旋片式真空泵都有哪些分类特点及用途？
旋片式真空泵的分类有很多，国产的旋片式真空泵包括2X型旋片式真空泵、X型旋片式真空泵、2XZ型旋片式真空泵、XD型旋片式真空泵、WX型无油真空泵，将其特点和用途介绍如下：
2X型旋片式
一、2X型旋片式真空泵的概述：
2X型旋片式真空泵为双级结构，它的工作性能由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。该泵的技术参数6×10-2pa。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将2X型旋片式真空泵为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使你的设备获得更高的真空。
二、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围：
由于现代科学技术的高度发展，2X型旋片式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，其主要表现在：
1、可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。
2、由于2X型旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是与油联系在一起的，所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定量的可凝汽体。
3、2X型旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10-3托以下的真空作业，以及配合其它真空设备获得真空度10-3托以上的真空作用之用。
4、2X型旋片式真空泵一般在不底于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。
可根据用户使用情况，配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，设备能获得更高的真空。
X型旋片式
一、X型旋片式真空泵的介绍及用途：
X型旋片式真空泵系单级旋片式真空泵，国内首创的能抽除大量水蒸气的新产品，由于泵本身带有油再生装置和可靠的气镇装置，延长了泵油的使用寿命。X型旋片式真空泵用来对密封容器抽除气体所获得真空的基本设备，适用于电子器件制造，真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等（工艺品专用泵）。它可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵的前级泵使用，但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时，应加附设装置。主要型号有：X-100型单级旋片式真空泵、X-150型单级旋片式真空泵。
二、X型旋片式真空泵的特点：
1、相对于XD系列单级真空泵具有极限真空高，对于滑阀真空泵可通过调整消声针阀来控制噪声，由于其转子偏心质量小，且对转子作了平衡，故振动小。
2、X系列旋片式真空泵抽气效率高。
3、X系列旋片式真空泵气镇性能好。
X系列旋片式真空泵有经过特殊设计的气镇装置可向排气腔充入干燥气体，从而大大降低排出气体中蒸汽的分压力。当其低于泵温下的饱和蒸汽压时即可随充入空气排出泵外，而避免凝结在泵中。
4、X系列旋片式真空泵配有温控水量调节阀。
泵工作时通过泵自身所配上述调节水压，可将泵温调至75oC±5oC，从而提高排出泵外，但应使泵温不超过80oC（油箱测温点）。
5、X系列旋片式真空泵有油水分离器。
它能够使泵油中的杂质和凝结物积存到油水分离器的底部，通过安装在底部的放水阀排出泵外。
2XZ型旋片式
一、2XZ型旋片式真空泵概述：
2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时将容器内的气体大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级入口的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空，2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。
二、2XZ型旋片式真空泵的特点：
2XZ型旋片式真空泵具有体积小，重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施（2XZ-8）和无防止油封漏油污染场地的措施。
1、2XZ型旋片式真空泵是获得真空的基本设备，它可单独作用，亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。
2、2XZ型旋片式真空泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。
3、泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的，对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以体含氧过高的，有爆炸性的气体。
4、泵有得作压缩泵或输送泵用。
5、2XZ型旋片式真空泵的工作环境：温度5℃-40℃范围内，相对温度不大于90%，进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。
6、装接电源时，按电机标牌的规定接线，应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。
7、连续被抽容器的管道，其直径应不小于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，同时注意管道的泄漏。
8、每次起动前着重查看油位，以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。
9、具泵油采用清洁的SY1634-701号真空泵油。
10、2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难，可拨掉进气管塞帽起动，随后投入运转。
WX型无油型
一、WX型无油真空泵概述：
WX型真空泵系无油真空泵，是一种获得真空设备之一。WX型无油真空泵的极限真空为6×10-2Mpa。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。是一种使用范围非常广泛的机械真空泵。与一般油润滑的真空泵相比，无油真空泵的使用范围更广泛，应用于各种物品的吸收和输送，自动机械的物料供给设备。
二、WX型无油真空泵系列旋片式真空泵的用途：
无油真空泵可具体应用于下列各项工作中：
1、自动包装线上的真空吸拉列开装、装料。
2、印刷机械上的纸张真空吸送。
3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。
4、各种塑料制品的真空吸塑成形。
5、物体表面在真空状态下的气密性试验。
6、纸箱及瓶类物品的标签真空吸送粘帖。
7、真空吸引固定下的照相制版。
8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。
9、各种医药机械自动线上的配套使用。
10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。
11、各种容器在真空状态下的检漏试验。
12、食品加工机械上的应用。
13、中西药厂真空蒸馏干燥。
14、医院手术室的真空吸引。
15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。
16、各种医疗仪器的配套使用等。
XD型旋片式
一、XD型旋片式真空泵概述：
XD型旋片式真空泵为单级旋片式联轴式结构。它的工作性能是高转速，低噪声，抽速快，效率高。XD型旋片式真空泵只需空气冷却，有防返油结构，防止泵油返入被抽系统，泵内装有排气过滤器，有效消除油雾，运转平衡，振动小，可以在任意压强下工作。XD型旋片式真空泵泵的技术参数2×10-2Pa，已普遍适用食品真空包装，医药、印刷机械纸张输送，玻璃工业输送，真空夹具，干燥等单位的使用。
二、XD型旋片式真空泵的特点：
1、XD型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，最大的特点。
