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罗茨真空泵前级泵选择

愤怒的小蝴蝶
粗心的跳跳糖
2022-12-25 20:16:55

罗茨真空泵前级泵选择?

最佳答案
狂野的胡萝卜
飘逸的眼神
2026-04-11 08:34:43

罗茨真空泵前级泵选择:

罗茨真空泵不能单独使用,必须配上前级泵组成机组,使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力,由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是重要的,罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,最大压缩比最多大3:1,而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些。

因此,雅之雷德提醒:选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气,要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。

由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

另外应当考虑的是,对预抽时间的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵假如真空室较大,而且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的效率,机组装有较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。

对罗茨真空泵机组的极限压力的要求,也是选择前级泵的必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度要求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体,就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体,否则将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组,此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

最新回答
虚幻的台灯
曾经的跳跳糖
2026-04-11 08:34:43

主泵和前级泵的配合一般是真空机组。

前级泵可以理解为机械泵。本身可以使用,但抽气速率或者真空度满足不了使用要求,这种情况下我们加一个增压泵。

主泵可以理解为增压泵,用来提高机械泵的真空度跟抽气量。像罗茨泵,扩散泵,分子泵等。这些本身不能使用(压差太大)所以需要机械泵预抽,将真空室内抽成粗真空,然后主泵开始工作。

运行过程中主要的抽气量 极限真空度是靠主泵来实现。所以我们叫它为主泵,起主要作用的泵。

前级泵就是在主泵运行之前需要提前开的泵,就叫前级泵,主泵之前的泵。辅助主泵运行的泵。

不明白的话看签名继续问。

-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------淄博博山群圣真空设备厂

深情的八宝粥
忧虑的人生
2026-04-11 08:34:43
低温泵是一种气体吸附式的真空泵,主要用途为获得清洁的高真空环境,应用在科研、航天领域较多。

低温泵的启动需要满足其转换点,不能在大气环境下直接启动,必须有前级泵将真空室内压力抽到符合其转换点的情况才可以开始工作,一般在1-10Pa之间即可正常启动。比较常见的是使用螺杆泵+罗茨泵的前级真空机组抽气,也可以只使用螺杆泵进行前级抽气。此外,低温泵通常还需配置一个涡旋泵作为其再生使用。

友好的金鱼
个性的高跟鞋
2026-04-11 08:34:43
呵呵!机械泵概念很广,凡是由于真空泵内结构部件机械运动产生真空的都叫机械泵,下面我就比较具有代表性的油封机械真空泵即旋片真空泵的原理介绍下:

2X系列真空泵为双级结构。带有旋片泵的转子偏心地安装在圆筒形的定子中,当转子高速旋转时,装在转子槽中自由活动的旋片由于离心力和弹簧力的作用强力地被向外推出,以它的顶部和定子内壁贴紧。这样定子上的进出口被它们隔开。被它们所围的通向进口的一部分容积随着转子旋转而逐渐地并且周期地扩大,同时通向出口的一部分容积也逐渐地并且周期地减少。这样空气或混合气体首先被高真空级进口吸入,然后被压缩,通过它的排气阀排出。在工作过程中当排气压强不足以推开排气阀时,高真空级被压缩的气体只能进一步被转送到第二级,并且最后经过第二级排气阀而被排到大气中去,这样在泵的吸入口端就获得真空。排气阀都浸在油中,油在泵中循环流动起润滑和密封作用。

泵装有气镇阀,当被抽气体中含有少量水蒸气时,开启气镇阀向泵的排气腔注入空气,蒸汽可以和空气一起排出,而不致在泵中凝结成水以防止油被凝结的水乳化,从而延长泵油的使用寿命。

该泵是用来对密封容器抽除气体获得高真空的基本设备,可单独使用,也可作为前级泵。可用于真空冶炼、真空焊接、真空浇铸、真空干燥以及化工制药,电真空器件等工业的真空作业。

