真空镀膜机各泵工作顺序，原因，原理

真空泵的正确使用方法是：

1、首先取下进气帽，连接被抽容器，所用管道宜短。

2、检查进气口连接处是否并紧，被抽容器及所用管道是否密封可靠，不得有渗漏现象。

3、取下捕集器上的排气帽，打开电源开关，泵开始起动运行。

4、泵使用结束后，关闭泵和被抽容器间的阀门。

5、关闭泵上的电源开关，拔下电源插头。

6、拆除连接管道即可。

真空泵

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。

广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。对电动泵进行维修时，也要确保穿戴上绝缘手套和保护头盔。

特点是在较宽的压力范围内有较大的抽速；转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。

罗茨真空机组正确开启方法：将机组连接到被抽容器上后，开启罗茨真空机组冷却水，开启前级泵，然后缓慢打开主阀（一般就是罗茨真空泵的入口阀），这时罗茨泵开始跟转，待容器真空抽到1000到500帕时（简单的判断方法：罗茨泵不跟转了），开启罗茨泵，直到你所需要的真空度。

为何罗茨泵要待前级泵抽到一定真空后才能开启呢？因为罗茨泵的转速高，如果真空度低，泵转动时空气压缩会产生大量的热能，同时两个“8”字形转子转动主力大（主要因素），电动机的负载大，可能会烧坏电机。

以上手打

肯富来泵业认为：罗茨真空泵与水环真空泵串联有先后之别的，具体是哪种放前面，哪种放后面，要根据实际的使用工况来确定。在实际使用的工况中，为获得更高的真空度，还会采用多级串联，比如罗茨+水环+罗茨，或者罗茨+罗茨+水环。所以，要根据工艺设计要求和实际使用工况来确定串联的先后次序。

真空泵安全操作流程：

1、操作前的准备工作：

首先应将设备放置在水平、通风、干燥处，将真空机组抽气口与被抽系统连接好，密封一定要严密，不应有泄漏点存在。检查真空泵和罗茨泵内的油位及油杯中的润滑油是否符合要求，连接好电源线和接地线。检查是否有其他不安全因素。

2、操作机组的启动运行：

接通主电源开关，主电源指示灯亮；将控制方式放在手动或自动位置；按下控制电源按钮，指示灯亮(真空泵、增压泵和急停按钮应复位，否则控制电源按钮无法接通)，如电源相序错误黄色指示灯亮，则需换相。将真空泵断路器接通，按下真空泵控制按钮，真空泵指示灯亮，同时真空泵运转。

根据实际情况调节增压泵的延时(通过时间继电器，调节范围在1—6分钟)。将增压泵断路器接通，按下增压泵控制按钮，增压泵指示灯亮，同时增压泵运转。油井内设有油位开关，当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警，同时系统关闭。

3、关机停运：

关闭高真空蝶阀一关闭机械增压泵一关闭真空泵一按急停按钮，控制电源关闭一关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时，设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。

扩展资料

真空泵使用注意事项：

1、拆开包装，在泵体与电机的联轴节处用手指按箭头的方向尽力旋转；

2、打开真空泵油箱上面的加油螺塞，将配好的真空泵油倒进泵内，油位应该在油标可见部位的二分之一与三分之二之间。若油位过高会导致喷油的现象，如果过低会影响真空度，还会导致温度上升的同时也会增加噪音，会影响泵的性能。泵油选用一号真空泵油即可；

3、打开进气口和排气口上的黑色橡胶盖，从进气口加入少量(一小勺)真空泵油便于启动，连接真空泵与真空系统(真空泵进气口必须低于被抽仪器之出气口)，被抽仪器与真空泵连接的管道不适宜太过于长。

连接管的口径不能小于真空泵进气口的内径，否则会影响抽速，但必须小于进气口的外径，否则影响密封度。被抽容积不能过于大，一般会选用泵的抽速以秒为单位的15-20倍。在活动的接头处，最好涂上真空脂，以增强其密封度；

4、接上电源，装接电线时，要注意电机铭牌上的接线规定的要求；

5、三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向(注：对三相电机确定转向时，必须在瞬间进行)；