求教滑阀真空泵的使用及工作原理。

阀门产品有很多，我们面临的选择也不少，今天为大家说明推荐的是一种改变进出口通道位置来控制物体流向的分流法，也就是我们通常所说的滑阀，它经常被用在蒸汽机等装置中，能够达到不错的控制效果，除此之外，市面上的滑阀可以根据尺寸规格或者价位品牌进行详细细致的分类，从而为消费者提供一系列个性化的选择和服务，那么接下来不妨就和小编一起了解一下关于滑阀这方面的建议和知识吧。

　　一、滑阀真空泵工作原理

滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成

泵体中装有滑阀环(4)，滑阀环内装有偏心轮(3)，偏心轮固定在轴(2)上，轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动，因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中，由于A、B两室容积周期性地改变，使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔同时，在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩，并通过排气阀排出泵外。

双级型的滑阀泵，实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上，有的是直接铸成一个整体，有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。

二、滑阀真空泵结构及特点

罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。

根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4：至10：1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油，在前级进口管道上装有电磁充气阀，其动作与前级泵电动机实现联动，当滑阀泵停泵前，向泵口充气，确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内，同时防止真空系统受到真空油污染。

上文我们为大家举例说明的是滑阀，作为阀门旗下的一种，它属于分流阀，能够控制流体的流向，因此经常被用在蒸汽机等等器械产品中，而且因为产品的优点是切换速度快、精确，支持微调，所以也使得它得以用在其它的液压或者气动装置中发挥扮演着关键的作用。上文所述就是关于滑阀真空泵结构及特点、工作原理方面的介绍，有意向了解或者想要深入学习的朋友可以借此有选择性加以参考。

滑阀式真空泵是靠气阀（滑阀）前后滑动，和两个排气阀片交替做工，打开、关闭气道，进行吸气排气，从而得到真空。

往复式真空泵的气阀总成是固定的，打开泵头侧盖就会看到，气阀有四个阀片，（两个进气，两个排气），活塞在做往复运动时，靠进、排气阀片交替运动，控制进气排气，从而得到真空。阀片属易损件阀片损坏影响真空泵效率，真空度低

名称

应用情况

典型设备

真空度（托）

应用实例

1

宇航环境的模拟

宇航的轨道环境基本上是真空环境，

飞行器在发射之前必须在地面进行空间环境的模拟试验。各种大小不同的模拟器都是真空设备。包括卫星、飞船的热真空模拟、材料的评价以及推进器试验、载人摸拟试验等。综合运用真空获得、测试、检漏、工艺等技术。在地面复现空间环境，评价飞行器，发现和排除故障，提高可靠性。

机械泵

分子泵

低温泵

10-2~10-14

最大宇航环境摸拟设备的容器有1000立方米。

2

加速器技术

带电粒子在加速场条件下被加速。必

须使加速管从离子源到靶室全处于高真空和超高真空条件下。以减少带电粒子与气分子发生碰撞而散射损失其能量。因而，加速器必备真空系统。在真空获得和测量、检漏等技术上都有其特珠要求。

钛泵

低温泵

10-11~10-12

美国已有300直径的不锈钢电子回旋加速器

3

可控热核应用技术

是在有效空间中人为地控制发生热核反应的一种设备、它是高真空、高温技术及电磁技术的结合

机械泵

扩散泵

加冷阱

10-2~10-10

4

真空输送

空气和粒状物料在真空的抽吸作用下一起流动，至限定地点后经离心器将物料和空气分离、真空输送、如谷物、煤粉、烟草，水泥、粉状食品等

真空输送吸入压力通常300~500托或600~700托。前者混合比(被输送材料的重是和空气重量的比例)可达20,输送距离达400~500米。输送能力达200吨/小时后者棍合比达3~5，输送距离不大于30米，输送能力3~10吨/小时，通常混合比多为l~10。真空输送亦可用于某些液态物质的输送

