真空泵的主要参数有哪些

国际标准分类中，真空 测试涉及到包装材料和辅助物、地板处理设备、真空技术、声学和声学测量、表面处理和镀涂、金属材料试验、流体存储装置、管道部件和管道、特殊工作条件下用电气设备、航天系统和操作装置、橡胶和塑料制品、纺织产品、道路工程、手持工具、建筑材料、消毒和灭菌、开关装置和控制器、航空航天用电气设备和系统、石蜡、沥青材料和其他石油产品、黑色金属、化工设备、建筑物中的设施、煤、环境试验、电子管。

在中国标准分类中，真空 测试涉及到包装方法、家用清洁、整容器具、噪声、振动测试方法、真空技术与设备、金属物理性能试验方法、卫生、安全、劳动保护、航空与航天用非金属材料、基础标准与通用方法、合成材料综合、混凝土、集料、灰浆、砂浆、供水、排水器材设备、混凝土制品、包装材料与容器、环境保护设备、公共医疗设备、控制电器、航天器综合、换热设备、钢铁产品综合、建筑暖通、空调器材设备、石油沥青、加工专用设备、电子技术专用材料、电真空器件综合、其他电真空器件、冶炼设备。

我国现有的真空标准

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l.GB 913 66 泵分类及技术条件

2.GB 4844 84 氮气

3.GB 4845 84 氮气验收方法

4.GB 4982 85 夹紧型真空快卸法兰

5.GB 4983 85 拧紧型真空快卸法兰

6. GB 6071 . 1 85 超高真空法兰结构型式

7 .GB 6071.2 85 超高真空法兰尺寸

8. GB 6071 .3 85 超高真空法兰用铜密封垫

9.GB 6306.1 86 变容真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

1O.GB 6306.2 86 变容真雪泵极限压力测试方法

11.GB 6306.3 86 变容真空泵消耗功率测试方法

12.GB 6306.4 86 变容真空泵工作温度测试方法

13 . GB 6307.1 86 蒸气流真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

14.GB 6307.2 86 蒸气流真空泵临界前级压力测试方法

15 . GB 6308. 1 86 橡胶密封真空规管接头

16.GB 6308.2 86 金属密封真空规管接头

17 .GB 7772 87 变容真空泵噪声测量方法

18. GB 7773 87 变容真空泵振动测量方法

19.GB7774 87涡轮分子泵性能测试方法

20.GB 7775 87蒸气流真空泵加热时间和加热功率测试方法

21. GB 7776 87蒸气流真空泵泵液返流率测试方法

22. GB 9445 88 元损检测人员资格鉴定通则

23.GB 14174 93 大口径液氮容器

24.GB 16774 97 自增压式液氮生物容器

25. GB 18442 2001 低温绝热压力容器

26. GB/T 3163 93 真空技术术语

27 .GB/T 3164 93 真空技术系统图用图形符号

28. GB/T 5458 97 液氮生物容器

29. GB/T 6070 95 真空法兰

30.GB/T 11164 99 真空镀膜设备通用技术条件

31.GB/T 12604 95 元损检测术语

32. GB/T 13979 92 氮质谱检漏仪

33.GB/T 14211 93 机械密封试验方法

34. GB/T 15823 95 氮泄漏检验

35.GB/T1670996真空技术管路配件装配尺寸

36.GB/T 16775 97 低温容器漏气速率测定方法

37 .GB/T 18193 2000真空技术质谱检漏仪校准

38. GB/T 18443.1 2001低温绝热压力容器试验方法容积测量

39.GB/T 18443.2 2001 低温绝热压力容器试验方法真空度测量

40.GB/T 18443.3 2001 低温绝热压力容器试验方法漏率测量

41.GB/T 18443.4 2001 低温绝热压力容器试验方法漏放气速率测量

42.GB/T18443.52001 低温绝热压力容器试验方法静态蒸发率测量

43 . GJB 128A 97 半导体分立器件试验方法

44. GJB 360A 96 电子及电气元件试验方法

45 . GJB 548A 96 微电子器件试验方法和程序

