直排大气用什么真空泵
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。多级气冷罗茨泵,国内沃德气体自主研发的专业技术,绿色环保,节能增效。
对着空气抽无液体流动来冷却真空泵的轴承和密封件,短时间(5-10分钟内吧)不会有太大问题,如长时间这样不正确使用的话会造成密封件及轴承温度高而故障。还得看你是什么真空泵、型号、转速多高、电机功率多大?如何处理得根据实际情况。最好有型号
①抽除式,真空泵抽吸系统中的气体,并将气体分子排至系统之外。
②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。
(2)按真空泵结构分类
①机械式。这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵,它们都属于抽除式真空泵。
②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式,还有将二者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。
③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,属于捕集式真空泵。
(3)按真空泵在系统中的工作职能分类
①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。
②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时,需要预抽泵先抽至某一压力,主抽气泵方能进入工作。
③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时,需串接前级泵排送。
④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后,由于系统泄漏或表面蒸发等原因,压力可能升高,因此用维持泵继续抽吸。
旋片真空泵的概述:
1、 泵是获得真空的基本设备,它可单独作用,亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。
2、 泵进气口连续敞通大气运转,不得超过三分钟。
3、 泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的,对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体,以体含氧过高的,有爆炸性的气体。
4、 泵有得作压缩泵或输送泵用。
5、 泵的工作环境:温度5℃-40℃范围内,相对温度不大于90%,进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。
6、 装接电源时,按电机标牌的规定接线,应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。
7、 连续被抽容器的管道,其直径应不小于泵的进气口直径,且管道应短和弯头少,同时注意管道的泄漏。
8、 每次起动前着重查看油位,以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。
9、 具泵油采用清洁的SY1634-70 1号真空泵油。
10、 泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难,可拨掉进气管塞帽起动,随后投入运转。
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵
利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵
利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式:
1、分子真空泵
它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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1.2XZ型旋片式真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。它可单独作用,也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵,维持泵,钛泵的预抽泵用。可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点,所以更适宜于实验室里使用。
2.在环境温度540范围内,进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运转,被抽气体相对湿度大于90%时,应开气镇阀。
3.进气口连续畅通大气运转不得超过一分种。
4.不适用于抽除对金属有腐蚀的,对泵油起化学反应的,含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高的,有爆炸性的,有毒的气体。
2XZ型旋片式真空泵操作须知
1.查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用,影响真空度。过高,可能会引起通大气起动时喷油。运转时,油位有所升高,属正常现象。油采
用规定牌号的清洁真空泵油,从加油孔加入。加油毕后,应旋一上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔。
2.2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀,应与泵同时动作。
3.环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热,或改善泵油性能,极限真空可得到改善。
4.检查2XZ型旋片式真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准,如计经充分预抽校验,泵温达到稳定,泵口与计直接接通,运转30分钟内,将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关,有时误差甚至可很大,只能作参考。
5.如相对湿度较高,或被抽气体含较多可凝性蒸汽,接通被抽容器后,宜打开气镇阀,运转20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前,可开气镇阀空载运动30分钟,以延长泵油寿命。
6.2XZ型旋片式真空泵用油选择:泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空,粘度高时对真空度有利,起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强,越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大,饱和蒸汽压较1号真空泵油低,但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油,可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。
1一般情况下,凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小泵也可用1号真空油泵代,8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。
2如果对真空度要求不高,且油的污染更换频繁,真空泵油供应困难,可采用50号机械油代替。
3如果环境温度低,起动困难,极限真空要求不高,可采用粘度较上略低的真宅泵油或机械油。
2XZ型旋片式真空泵维护和保养
一、注意事项:
1.保证2XZ型旋片式真空泵的清洁,防止杂物进入泵内。
2.保持2XZ型旋片式真空泵油位。
3.存放下当水份或其它挥发性物质进入泵内而影响极限真空时,可开气镇阀净化之,观察极限真空回升情况,数小时无效,应更换泵油,必要时可再次更换。换油方法:泵运转约半小时,使油变稀,停泵从放油孔放油,再敞开进气口运转10~20秒钟,此间可从吸气口缓缓加入少量清洁泵油,以更换泵腔内存油。如出来的油很脏,后者可重复进行。
4.2XZ型旋片式真空泵不可混入柴油、汽油等其它饱和蒸汽压较大的油类,以免降低极限真空。拆洗泵内零件时,一般用纱布擦拭即可以。妻金属碎屑、砂泥或其它有害物质必须清洗时,可用汽油等擦洗,干燥后方可装配,切忌用汽油浸泡。
5.倘若因泵需拆开清洗或检修,必须注意拆装步骤,以免损坏机件。
二、2XZ型旋片式真空泵拆装步骤简述如下:
一、拆卸:
1.放油
2.松开进气咀法兰螺钉,拔出进气咀,松开气镇法兰螺钉,拔出气镇阀。
3.拆下油箱。
4.拆除止回阀开口销,拆下止回阀叶轮。
5.拆除支座与泵的连接螺钉,拆下泵部装件,电机拆否视方便而定。
6.松开泵盖螺钉,拆下泵盖,拉出二转子及旋片。拆下低级转子时,麻先拆下开口销。
二、2XZ型旋片式真空泵装配:
1.用纱布擦净零件,防止回丝堵塞油孔,最好用清洗液和刷子清洗。
2.把旋片装入转子槽内后,把高级转子装入定子即泉身内,装L高级泵盖、销、螺钉、键、联轴节,用手旋转,应无泄阻和明显轻重,装时应使定子顶面朝下,以借助重力使转子贴近定子圆弧面,此间隙最好在0.0lmm。
3.低级转子装配方法同上。
4.装上止回阀叶轮等止回零件,应使止回阀头平面对准进油咀油孔,按工作时的转向旋转转子并用手轻轻反向挡住叶轮,油孔应时开时闭,调整阀头平面最大开启高度为O.8~1.2毫米,具体可移动止回阀座、橡胶止回阀头在阀杆孔中的位置来实现。简便查法:面对叶轮,使Φ3mm传动销处于右手水平位置,顺时针方向拨动叶轮,此时止回阀头平面的开启高度近于最大,应为0.8~1.2mm。转子停止在任何位置,手从叶轮上松开后,止回阀头应自动落下关闭油孔。
5.装上2XZ型旋片式真空泵部的排气阀、挡油板等零件。
6.把泵部、键、联轴节、电机装在支座上。
7.装油箱。
8.插入进气咀,气镇阀,装上法兰固紧。
注意:
装配时磨擦面涂上清洁真空泵油。
记住零件原装配位置,可减少跑合时间。
紧固件应无松动。
2.有当泵体内充满液体时,运行造成的抽吸力,使泵体内的液体连带空气上升,而液体受重力作用又回落到泵体,形成翻滚现象,此时只有空气从翻滚的液体中被抽出,而液体又阻隔了空气的返回,使泵体与液源间的吸液管内形成越来越大的负压,在大气的压强下,液源液体沿吸液管上升,最终到达泵体,真空泵就正常工作了.
预抽泵的作用就是将1状态转化为2状态