涡轮鼓风机

水环泵（水蒸汽喷射泵）

300~700

(1)在电解铅的生

产中应用真空输送

将电解槽内的铅水

送至铅水包内，采

用的真空泵为2台

SZ~3水环泵

(2)在化工、烟草、

味精工业中亦已获

得应用

5

真空过滤

真空过滤机的过滤滚筒在360度区间内运动，180度区间内为真空吸料过滤，90度区间为真空吸水干燥，90度区间为充气排料，从而在整个360度区间内进行连连续生产。

真空过滤可用以获取混合液中的固状物料或用于滤清，前者如矿山或煤碳工业的洗选等

稀有金属“镍"的生产过程亦采用了

真空过滤、真空输送等工艺

水环泵

水蒸汽喷射泵

50~100

(1)有色金属冶炼的氧化铝采用真空过滤提取AI(OH)3.

(2)某钢厂用5台Sz-3水环泵配真空过滤机进行污

水净化处理，净化后作循环水使用.

(3)某选矿厂真空过滤机配1500公斤/小时(100托)

水蒸汽喷射泵，使用效果良好。

6

真空干燥

真空干燥通常指从固体材料中(亦有

液态材料)去除水分或有机溶剂等挥发性

成分，气相中压力低于100托.特别是压

力低于10托时，真空对干燥过程将起显著的影响.真空干燥的特点是在较低的温度下可获得很高的干燥速度，因此特别适合于不宜升温的材料或很难干燥的材料.通常，在进行真空干燥的过程中应供给适当的汽化潜热。

机械泵

水蒸汽喷射泵

几托~几十托

在电气工业中,绝缘纸电缆的真空干燥，合成纤

维工业中锦纶、涤纶生产的切片干燥。食品工业中乳品，茶精、肉类等的真空干燥.其他如在医药、农药、染料等工业中皆有广

泛的应用。

7

真空蒸馏

真空蒸馏的目的是使物质分离精制，

真空蒸馏在石油和化工工业中应用极广，

例如，各种有机油类的蒸馏、可塑剂工业

中磷酸三酯和磷苯二甲酸二丁酯的蒸馏、

合成树脂原料、各种高级酒精、高级脂肪

酸的真空蒸馏等，药品工业中维生素A、

维生素E和苯乙稀的真空蒸馏。香料工业的香乙醇、高级乙醇脂的蒸馏。油脂工业的精制、食品工业中的制酒、香精的蒸馏等。

往复式真空泵

水环式真空泵

旋片式机械泵

760~10

(1)某厂番茄浓缩用水蒸汽喷射系泵(抽气量35公斤/小时)一台，真空度30托，使用效果良好.蕃茄产量提高将近一倍，(2)年产15万吨的真空制盐设备与平锅制盐相比，燃料节约40%。

8

真空制盐

在真空度为50-100托除尽水或可挥

发成分，得到精制盐

滑阀式真空泵

水蒸汽喷射泵

几百托~十几托

某盐厂,真空

制盐（与锅制盐相

比)燃料消耗减少

三分之二，劳动生

产率提高了四倍，

成本减少44%

9

真空浓缩

在食品工业中的应用，如各种果汁、

果酱、蛋品、乳制品(炼乳、奶粉)、水

果糖等.又如化工染料的浓缩、制酸，制

碱，以及造纸工业中纸浆的浓缩等

10

真空除臭

主要用于油脂工业中粗油脂的精制，

在去除油脂中固有的臭气或因气化、分解

所生成的有臭物质的同时也进行真空脱色，以保证油脂制品的质量和色泽

11

真空结晶

真空浓缩和结晶通常在数个“蒸汽罐”内进行，称多效蒸发罐(例如制盐、制糖的真空浓缩结晶常采用4效或5效蒸发罐)。用真空泵在诸罐内造成不同程度的真空:第一效蒸发罐内的压力(或被浓缩结晶液的沸点)高于第二效蒸发罐内的压力(或沸点〕，则第一效蒸发罐内排出的二次蒸气可作为第二效蒸发罐的加热蒸汽，以此类推.因此，真空依缩结晶与常压下的加热结晶相比可大大提高燃料的利用效率。真空浓缩结晶更易于实现机械化、自动化。更利于副产品的综合利用，因此能有效地降低成本，大大提高劳动生产率和综合利用率

