无油爪式真空泵产品特点

好凯德爪式真空泵原理：

有两个计数旋转的转子同步转动的压缩室，与不接触，不摩擦，很紧的间隙。在同步性是通过精密齿轮来实现的。作为爪轮流在吸入腔，气体流入通过进气口的腔室，并移向排放口。在运动过程中的这个过程中，气体被由于两个爪之间体积的收缩，直到下爪压缩揭示了压力通道。随后被压缩的气体排出通过的通道。以除去造成在压缩过程的热量，冷却空气被吸入壳体和一个消音盖之间。

抽速你选一样大的就没有影响，爪式泵真空度3Pa,建议用一级罗茨加爪式泵机组。我是淄博的，我们公司是做爪式泵的，我是做爪式泵技术工作的，如需要资料说明书什么的可以网上发给你，离得比较近可以联系。

我是浙江医药新昌制药厂设备部,我们用过三个厂家的螺杆泵,上海汉钟,山东威海智得,台州星光真空.因为我们使用的工况比较差,有腐蚀性气体,上海汉钟的泵使用不到一个月就咬死,山东威海智得的泵使用十几天就咬死,只有台州星光真空的螺杆泵已使用了6个多月,现在都很正常,原机组使用功率63.5KW,用了星光真空的螺杆泵后,机组重新配置功率减少29KW,节能明显,真空度高,因此,跟据实际使用考验,我们觉得星光真空生产的LG150,LG220,LG300质量较好,我的意见供您参考.

干泵的泵腔内没有任何液体，可以从大气抽到几个Pa。1980年干泵在半导体行业己经替代油封式机械泵，获得（1～100）Pa的极限压力，用于化学汽相沉积和芯片的刻蚀。过去半导体行业的油封机械泵都是采用惰性的氟油来润滑，以防止腐蚀性气体对油的侵蚀，但是氟油十分昂贵，而且维护费用亦很高。

采用干式真空泵，泵内不仅不存在润滑油，而且亦不存在废液处理的问题。但是泵腔内没有油，就使得泵腔内部的间隙无法保持密封，而且还失去了用于控制温度的传热介质，这对干式真空泵带来很大的挑战。

早期的干泵是由几级罗茨型转子或几级爪型转子串联而成，它们在泵腔内没有任何接触，用同步齿轮带动二个平行的转子轴，由于泵腔内没有任何液体，所以内部间隙要尽可能保持很小，以减少气体的返流。但是这个很小的间隙对于工艺颗粒的堆积显得十分敏感，目前解决这个问题的办法就是：从泵的入口充入惰性气体将它冲刷掉，或者用惰性气体来稀释可凝性的腐蚀气体。

干泵在半导体行业应用成功，亦激励干泵制造商将干泵引入化学工业，虽然干泵价格昂贵，但运行成本较低，特别是没有废液处理问题，对环境和健康十分有利。目前各种类型的干泵很多，包括涡旋泵、隔膜泵、干式旋片泵、罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。在化工行业应用中占主导地位的是罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆真空泵。

1 罗茨型干泵

罗茨型干泵是属于较大型的干式真空泵，在化学工业有着广泛应用。该泵是由三级三叶型罗茨转子串联组成，它们装在同一根轴上，各级转子之间由中隔板隔开，形成各级泵腔，上一级排气口连到下一级进气口，各级串联进行抽气。各级转子的直径和形状是相同的，各级转子的宽度向高压侧方向变窄，但是这种设计均需要级间冷却，亦即上一级排出的气体通过热交换器后冷却后再进入到下一级的入口，如图8所示。这种三叶型的罗茨型干泵虽然可以减少气体返流，但是被抽气体要经过曲折路程才能排出到泵外，容易造成工艺物料堆积在泵腔内，而且颗粒杂质也不容易直接排出到泵外。罗茨型干泵可以从大气抽到10Pa，抽速为（36～60）升/秒。

图8 罗茨型干泵

2 爪式干泵

爪泵在1930年就己经研究成功，并首次用于压缩机行业，这种爪式转子的特点是在高压下具有高的压缩比。爪式转子还具有两个功能：一是用来截获、输送以及压缩气体，另一个就是像阀门一样，在适当的时间打开和关闭吸气口和排气口。目前这种泵的设计结构大都是由一级罗茨转子与三级爪式转子串联而成，罗茨转子作为高真空级，爪形转子作为压缩排气级，如图9所示。