46. GJB 1808 93真空计的校准方法动态流量法

47 .GJB 2709 96 有机材料低温气体渗透系数试验方法

48. GJB 2715 96 国防计量通用术语

49.GJB/j 3416 98 真空计(电参数)检定规程

50. JB/T 1246 97 滑阀真空泵

51.JB/T 2965 92溅射离子泵性能测试方法

52 .JB/T 4077 91 高真空插板阅型式与基本参数

53.JB/T407891 高真空挡板阀型式与基本参数

54. JB/T 4079 91 高真空蝶阔型式与基本参数

55.JB/T408091 高真空电磁阀型式与基本参数

56.JB/T 4081 91 溅射离子泵型式与基本参数

57 .JB/T 4082 91溅射离子泵技术条件

58.JB/T 4083 91 真空电磁带充气阀型式与基本参数

59. JB/T 5410 91 低真空电磁压差充气阅型式与基本参数

60.JB/T5971-92单级多旋片式真空泵

61. JB/T 6446 92真空阀门技术条件

62 .JB/T 6533 97 旋片真空泵

63.JB/T 6921 93 罗茨真空泵机组

64. JB/T 6922 93 真空蒸发镀膜设备

65.JB/T692393 真空"加压浸渍设备

66. JB/T 7265 94 蒸气流真空泵

67 .JBIT 7266 94 容积真空泵性能测量方法68.JB/T767395 真空设备型号编制方法

69 .JB/T 7674 95 罗茨真空泵

70.JB/T767595 往复真空泵

71.JB汀8105.199 橡胶密封真空规管接头

72.JB/T 8105.2一佣金属密封真空规管接头

73.JB/T810699容积真空泵噪声测量方法

74 .JB/T 8107 99容积真空泵振动测量方法

75 .JB/T 8472.1 96蒸气流真空泵性能测定第一部分:抽气速率(体积流率)的测定

76.JB/T 8472.2 96蒸气流真空泵性能测定第二部分:临界前级压力的测定

77. JB/T 8540 97 水蒸气喷射真空泵

78. JB/T 8944 99单级旋片真空泵

79. JB/T 8945 99 真空溅射镀膜设备

80. JB/T 8946 99 真空离子镀膜设备

81.JB/T912599 立式涡轮分子泵

82.JBITQ 563 87 2X型旋片真空泵质量分等

83. JB/TQ 564一87滑阀真空泵质量分等

84. JB/TQ 565 87 真空间门质量分等

85 . JB/TQ 566 87 往复真空泵质量分等

86.JB/TQ 567 87 2XZ型旋片真空泵质量分等

87. JBITQ 568 87 罗茨真空泵质量分等

88. JB/TQ 569 87 油扩散泵质量分等

89.JB/TQ 570 87 油扩散喷射泵质量分等

90. JB/TQ 571 87 真空镀膜设备质量分等

91.JB/TQ 634 88 真空振动流动干燥设备系列参数

92. JB/I'Q 635 88 真空振动流动干燥设备技术条件

93. JB/I'Q 636 88 真空振动流动干燥机质量分等

94. JB/I'Q 638 88 振动流化床干燥机质量分等

95. JB 1090 91 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

96.JB 1091 91 JO型骨架型真空用橡胶密封圃型式及尺寸

97 .JB 1092 91 0型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

98. JB 1246 85 滑间真空泵型式与参数

99.JB 1247 85 滑阀真空泵技术条件

100 .JB 2569 81 溅射离子泵性能测试方法

101.]B 5278.1 91铜丝密封可烘烤真空法兰连接型式

102.]B 5278.2 91 铜丝密封可烘烤真空法兰法兰结构尺寸

103 .]B 5278.3 91 铜丝密封可烘烤真空法兰铜丝密封圈结构尺寸104.ZB] 78001 87 2)CZ型直联旋片真空泵系列参数

105. ZB] 78002 87 2)CZ型直联旋片真空泵技术条件

106.ZB] 78003 87 2X型旋片真空泵系列参数

107.ZB] 78010 87 直筒式水冷挡板参数、技术条件、验收规则

