好凯德螺杆真空泵的操作顺序及说明

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

针对以上，建议开机顺序：

在确定泵腔内存有约1/2～2/3的工作液后，先启动水环泵，然后快速打开供水管路的阀门并调节流量至适量。

建议停机顺序：

如泵的吸气管路没有逆止阀或气动阀，需先关闭进气口的手动阀以防止工作液倒吸。然后先停水，再停机。

在拆卸前应将泵腔内的水放出，要将气水分离器和吸气管部件拆下，在拆卸过程中应将所有的垫片谨慎的取下，如有损坏应更换同样的垫片。泵应从后端（无联轴器或无皮带轮一端）开始拆卸，其顺序如下：

（1）拆后轴承压盖，用勾板手将两圆螺母松开，取下轴承座及轴承；

（2）松开填料压盖螺母，取下填料压盖；

（3）拆下连接结泵盖与泵体的六角螺栓和泵盖底脚处螺栓后，取下后端盖；

（4）取下泵体；

（5）松开另一端底脚螺栓；

（6）卸下联轴器，并取下轴上的键；

（7）卸下前轴承部件；

（8）卸下前端盖后将轴和叶轮一起取出。

拆卸完毕后，应将零件上有关配合面涂上机油，螺纹处也应涂上机油保护好。

水环式真空泵装配：

装配前应清洗各零件，结合面上纸垫的残面部分应清理好，轴承应清洗后涂上新油，轴承座内旧油也应清除干净。

装配的顺序与拆卸相反，其关键环节是要调整好叶轮端面与前后分配器的间隙，为此要测量好泵体的长度尺寸，（包括定位孔的深度）和叶轮的长度，以决定加垫子的厚度。

在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。