12

冷冻干燥

冷冻干燥或称升华干燥.首先将被处理的湿润材料冷却.使其中水分或其他煤质处于冷冻状态.然后迅速置于真空下使其直接从固态升华而获得干燥制品，冷冻干燥的应用:生物材料的脱水生物组织研究中各器官和组织切片的冷冻干燥移植用组织的保存细菌，抗生素、病毒、疫苗经冷冻干燥后，再溶性好血浆、血清、培养液等经冷冻干燥保存期长，组

织成分不变，再溶性良好冷冻干燥工艺在食品工业中也获得迅速发展，大乡数食品(例如肉类、水产、粮食、乳类、水果、蛋类和饮料等)都可以加工成冷冻干燥产品，其独特的优点是食品的营养成分和色、香、味被最大限度的保存下来，而且重量轻、体积小、保藏期长复水率可达9o%以上

罗茨增压泵+机械泵

油扩散泵+机械泵

水蒸汽喷射泵

1~10-3

某罐头食品厂2吨真空冷冻干燥设备用水蒸汽喷射泵(60托)代替罗茨真空泵-机械泵机组，大幅度降低冷冻干燥产品成本

13

真空浸渍

将浸渍剂浸入被浸渍物质(常是多孔性物

质)中去，以提高被浸渍物品的性能.在真空条件下(或先抽真空然后加工)一定粘度的浸渍剂更容易均匀地充满被浸渍物品的微小孔隙，因而产品性能更好。真空浸渍在电气绝缘工业中获得广泛的应用。如将绝缘材料浸入纤维性材料中去，可大大提高其绝缘性能和使用寿命

旋片泵

滑阀泵（水蒸汽喷射泵）

＜5

＜1

几托~几十托

各电机厂、绝缘材料厂、碳素厂，国内某耐火材料厂在生产钢水包的“

滑动水口”新产品时，成功地采用了真空浸渍技术，水口两配合滑动面大

于8以上，从而解决了钢水泄漏问题

14

真空调湿

自然纤维(如丝)、人造纤维、烟草、纸张等产品需调整其水份含量(主要是增加其水份)，使其含水量均匀和恒定。1,通入水蒸汽2。将热水通过分离器注入3.将蒸汽和水混合并通过分离器注入.丝的调湿通常在注入水或蒸汽后需再次进行真空干燥、冷却、以便调湿均匀与适度

水环式真空泵

蒸汽喷射泵+水环式真空泵

水蒸汽喷射泵

1~20

目前我们烟草工业中，烟草的真空回潮多采用水环式真空泵（SZ-3）。缺点是真空度低，回潮周期在合适的回潮温度下，不易回透，如提高回潮温度，则又会破坏烟叶质量。某烟厂改用水蒸汽喷射泵。提高了处理真空度，改善了回潮质量。

15

真空渗铬

铬在汽化温度(917℃)以上真空度10-2托下产生较大的蒸汽压力、铬蒸汽原子向钢铁表面沉积并进行热扩散，从而表面生成一层牢固的铬铁合金，它具有抗高温氧化、耐腐蚀等性能。真空渗铬是提高零件寿命、节约金属元素的有效途径之一。

旋片泵

滑阀泵

水蒸汽喷射泵

≤10-2

国内有些工厂已成功使用

16

真空热处理

在大气中的热处理，金属加热表面会受到氧、水蒸汽等的氧化而生成氧化物.采用高纯度的隋性气体作为保护气氛，成本很高.真空不但是一种“廉价的”隋性气氛，而且在真空条件下还可去除金属表面原有的氧化物，处理后很少发生变形，从而使加工余量减至最小甚至处理后根本无需加工.由于真空的脱气效果可提高产品的强度和耐磨性，真空热处理工序

稳定，热处理炉几乎可以全部自动化，同时它还是一种安全、无烟、无臭的工艺过程，目前真空热处理的实际应用还仅限于高级工具钢和待殊钢(如高合金钢和高速钢)，特别是形状复杂，处理后无需研磨的制品