可在环境温度5oC-40oC范围内和进口压强小于1330pa的条件下,允许长时期连续工作。

不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的,对金属有腐蚀作用的、对泵油起化学反应的,以及含有颗粒尘埃的气体,也不适于把气体从一个容器输送到另一个容器作输送泵用。

在6650pa到大气压的进口压强下的连续工作时间,不得超过3min以免喷油或润滑不良引起泵损。

该系列真空泵可单独使用,亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用,没有气镇阀时,可抽送适量的可凝性气体、湿空气或气水混合气体,但介质中不能含有颗粒状固体物质。

型号:2X-2/2X-4/2X-8/2X-15/2X-30/2X-70

极限分压强(Pa):≤6×10-2

极限全压强(Pa):≤1

抽气速率(L/s):2-70

电机功率(kW):0.37---5.5

爱笑的樱桃
现实的鞋垫
2026-04-11 08:34:43
旋片式真空泵的分类有很多,国产的旋片式真空泵包括2X型旋片式真空泵、X型旋片式真空泵、2XZ型旋片式真空泵、XD型旋片式真空泵、WX型无油真空泵,将其特点和用途介绍如下:

2X型旋片式

一、2X型旋片式真空泵的概述:

2X型旋片式真空泵为双级结构,它的工作性能由高压级与低压级二部分组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时,高压级排气阀片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得一定的真空。该泵的技术参数6×10-2pa。根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将2X型旋片式真空泵为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使你的设备获得更高的真空。

二、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围:

由于现代科学技术的高度发展,2X型旋片式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位,其主要表现在:

1、可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。

2、由于2X型旋片式真空泵是用黑色金属制造,而且比较精密,整个泵的工作都是与油联系在一起的,所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不可做为压缩机和输送泵使使用。如有气镇装置的泵,可抽除一定量的可凝汽体。

3、2X型旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10-3托以下的真空作业,以及配合其它真空设备获得真空度10-3托以上的真空作用之用。

4、2X型旋片式真空泵一般在不底于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

可根据用户使用情况,配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,设备能获得更高的真空。

X型旋片式

一、X型旋片式真空泵的介绍及用途:

X型旋片式真空泵系单级旋片式真空泵,国内首创的能抽除大量水蒸气的新产品,由于泵本身带有油再生装置和可靠的气镇装置,延长了泵油的使用寿命。X型旋片式真空泵用来对密封容器抽除气体所获得真空的基本设备,适用于电子器件制造,真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等(工艺品专用泵)。它可单独使用,也可作为增压泵、扩散泵的前级泵使用,但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时,应加附设装置。主要型号有:X-100型单级旋片式真空泵、X-150型单级旋片式真空泵。

二、X型旋片式真空泵的特点:

1、相对于XD系列单级真空泵具有极限真空高,对于滑阀真空泵可通过调整消声针阀来控制噪声,由于其转子偏心质量小,且对转子作了平衡,故振动小。

2、X系列旋片式真空泵抽气效率高。

3、X系列旋片式真空泵气镇性能好。

X系列旋片式真空泵有经过特殊设计的气镇装置可向排气腔充入干燥气体,从而大大降低排出气体中蒸汽的分压力。当其低于泵温下的饱和蒸汽压时即可随充入空气排出泵外,而避免凝结在泵中。

4、X系列旋片式真空泵配有温控水量调节阀。

泵工作时通过泵自身所配上述调节水压,可将泵温调至75oC±5oC,从而提高排出泵外,但应使泵温不超过80oC(油箱测温点)。

5、X系列旋片式真空泵有油水分离器。

它能够使泵油中的杂质和凝结物积存到油水分离器的底部,通过安装在底部的放水阀排出泵外。

2XZ型旋片式

一、2XZ型旋片式真空泵概述:

