真空泵有哪些类型?
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵 :利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵 : 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式:
1、分子真空泵 :它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
按其工作原理,基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
一、气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
二、气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等。
市场上有流量真空度可调的真空泵:智能真空泵。
智能真空泵一般特指集成了传感器、真空表、单片机等监控系统的微型真空泵、小型真空泵、微型气泵,能对真空泵关键参数如“真空度(负压)”、“流量”等进行实时、自动调整,从而完成一般要构建一个较复杂系统,才能完成的如“真空保压”、“自动定时停机、启动”、定时定量“真空抽滤”等的多种功能。
智能真空泵正面
跟大型真空泵动辄几十、几百公斤的重量和庞大的体积相比,智能真空泵重量、体积都要小得多,甚至可以说是便携式;因而常常也被叫做“智能真空仪”、“台式真空泵”、“自动真空泵”、“便携式真空泵”。
(1)可以调节实际工作中需要的真空度,可设定并通过集成的数字液晶面板,“实时”显示出当时的真空度(负压)值;
(2)流量可以进行大小调节;
(3)配备高灵敏度的进口传感器,优质流量调节阀门及精密控制电路,来完成“自动调节”功能,大大节省了开发人员的时间、精力;
(4)内置低干扰、长寿命微型真空泵;配合微型气泵专用消音系统及独立减震系统,确保智能真空泵能长时间、低噪音、可靠的工作;
(5)核心部件为一台微型真空泵,所以继承了微型真空泵无油无污染,可以连续24小时运转的优点,属于名副其实的干式真空泵,所以无需维护,不用加润滑油和真空泵油;
(6)交流220V供电,即插即用。
购买真空泵要根据自身财力以及实际情况进行选择,牌子不一一列述。真空泵选用的建议:
1.选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。
2.选用的主泵的极限真空度必须高于被抽容器要求的真空度。
3.选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的最大放气量。
4.选用的真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。
5.对于连续生产的工艺,所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。
真空泵的注意事项
1、首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等;如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何,如果环境不允许有污染,可以选无油隔膜真空泵,或者把油蒸气排到室外。
3、真空设备或者零部件对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:化学隔膜泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,若要求不严格,可以选择有油泵,并且加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
4、如有多台大型水环式真空泵同时工作,循环液应该进行冷却,否则影响真空度,冷却装置可以配备冷却塔,同时须配增压泵对管路加压。
5、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若环境不允许,应选择无振动的泵或者采取减震措施。
屏蔽泵把泵和电机连在一起,电动机的转子和泵的叶轮固定在同一根轴上,利用屏蔽套将电机的转子和定子隔开,转子在被输送的介质中运转,其动力通过定子磁场传给转子。
此外,屏蔽泵的制造并不复杂,其液力端可以按照离心泵通常采用的结构型式和有关的标准规范来设计、制造。
原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外。
主要是在吸气过程中,吸气腔体积增大,真空度降低,将容器内气体吸入泵腔,在排气过程中体积变小,压强增大,最终通过油封将吸入的气体排出泵外。
水环式真空泵适用场合:
在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。
由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除易燃、易爆的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。
水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。
以上内容参考 百度百科-真空泵
①抽除式,真空泵抽吸系统中的气体,并将气体分子排至系统之外。
②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。
(2)按真空泵结构分类
①机械式。这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵,它们都属于抽除式真空泵。
②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式,还有将二者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。
③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,属于捕集式真空泵。
(3)按真空泵在系统中的工作职能分类
①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。
②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时,需要预抽泵先抽至某一压力,主抽气泵方能进入工作。
③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时,需串接前级泵排送。
④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后,由于系统泄漏或表面蒸发等原因,压力可能升高,因此用维持泵继续抽吸。