108.ZBJ 78011.1 89 余摆线真空泵系列参数

109.ZB] 78011.2 89 余摆线真空泵技术条件

110.ZBY 117 83 热偶真空计技术条件

111. ZBY 153 83 电火花真空检漏器技术条件

112.ZBY 176 83 电离真空计型号命名方法

113.ZBY 227 84 热阴极电离真空计控制元件技术条件

114.ZBY 243 84 真空测量仪表通用技术条件

115 . ZBY 248 84 电阻真空计技术条件

116. ZBY 285 84 冷阴极电离真空计技术条件

117 .ZBY 286 84 冷阴极电离真空计规管技术条件

118.ZBY 287 84 真空蒸发镀膜设备技术条件、验收规则

119. ZBY 290 84 热阴极电离真空计规管技术条件

120. SY 1632-65 真空封蜡

121.SY 1633一75真空封泥

122.SY 1634一70真空机械泵油

123. SY 1635-66 真空增压泵油

124.SY 1636•6 真空扩散泵油

125 . QJ 1322 87 真空中材料质量损失测试方法

126.QJ 1371一88真空中材料可凝挥发物测试方法

127.QJ 154•-88 加压充氮一步快速检漏筛选法

128. QJ 1558 88 真空中材料挥发性能测试方法

129.QJ 1610一89阀门气

130. QJ 1897 90 真空封口阅

131. QJ 1898 90 真空封口阅技术条件

132. QJ 1991 90 真空.紫外辐照材料质量损失测试方法

133.QJ 2040.1 91标准漏孔的校准方法绝对校准方法

134.QJ 2040.2 91标准漏孔的校准方法相对校准方法

135.QJ 2075 91 阔门液体压降试验方法

136.QJ 2194 91 有机材料气体渗透系数测试方法

137.QJ 2195 91 有机材料低温气体渗透系数测试方法

138.QJ 2196 91 高熔点氧化物气体渗透系数测试方法

139. QJ 2197 91 金属及其合金气体渗透系数测试方法

140.QJ 2213.1 92 继电器特种环境试验方法超高真空冷焊试验

141. QJ 2475 93 低温容器通用技术条件

142.QJ 2651 94 真空封口接头

143. QJ 2667 94 真空用油脂饱和蒸气压测试方法

144.QJ 2675.1 94低温容器性能试验方法夹层真空度试验

145.QJ 2675.2 94低温容器性能试验方法放气速率试验

146.QJ 2675.3 94低温容器性能试验方法真空夹层漏率试验

147.QJ 2675.4 94低温容器性能试验方法日蒸发率试验

148. QJ 2676 94 吸附剂低

149.QJ 2693.1 94 空间材料出气速率测试方法15℃~45℃出气速率

150.QJ 2693.2 94 空间材料出气速率测试方法45℃~100O℃出气量和出气速率

151. QJ 2768 95 低温容器检修技术条件

152. QJ 2861 96 氮质谱检漏最小可检漏率的检验方法

153. QJ 2862 96 压力容器焊缝氮质谱

154.QJ 2965 97 氟橡胶密封超高真空法兰规范

155 . QJ 3088 99 正压标准漏孔校准方法

156. QJ 3089 99 氮质谱正压检漏方法

157.JJG(航天)3399 气体活塞式压力计检定规程

158.JJG(航天)4599 比对法校准真空计检定规程

159 .JJG 793 92 标准漏孔检定规程

1.关于真空泵环保达标的指标问题：随着真空泵的市场日益扩大，真空泵应用范围愈加广泛，真空泵排放问题也日益突出，每个地方对排放的要求是不一样的，根据环保部门的《工业“三废”排放试行标准》规定了工业废水、废气、废渣的排放浓度和排放容量标准，其中废气排放标准对5种工业部门定出13类有害物质的容许浓度和排放量。这些有害物质是：二氧化硫、二硫化碳、硫化氢、氟化物、氮氧化物、氯、氯化氢、一氧化碳、硫酸雾、铅、汞、铍化物、烟灰和生产性粉尘。具体的排放在了解大政策的前提下，需要咨询当地环保部门

2.关于如何才能达标：一般来说，真空泵排放含有大量的苯、甲苯、二甲苯以及VOCS等有害物质，大量吸入会危害人体健康，有效的方法就是为真空泵安装排气过滤器，质量好的过滤器过滤后是看不到油烟的，比如滤哥过滤器，而且过滤后的气体可以直排，环保便可以达标