2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构,它的工作性能由高压级与低压级二部份组成,它的吸入口与真空设备连接,在运转时将容器内的气体大量吸入与排出,当设备获得真空时,高压级排气阀封闭,高压级入口的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空,2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa,泵与电机连轴,高转速,外型小,结构紧凑,流动性工作方便,可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点,所以更适宜于实验室里使用。

二、2XZ型旋片式真空泵的特点:

2XZ型旋片式真空泵具有体积小,重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外,还有防止返油的措施(2XZ-8)和无防止油封漏油污染场地的措施。

1、2XZ型旋片式真空泵是获得真空的基本设备,它可单独作用,亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。

2、2XZ型旋片式真空泵进气口连续敞通大气运转,不得超过三分钟。

3、泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的,对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体,以体含氧过高的,有爆炸性的气体。

4、泵有得作压缩泵或输送泵用。

5、2XZ型旋片式真空泵的工作环境:温度5℃-40℃范围内,相对温度不大于90%,进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。

6、装接电源时,按电机标牌的规定接线,应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。

7、连续被抽容器的管道,其直径应不小于泵的进气口直径,且管道应短和弯头少,同时注意管道的泄漏。

8、每次起动前着重查看油位,以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。

9、具泵油采用清洁的SY1634-701号真空泵油。

10、2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难,可拨掉进气管塞帽起动,随后投入运转。

WX型无油型

一、WX型无油真空泵概述:

WX型真空泵系无油真空泵,是一种获得真空设备之一。WX型无油真空泵的极限真空为6×10-2Mpa。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。是一种使用范围非常广泛的机械真空泵。与一般油润滑的真空泵相比,无油真空泵的使用范围更广泛,应用于各种物品的吸收和输送,自动机械的物料供给设备。

二、WX型无油真空泵系列旋片式真空泵的用途:

无油真空泵可具体应用于下列各项工作中:

1、自动包装线上的真空吸拉列开装、装料。

2、印刷机械上的纸张真空吸送。

3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。

4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

5、物体表面在真空状态下的气密性试验。

6、纸箱及瓶类物品的标签真空吸送粘帖。

7、真空吸引固定下的照相制版。

8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。

9、各种医药机械自动线上的配套使用。

10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。

11、各种容器在真空状态下的检漏试验。

12、食品加工机械上的应用。

13、中西药厂真空蒸馏干燥。

14、医院手术室的真空吸引。

15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析,理化实验。

16、各种医疗仪器的配套使用等。

XD型旋片式

一、XD型旋片式真空泵概述:

XD型旋片式真空泵为单级旋片式联轴式结构。它的工作性能是高转速,低噪声,抽速快,效率高。XD型旋片式真空泵只需空气冷却,有防返油结构,防止泵油返入被抽系统,泵内装有排气过滤器,有效消除油雾,运转平衡,振动小,可以在任意压强下工作。XD型旋片式真空泵泵的技术参数2×10-2Pa,已普遍适用食品真空包装,医药、印刷机械纸张输送,玻璃工业输送,真空夹具,干燥等单位的使用。

二、XD型旋片式真空泵的特点:

1、XD型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作,最大的特点。

2、在XD型旋片式真空泵的内部装有油雾消除器,能有效地消除泵排出的气体中的油雾,避免油雾对周围环境的污染。

3、在XD型旋片式真空泵的吸气口装有逆止阀,当泵停止时逆止阀与泵内专门设置的孔的联合作用下,可以立即使泵与被抽系统隔离,防止泵油返入被抽系统,同时保持了被抽容器的真宽度,因而使用本型真空泵洋就可以不需要再配置带有放气的真空截止阀,从而可以减少用户的使用费用。

4、XD型旋片式真空泵配有油气分离器,它与油雾消除器一起组成了有效的消音系统,能消除排气噪音,避免噪音污染。

5、XD型旋片式真空泵和电动机直接联接安装,采用空气冷却,不需水冷却管道,因此本型是一种结构紧凑,安装简便的设备。

6、结构设计合理,振动小,不用地脚螺栓即可工作。

旋片式真空泵适用范围:

