划伤的性能好；

●即使PFA涂层磨损，仍然有Ni涂层保护基体材料。

NIFLON涂层：

●1个涂层（PTFE溶于化学镀Ni）15～20μm；

●良好的耐磨性；

●对基材具有良好的结合力；

●对极大多数化学物质具有良好的耐蚀性；

●耐机械划伤；

尽管螺杆真空泵有涂层保护，但是仍然要避免腐蚀性介质冷凝在泵内，因此正确的操作使用和日常维护仍然十分重要——

在启动螺杆泵以前，首先要从泵的入口充入惰性气体，运行半小时，使泵腔内的温度升高，以防止被抽气体冷凝在泵腔内；

在螺杆泵停机以前，亦要从泵的入口充入惰性气体，运行半小时，以彻底清除泵腔内的残余物质；

如果工艺物质堆积在泵腔内，造成再启动困难或启动电流过大，则需要在停泵情况下，关闭主阀，打开排气口，用水蒸汽进行冲刷，直到泵可以灵活转动为止；

最后，由于螺杆泵在化工行业使用工况比较恶劣，必须根据使用说明书的要求进行日常维护。

结语

液环泵结构简单，运动部件少，操作、维护都十分简便，而且价格亦较低廉。螺杆真空泵虽然价格比较昂贵，但性能十分优越，运行费用亦低，不存在废液排放问题，既节能又环保。所以上述两种真空泵最适合于化工工艺应用。