　一、使用真空泵的注意事项

1. 正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。

2. 需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。

3. 首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。

4. 真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

5. 拆洗和装配机械真空泵时必须注意不要碰伤密封面，不要损失螺钉，清洗干挣的部件要吹干或供干(温度不宜过高、时间不宜过长。装配时真空泵壁抹上少量油脂，尽可能消除死空间，油量以油线为淮，过量会喷油。

6. 连续真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗，管道内径一般应不小干真空泵进气口直径，以避免由干管道阻力而影响抽气速率。

7. 使用前，检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时，必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮，皮带轮应按顺时针方向旋转，若反方向旋转时，可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则，旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统，造成严重污染。

8. 长时间停机启动真空泵前，应断续多次启动真空泵。

真空泵

真空泵

9. 要注意防止坚硬物质(金属屑、玻璃碎片等)落入真空泵内，划伤真空泵的运动部件。真空泵长期停止使用时，应存放在干燥、请洁的环境中，并将抽气口和排气口堵死，防止污物落入。

10. 为保持工作室内清洁卫生，有利于工作人员的身体健康，应用皮管将排出的气体直接引到室外。

11. 在长期停用真空泵时，应对真空泵进行放油处理。

12. 工作结束后.应先关高真空阀，后关低真空阀.再停旋片真空泵，然后对其放气(如使用电磁真空带放气阀，可以自动放气)以防止油返回到真空系统，最后切断总电源。

13. 真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

14. 定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

15. 真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。

16. 经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。

17. 真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。

18. 检查管道接口处螺纹与进气口螺纹是否一致。

任何进口真空泵一般都用以下两个主要参数表示其工作性能。

(1)抽气速率一系指单位时间内真空泵在残余压力下从进气管吸入的气体容积，即好凯德真空泵的生产能力(或称流世V)，以m³或L/s表示。

(2)残余压力或称极限真空度一系指该泵所能达到的最低压力(绝对)。

雅之雷德用一定的进口真空泵抽吸某一密闭容器中的气体，无论抽吸的时间有多久，容器中的压力是不能无限地降低到零(即绝对真空)的。这是因为当进气压力低于某一值后，或是由于泵中液体发生汽化，或是由于高压侧漏回的气盘与真空泵的抽气胜相同.或是由于好凯德真空泵的压缩比过高，容积系数降低为零.都会使泵无法继续吸入新鲜气体。在这种情况下，容器中的压力再也不会降低了。此时的绝对压力值称为残余压力或极限真空度。

先要搞清楚pa和mpa的关系：1mpa=1000000pa，一个标准大气压为0.101325mpa（101325pa）（绝压），所以真空泵抽到2pa的负压即-0.101323mpa（表压），够精确吧，其实看表压就是-0.1mpa。希望对你有帮助。

科普：

1.

表压指的是管道压力，指的是用压力表、真空表、

U

形管等仪器测

出来的压力，又叫相对压力）

，“表压力”以大气压力为起点，符

号为

Pg

。

2.

直接作用于容器或物体表面的压力，

称为“绝对压力”，

绝对压力

值以绝对真空作为起点，符号为

PABS

（

ABS

为下标）

绝对压力其实就是指表压加上当地大气压

（一般加一标准大气压即

可

101.3Kpa

）

绝压＝表压

+

一个大气压

如果是

MPa

单位

绝压＝表压

+0.1MPa

3.

表压

=

绝对压力

-

大气压力

真空度

=

大气压力

-

绝对压力

以绝对真空为基准测得的压力为绝对压力，

以大气压力为基准测得

的压力为表压或真空度

压力后面带

G

表示表压，带

A

表示绝压

表压

g=gauge

，指的是系统上压力表的压力指示。也可以简单理解

为，把一个压力表放在大气压下，这时压力表显示为零。

这时候的

表压显示为

0

。要是这个表压的压力上升，上升的数值就是表压。

绝对压力

a=absolute

，是以绝对压力为数值表示。简单理解，就

是大气压力

+

表压。