机械泵+扩散泵

水蒸汽喷射泵

10-1~10-3〕托先高真空后经常在0.1托左右压力下加热，以免Cr,Mo等高蒸汽压合

金挥发损失

日本对SKH，冷锻用冲模进行盐俗热处理，加工余量为0.15-0.3毫米，处理后再进行研磨、抛光

加工.但改用真空热理处后，加工余量仅为0.08毫米。日本过去用盐浴热处理SKD11冷锻模具钢(生产不锈钢螺钉)模具平均成形总数约2~2.5万件，改真空热处理后，模具在处理

后不必加工即直接使用，模具使用寿命延长3-4倍

17

真空离子氮化

离子氮化是把待处理的工件放在真空容器内.然后充入含氮的气体.通入直流高压电后，使工件表面层轰击渗入氮原子，并形成氮化层的，表面热}Lm的断方法，它具有氮化时间短，变形小，耐磨、耐脆，省氨、省电，改善劳动条件，实现无公害等优点，是一种很有前途的表面热处理的新方法

旋片泵+机械泵

1~10

18

真空制冷

水在不同的压力下有不同的沸点，而在沸点温度时,水变成同温度的蒸汽就需要吸收大盆的汽化热，将常温的水导入低压容器，则水温最终将降至该压力下所对应的沸腾温度

机械泵

水蒸汽喷射泵

4~20

国内已多有应用

19

真空处理

冶金工业中的钢液真空处理至今已有十几种形式，特点是处理批量大、时间短、成本低，钢液质量高，主要是去除钢中气体和部分夹渣，使其含量大大减少.钢液经真空处理进行脱氧，脱氧产物或金属氧化物以气态自钢中逸出.因而处理后钢的纯净度可接近或达到真空感应炉的水平。处理中还可加入大量合金元素，以提高钢的性能。

水蒸汽喷射泵

机械泵+罗茨泵

1~0.1

我国1956年扮抚顺钢厂就有20吨真空处理设备。继有鞍钢建成100吨

D-H真空处理装置。上海重机厂亦有100吨R-H真

空处理装置、西德，日本都有500吨并带等离子加热的真空处理装置

20

真空烧结

在真空条件下，对粉末状金属或氧化物加

温，加压成形(或不加压)进行烧结.其温度

低于熔化温度，高于1ooo℃，尤其适用于高熔点的金属或氧化物制品.真空烧结不氧化、不脱碳、组织致密、质量好。所需真空度:纯铁0.1-0.01托不锈钢0.01托；铝镶钴合金、磁铁0.1-0.01托；WC、Tic、Ti、Cr及以其为基体的硬质合金0.05-0.1托。亦有需要10-5~10-8托高真空烧结的.

水蒸汽喷射泵

机械泵

增压泵

扩散泵

1~10-2

用于提高碳化钦基钢结构硬质合金的质量，微碳铬铁的真空烧结，提高性能

21

真空熔炼

金属通过真空冶炼、烧结、热处理等工艺过程都能提高质量和性能，真空冶金有独特的优点:①使金属及合金中的气体与夹杂含量大大减少，提高性能.②可准确控制化学成分，使合金性能稳定。③提高致密性、均匀性和可塑性，消除钢锭白点、偏析、发裂 ④可熔炼大气中不能熔铸的钦、锆、铀等金属,真空广泛应用于不锈钢、电工钢、轴承钢、高温合金、难熔金属的熔炼和铸造

水蒸汽喷射泵

旋片泵

滑阀泵

增压泵

扩散泵

1~10-5

我国已有几吨的真空感应炉、自耗护，200 - 600千瓦电子轰击炉等冶金设备，国外已有250吨真空电孤方电弧炉，美国有12000千瓦电子轰击炉

22

真空镀膜

在真空中将固体(基体)表面淀积上金属

或非金属（半导体、介质）薄膜的技术。广泛应用在无线电工业(集成电路、电阻、电容)，电真空工业(摄象管的靶、显像管)，光学工业(天文反射镜)及原子工业和字航技术中，轻纺工业中的金丝银线、塑料金属化、商标包装用薄膜、制镜等也都采用真空镀膜技术