图9 单爪式泵

这种爪式干泵早期应用于半导体的溅射、刻蚀、离子注入及PCVD薄膜制备等领域时，由于在工艺过程中会生成大量微小颗粒或反应生成的腐蚀性介质，可以通过向泵口引入惰性气体进行清洗，以防止微小颗粒在泵腔内沉积，同时亦降低腐蚀性气体的浓度。爪型泵己经在化工行业的蒸发、蒸馏、干燥、浓缩等领域应用。这种爪型泵的极限压力为（1～10）Pa，抽速为（25～140）L/s。

3 螺杆真空泵

螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦组件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域到广泛应用。

螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口，见图10。

图10 螺杆真空泵断面图

早期的螺杆真空泵是等螺距，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成，另外一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵，螺杆是由一个整体材料加工制作而成，各种不同的螺杆设计见图11所示。

图11 各种不同的螺杆设计

变螺距真空泵的最大优点就是比等螺距螺杆真空泵节能30％，排气温度亦较低。图12和图13分别为等螺距与变螺距的P-V图。

图12 等节距螺杆P—V图

图13 变节距螺杆P—V图

与罗茨型干泵和爪式泵相比，螺杆真空泵被抽气体在泵内的路程很短（见图14、15、16），很少受到扰动，可以迅速排出，因而微小的颗粒杂质不易积累在泵内。

图14 多级罗茨式

图15 罗茨+爪式

图16 干式螺杆泵

另外，螺杆真空泵的抽速特性较好，有效工作压力范围很宽，在大气到100Pa时仍有较高抽速（见图17）。

图17 抽速特性比较

由于螺杆真空泵大多数是用于抽除腐蚀性或危险性气体，为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或生锈并延长泵的使用寿命，根据不同的应用可选择下列不同的涂层：

PTFE(聚四氟乙烯)涂层：

●耐化学性能好；

●涂层寿命较短；

●熔点低于300℃；

●耐磨性较差。

NIFA涂层：

●2个涂层（Ni+PFA），第一层Ni（15～20）μm，第二层PFA（25～35）μm(可溶性聚四氟乙烯)；

●对所有的化学物质均具有良好的耐腐蚀性；

●耐机械划伤的性能好；

●即使PFA涂层磨损，仍然有Ni涂层保护基体材料。

NIFLON涂层：

●1个涂层（PTFE溶于化学镀Ni）15～20μm；

●良好的耐磨性；

●对基材具有良好的结合力；

●对极大多数化学物质具有良好的耐蚀性；

●耐机械划伤；

尽管螺杆真空泵有涂层保护，但是仍然要避免腐蚀性介质冷凝在泵内，因此正确的操作使用和日常维护仍然十分重要——

在启动螺杆泵以前，首先要从泵的入口充入惰性气体，运行半小时，使泵腔内的温度升高，以防止被抽气体冷凝在泵腔内；

在螺杆泵停机以前，亦要从泵的入口充入惰性气体，运行半小时，以彻底清除泵腔内的残余物质；

如果工艺物质堆积在泵腔内，造成再启动困难或启动电流过大，则需要在停泵情况下，关闭主阀，打开排气口，用水蒸汽进行冲刷，直到泵可以灵活转动为止；

最后，由于螺杆泵在化工行业使用工况比较恶劣，必须根据使用说明书的要求进行日常维护。

结语

液环泵结构简单，运动部件少，操作、维护都十分简便，而且价格亦较低廉。螺杆真空泵虽然价格比较昂贵，但性能十分优越，运行费用亦低，不存在废液排放问题，既节能又环保。所以上述两种真空泵最适合于化工工艺应用。