2、在XD型旋片式真空泵的内部装有油雾消除器，能有效地消除泵排出的气体中的油雾，避免油雾对周围环境的污染。
3、在XD型旋片式真空泵的吸气口装有逆止阀，当泵停止时逆止阀与泵内专门设置的孔的联合作用下，可以立即使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统，同时保持了被抽容器的真宽度，因而使用本型真空泵洋就可以不需要再配置带有放气的真空截止阀，从而可以减少用户的使用费用。
4、XD型旋片式真空泵配有油气分离器，它与油雾消除器一起组成了有效的消音系统，能消除排气噪音，避免噪音污染。
5、XD型旋片式真空泵和电动机直接联接安装，采用空气冷却，不需水冷却管道，因此本型是一种结构紧凑，安装简便的设备。
6、结构设计合理，振动小，不用地脚螺栓即可工作。
旋片式真空泵适用范围：
气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。
工作要求：进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。
工作要求：进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。
环境温度：真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。
旋片式真空泵其工作压强范围为101325－1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。
旋片泵是不能只是抽大气长时间使用的，这样的泵使用寿命很短，泵的噪音也会最大，最好不要超过3分钟，大气使用真空泵超负荷工作的，正确应该在1333Pa是可以长期工作的，这是常识。要不你选其它真空泵，比如无油往复式真空泵，这种就可以了，但成本就会增加，价格相差10倍。
旋片真空泵的概述：
1、 泵是获得真空的基本设备，它可单独作用，亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。
2、 泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。
3、 泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的，对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以体含氧过高的，有爆炸性的气体。
4、 泵有得作压缩泵或输送泵用。
5、 泵的工作环境：温度5℃-40℃范围内，相对温度不大于90%，进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。
6、 装接电源时，按电机标牌的规定接线，应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。
7、 连续被抽容器的管道，其直径应不小于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，同时注意管道的泄漏。
8、 每次起动前着重查看油位，以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。
9、 具泵油采用清洁的SY1634-70 1号真空泵油。
10、 泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难，可拨掉进气管塞帽起动，随后投入运转。
概述
分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德 (w · Gaede) 首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵结构特点
图 20 是 Gaede 牵引分子泵的结构原理图。泵腔内有可旋转的转子，转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子泵，后一级的入口与前一级的出口相连。转子与泵壳之间有 0.01mm 的间隙。气体分子由入口进入泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级泵抽走。牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单，抽速大的扩散泵所代替。
就是在油扩散泵开始得到广泛应用的时代，人们在牵引分子泵的结构改进方面仍然做了许多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后对 Gaede 型分子泵做了许多改进，提出了很多不同结构的新型牵引分子泵。但由于其结构仍较复杂，抽速低，因此未能得到广泛应用。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵
牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
机械真空泵的分类
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。
由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：
1．变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
(1)往复式真空泵
利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
(2)旋转式真空泵
利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
2．动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：
(1)分子真空泵
它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
机械真空泵是真空应用领域中使用得最普遍的一类泵，它是真空获得设备的重要组成部分。其详细分类如图1所示。
(二)描述机械真空泵性能的参量
对机械真空泵的性能常用下列参量或其中的几个主要参量来说明。
1．抽气速率(体积流率)(s；单位：m3·s-1；L·s-1)
当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
2．极限压力（极限真空）（单位：Pa）
泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力。
3．起动压力
泵无损坏起动并有抽气作用的压力
4．前级压力
排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。
5．最大前级压力
超过了能使泵损坏的前级压力。
6．最大工作压力
对应最大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·
7．抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）
流经泵入口的气体流量。
8．压缩比
泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。
其中泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵的最重要的参量。
(三) 机械真空泵的规格及型号表示法
容积(变容)式机械真空泵系列的抽速分挡(抽速的单位是L·S．1)如下：0·5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。
国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示(如表1所示)。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S)。
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱（仅限 iH1000）
ps：每个单位的型号都是不一样的，具体的含义只有他们自己清楚，除非是整个行业的标准产品，整个行业
温度降低后，对抽真空有两个好处：1.壁面出气率下降 2.水的饱和蒸汽压下降，使空气中水蒸气含量减少
所以温度越低越容易抽真空。
其实可以想象，当温度低到一定程度，壁面本身就可以成为一台地温泵了，所有气体分子都冷凝到真空壁上。