旋片泵、增压泵、罗茨泵、扩散泵、离子泵、升华泵

10-2~3*10-9

我国各真空设备厂都有各自系列的真空镀膜机.如蒸发、溅射和离子镀膜机等.实例有滤光膜、激光膜、分光膜、冷光膜、增透膜、磁性膜‘超导膜和以铝代银的镀铝镜等

23

低温绝热

中真空(>l0-3托)绝热已有广泛的应用，如低温液化设备、低温贮运设备、低温模拟试验和超导磁场的保温等

旋片式真空泵、增压泵、扩散泵

10-3~10-5

某厂20m3真空粉末绝热器蒸发率每天0.5%，还有液氨容器等

24

石油工业

从油田开采的油井除气、注水脱氧、贮运

排气到炼油厂的减压蒸馏、石油产品精制以及润滑脂的脱水脱气、真空过滤等都多有应用

往复泵

旋片泵

水环泵

蒸汽喷射泵

10~700

减压蒸馏-每个炼油厂都有各套以上的装置，各种

真空过滤脱气低温装置，已都普遍建成

25

其他

真空的应用范围极为广泛。除上述主要方面以外，还有很多方面都有其具体的应用。如真空包装、真空机械手、真空贮存、农林业中粮食种子树种的真空贮存、电瓷陶瓷和土木建筑中

真空炼泥、真空吸附，水泥石棉制品脱水、铸造生产中的真空负压造型、真空压铸等

详细资料你可以参考下！

要选择真空泵了解真空的种类与工作原理

真空泵种类大全

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。现分述如下：

一、气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

1）变容真空泵

变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种：

⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式：

①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。

a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。

c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。

2）动量传输泵

这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。

⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。

⑶扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

⑷扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。

⑸离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

二、气体捕集泵

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

1）吸附泵

它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

2）吸气剂泵

它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。

3）吸气剂离子泵

它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

⑴蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

⑵溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

4）低温泵

利用低温表面捕集气体的真空泵

3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围

3.1.3.1 真空泵的性能参数

1）真空泵的极限压强

泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。

2）真空泵的抽气速率

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3）真空泵的抽气量

真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。

4）真空泵的起动压强

真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

5）泵的前级压强

真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

6）真空泵的最大前级压强

真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

7）真空泵的最大工作压强

真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

8）压缩比

压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

9）何氏系数

泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

10）抽速系数

泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

11）返流率

泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

12）水蒸气允许量

水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

13）最大允许水蒸气入口压强

最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。

根据你的要求,我认为选取油封式真空泵更好.

原因:

1、它的真空可以抽到很低，这个可以根据种类来选择．最低的真空可以抽到0

2、它是以油类密封可以保证你的湿度

3、它不需要用到水循环系统所以体积也小很多

1.极限真空不高及其消除

（1） 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。

（2） 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。

（3） 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。

（4） 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。

（5） 进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。

（6） 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。

（7） 旋片弹簧折断，应予调换。

（8） 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。

（9） 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。

2.喷油

（1） 油位过高，可入出多余油量。

（2） 减雾器中有泵油或杂物，应清除。

3.漏油

放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧；

油标未拧紧，有机玻璃过热变形；

泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好；

油封装配不当或磨损；应予调整或更换。

4.噪声

（1） 旋片弹簧折断，可调换弹簧。

（2） 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。

（3） 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。

（4） 电机出毛病，应进行检查。

5.返油

(1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

(4) 排气阀片损坏，应进行调换。

注：

检查泵的极限真空，以压缩式水银真空计为准。

真空泵按工作原理分气体输送泵变容真空泵往复式旋片式油封式旋片式滑阀式定片式余摆线式多室旋片式干式螺杆液环式罗茨真空泵动量传输泵分子真空泵牵引分子泵涡轮分子泵复合分子泵喷射真空泵液体喷射真空泵气体喷射真空泵蒸汽喷射真空泵扩散泵自净化扩散泵分馏式扩散泵扩散喷射泵离子输运泵气体捕集泵吸附泵吸气剂泵吸气剂离子泵蒸发离子泵溅射离子泵低温泵按真空度分粗真空度高真空度滑阀式真空泵旋片式真空泵罗茨真空泵超高真空度气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