罗茨泵是一种容积式的增压泵,在较高的真空区域有比较大的抽速.补偿因前级泵真空度低和在高真空区域抽气速率低的作用.因罗茨泵的使用特点抽吸的气体不能直排大气,因此需要配套相应的前级泵搭配使用.至于配套什么形式的前级泵要看具体用在什么工艺上.如果是用在减压精馏或脱水等有可凝性气体的工艺上,最好选用水环式真空泵,这样的配置避免了可凝性气体被抽到其他机械真空泵内对润滑有造成乳化的问题.但不管用什么样的前级泵,压缩比是越小越好.一般情况下压缩比最好能在4以下.也就是说如果主泵是600的罗茨泵,其抽气速率为600L/L那么相对应的前级泵的抽速不能低于150L/S.如果压缩比大的话,会造成罗茨泵的过载.还有一种情况就是多级罗茨泵配套的前级泵,因已在罗茨泵和前级泵之间经有一台或多台罗茨泵了,这样的话前级泵可适当选小一点的.再有一种情况下,前级泵要选用比较大的.如果是间歇性的生产,因罗茨泵的工作区域需要一定的真空度才能开启罗茨泵.一般是需要前级泵先要把系统的压力抽到--0.093以上.因此前级泵如果抽气速率小的话,会延长整个的工作时间.总而言之.前级泵在适当的范围中选择抽气速率比较的的是有好处的.

一台国产的罗茨泵在2万左右吧。

原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

这个分分挺复杂，基本的可以分为气体传输泵与气体捕集泵。其中气体传输泵分为容积式真空泵与动量传输式真空泵（和鼓风机有点像）。然后容积式中又有往复泵、旋转式真空泵（这个是个大类，下面又有油封泵，旋片滑阀都是油封泵，还有液环泵、罗茨泵、螺杆泵、爪泵、涡旋泵等）。动量传输式中有分子泵、射流泵等，它们底下又有几种，像涡轮分子泵、牵引分子泵，复合分子泵，喷射泵、扩散泵。

气体捕集泵主要就是吸附泵与低温泵，底下也有很多小类，像溅射离子泵、升华泵、钛泵、吸附阱、吸气剂泵、冷凝泵、制冷剂低温泵等等。

场合因为各种泵的原理材质问题，工作压力段不同，最简单的有些能在大气压下工作，有些就必须组成机组（像普通的罗茨泵、分子泵、扩散泵等），不然无法启动。有些能抽大量水汽，像喷射泵、液环中的水环，但油泵就很麻烦，有些能抽一定的颗粒气体，像一些干泵，但往复泵就不行，这个就说起来就很多了，仔细说就要抄书了都。

随着真空技术的不断发展，人们所能获得的真空范围越来越广，从绝对压力1. 0133×l05Pa到133. 32×10- '5Pa。因此，将真空区域划分如下：

粗真空：压力范围为101.3×l03～1. 3332×l03Pa (10～760mmHg)

低真空：压力范围为1. 3332×l03～133.2×lO-zPa (10-2～lOmmHg)中真空：压力范围为133.2×10-z—133.2×l0-7Pa (10-4～10-2mmHg)高真空：压力范围为133.2×10-4—133.2×l0-7Pa (10'7-10-4mmHg)超高真空：压力范围低于133.2×l0-7Pa(低于l0-7mmHg)化工生产中，一般在粗、低真空区域内操作即能达到生产要求。 真空泵的种类按工作条件可分为干式真空泵和湿式真空泵。于式真空泵只能从设备里抽出气体，其真空度可达到96y/—99. 9}/；湿式真空泵可抽取气液混合物，其真空度可达到80%—85%。真空泵的主要性能有抽气速率和极限真空等指标。1．抽气速率单位时间内抽吸气体的体积叫抽气速率，用符号S表示，单位为1113／h或d/s，它表明真空泵的抽气能力。2．极限真空极限真空又称残余压力，指真空泵所能达到的最低绝对压力值，用符号声＆表示，单位为Pa。3．真空度和真空度百分数真空度是大气压力和真空系统中绝对压力的差值，用符号户，表示，单位为Pa。即p。-101.3×l03_p (Pa)式中p-真空系统中的绝对压为，Pa。

1、真空泵的极限压强  

泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。 

2、真空泵的抽气速率  

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 

3、真空泵的抽气量  

真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 

4、真空泵的起动压强  

真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 

5、真空泵的前级压强 

真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 

6、真空泵的最大前级压强  

真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。  

7、真空泵的最大工作压强  

真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 

8、真空泵的压缩比  

压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 

9、真空泵的何氏系数  

泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 

10、真空泵的抽速系数  

泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 

11、真空泵的返流率  

泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流。

12、水蒸气允许量 

水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 

13、最大允许水蒸气入口压强  

最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。 

扩展资料

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。

变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。

动量传输泵依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。

变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。

参考资料来源：百度百科-真空泵