气体类型:常温无其它混合物的清洁干燥空气,不许有含其它粉尘及水分的空气。

工作要求:进口压强在大于6500Pa时连续工作时间,不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

工作要求:进口压强在小于1330pa的条件下,允许长时期连续工作。

环境温度:真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。

旋片式真空泵其工作压强范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

矮小的小熊猫
愤怒的朋友
2026-04-11 08:34:43

导读:真空泵的工作原理?真空泵工作原理解析

整个汽车车身上有非常之多形状不一、不同功用的零部件,而“真空泵”是干什么的?汽车真空泵已经成为一个不可或缺的关键零部件。据了解,汽车真空泵主要应用于汽车制动系统,为汽车制动系统中的真空助力器提供真空源,减轻踏板阻力,从而减小制动距离。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。下面一起看下真空泵工作原理解析吧。

真空泵工作原理解析——种类

随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。

常用真空泵包括:干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

真空泵工作原理解析——工作原理

1)、水环式真空泵工作原理

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时,将水甩至泵壳形成一个水环,环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心,右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大,从而形成真空,使气体经进气管进入泵内进气空间。随后气体进入左半部,由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强,于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

2)、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33&tim es 10-2(pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

3)、罗茨真空泵工作原理

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量,使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时,有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压,从而降低了抽空效能,如果是酸性气体,那就会腐蚀油泵,如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。

真空泵工作原理解析——保养窍门

1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。

2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。

3、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。

4、真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。

5、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

6、向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。

7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。

8、重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。

9、开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。

10、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。

11、真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。

12、真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。

13、真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。

14、经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。

15、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

汽车的真空泵装置地位如此重要,不好好保养怎能行?也是希望大家认真阅读以上内容,不定哪天就会用到了。对于真空泵漏油到底需不需要更换,其实在面对不一样的问题时候应该用采用不一样的解决办法,而不是一致出现问题就更换,有些可能只是一个小零件坏了或者老化了,所以具体情况具体分析。以上就是我分享的关于真空泵工作原理解析的相关信息。

@2019

优美的黑猫
羞涩的猫咪
2026-04-11 08:34:43
是。

经查阅化工仪器网,真空泵也可作为增压泵,因此是加压设备。

真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。它可单独作用,也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵,维持泵,钛泵的预抽泵用。

认真的煎蛋
野性的路人
2026-04-11 08:34:43

要从三个方面考虑罗茨真空泵的前级泵:

1、应考虑预抽时间的要求。

.pronotek.

2、应考虑对罗茨真空泵机组的极限压力的要求。

3、还应考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的。

动人的凉面
优秀的巨人
2026-04-11 08:34:43
不可以,压力不够。

旋片式真空泵

1.体积小、重量轻、噪音低;

2.设有气镇阀,可抽除少量水蒸气;在环境温度五摄氏度到四十摄氏度范围内,进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运转,被抽气体相对湿度大于百分之九十时,应开气镇阀。 3.设有自动防返油止回阀,启动方便;

4.进气口连续畅通大气运转不得超过一分种;

5.不适用于抽除对金属有腐蚀的,对泵油起化学反应的,含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高的,有爆炸性的,有毒的气体。

它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

健壮的钢铁侠
传统的过客
2026-04-11 08:34:43
(1)按真空泵的工作原理分类

①抽除式,真空泵抽吸系统中的气体,并将气体分子排至系统之外。

②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。

(2)按真空泵结构分类

①机械式。这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵,它们都属于抽除式真空泵。

②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式,还有将二者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。

③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,属于捕集式真空泵。

(3)按真空泵在系统中的工作职能分类

①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。

②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时,需要预抽泵先抽至某一压力,主抽气泵方能进入工作。

③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时,需串接前级泵排送。

④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后,由于系统泄漏或表面蒸发等原因,压力可能升高,因此用维持泵继续抽吸。