变容真空泵

利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：

① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。

a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。

c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

（2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

（4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。

（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

气体捕集泵

这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。

吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵

按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。

粗真空系

主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。

主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。

是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。

高真空系

滑阀式真空泵

（Rotary Piston Vacuum Pump）

广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。

滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。

用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

旋片式真空泵

( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

罗茨真空泵

( Roots Vacuum Pump )

是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

真空泵工作原理就不说了，说油。在真空泵设备运转时，转子上滑片或滑阀环贴着定子的内壁滑动，为了避免划伤，需要有物质来进行润滑。能滑动，说明定子和转子之间有间隙，为了避免空气的进入，需要有物质来进行密封。在高速旋转的转子和定子摩擦时会产生大量的热，需要有物质带走热量来降温。以上三点，是真空泵油的三大基本作用，润滑、密封、散热。

下面说对真空泵油的具体要求。真空泵内的压力是逐渐减低的，而工作中的机器的温度是逐渐升高，大家知道，在低大气压的情况下，液体的沸点是降低的，那么润滑油中的饱和蒸气压高的分子成分就可能会蒸发到真空泵体中，污染真空系统，而且会影响真空泵达到它的极限真空状态。泵腔内的高温还会使不稳定的油品引起胶体粘附与摩擦面，使润滑油受热变质。因此，真空泵有应达到的几个基本要求就出来了1、黏度要适宜，低温开泵快，而且高温也要具有良好的密封性，在泵内要具有较低的温度。2、饱和蒸气压要尽量低，在最高工作温度下，要有足够低的饱和蒸气压。3、不得含有易挥发成分。4、要有良好的热稳定性和抗氧化性，要有良好的分水性和抗泡沫能力。

下面是ISO6743/3A-1987的标准分类。（等同GB/T

7631.9-1997）组别：D应用范围：真空泵（压缩室有油润滑的容积型真空泵）

更具体应用：往复式、滴油回转式、喷油回转式（滑片和螺杆）真空泵。

品种代号：DVA

典型应用：低真空，用于无腐蚀性气体

品种代号：DVB

典型应用：低真空，用于有腐蚀性气体

更具体应用：油封式（回转滑片和回转柱塞）真空泵

品种代号：DVC

典型应用：中真空，用于无腐蚀性气体

品种代号：DVD

典型应用：中真空，用于有腐蚀性气体

品种代号：DVE

典型应用：高真空，用于无腐蚀性气体

品种代号：DVF

典型应用：高真空，用于有腐蚀性气体

各品种一般按黏度分为46、68、100等供选用。

2X型旋片式

一、2X型旋片式真空泵的概述：

2X型旋片式真空泵为双级结构，它的工作性能由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。该泵的技术参数6×10-2pa。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将2X型旋片式真空泵为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使你的设备获得更高的真空。

二、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围：

由于现代科学技术的高度发展，2X型旋片式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，其主要表现在：

1、可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。

2、由于2X型旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是与油联系在一起的，所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定量的可凝汽体。

3、2X型旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10-3托以下的真空作业，以及配合其它真空设备获得真空度10-3托以上的真空作用之用。

4、2X型旋片式真空泵一般在不底于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

可根据用户使用情况，配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，设备能获得更高的真空。

X型旋片式

一、X型旋片式真空泵的介绍及用途：

X型旋片式真空泵系单级旋片式真空泵，国内首创的能抽除大量水蒸气的新产品，由于泵本身带有油再生装置和可靠的气镇装置，延长了泵油的使用寿命。X型旋片式真空泵用来对密封容器抽除气体所获得真空的基本设备，适用于电子器件制造，真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等（工艺品专用泵）。它可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵的前级泵使用，但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时，应加附设装置。主要型号有：X-100型单级旋片式真空泵、X-150型单级旋片式真空泵。

二、X型旋片式真空泵的特点：

1、相对于XD系列单级真空泵具有极限真空高，对于滑阀真空泵可通过调整消声针阀来控制噪声，由于其转子偏心质量小，且对转子作了平衡，故振动小。

2、X系列旋片式真空泵抽气效率高。

3、X系列旋片式真空泵气镇性能好。

X系列旋片式真空泵有经过特殊设计的气镇装置可向排气腔充入干燥气体，从而大大降低排出气体中蒸汽的分压力。当其低于泵温下的饱和蒸汽压时即可随充入空气排出泵外，而避免凝结在泵中。

4、X系列旋片式真空泵配有温控水量调节阀。

泵工作时通过泵自身所配上述调节水压，可将泵温调至75oC±5oC，从而提高排出泵外，但应使泵温不超过80oC（油箱测温点）。

5、X系列旋片式真空泵有油水分离器。

它能够使泵油中的杂质和凝结物积存到油水分离器的底部，通过安装在底部的放水阀排出泵外。

2XZ型旋片式

一、2XZ型旋片式真空泵概述：

2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时将容器内的气体大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级入口的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空，2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。

二、2XZ型旋片式真空泵的特点：

2XZ型旋片式真空泵具有体积小，重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施（2XZ-8）和无防止油封漏油污染场地的措施。

1、2XZ型旋片式真空泵是获得真空的基本设备，它可单独作用，亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。

2、2XZ型旋片式真空泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。

3、泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的，对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以体含氧过高的，有爆炸性的气体。

4、泵有得作压缩泵或输送泵用。

5、2XZ型旋片式真空泵的工作环境：温度5℃-40℃范围内，相对温度不大于90%，进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。

6、装接电源时，按电机标牌的规定接线，应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。

7、连续被抽容器的管道，其直径应不小于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，同时注意管道的泄漏。

8、每次起动前着重查看油位，以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。

9、具泵油采用清洁的SY1634-701号真空泵油。

10、2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难，可拨掉进气管塞帽起动，随后投入运转。

WX型无油型

一、WX型无油真空泵概述：

WX型真空泵系无油真空泵，是一种获得真空设备之一。WX型无油真空泵的极限真空为6×10-2Mpa。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。是一种使用范围非常广泛的机械真空泵。与一般油润滑的真空泵相比，无油真空泵的使用范围更广泛，应用于各种物品的吸收和输送，自动机械的物料供给设备。

二、WX型无油真空泵系列旋片式真空泵的用途：

无油真空泵可具体应用于下列各项工作中：

1、自动包装线上的真空吸拉列开装、装料。

2、印刷机械上的纸张真空吸送。

3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。

4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

5、物体表面在真空状态下的气密性试验。

6、纸箱及瓶类物品的标签真空吸送粘帖。

7、真空吸引固定下的照相制版。

8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。

9、各种医药机械自动线上的配套使用。

10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。

11、各种容器在真空状态下的检漏试验。

12、食品加工机械上的应用。

13、中西药厂真空蒸馏干燥。

14、医院手术室的真空吸引。

15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。

16、各种医疗仪器的配套使用等。

XD型旋片式

一、XD型旋片式真空泵概述：

XD型旋片式真空泵为单级旋片式联轴式结构。它的工作性能是高转速，低噪声，抽速快，效率高。XD型旋片式真空泵只需空气冷却，有防返油结构，防止泵油返入被抽系统，泵内装有排气过滤器，有效消除油雾，运转平衡，振动小，可以在任意压强下工作。XD型旋片式真空泵泵的技术参数2×10-2Pa，已普遍适用食品真空包装，医药、印刷机械纸张输送，玻璃工业输送，真空夹具，干燥等单位的使用。

二、XD型旋片式真空泵的特点：

1、XD型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，最大的特点。

2、在XD型旋片式真空泵的内部装有油雾消除器，能有效地消除泵排出的气体中的油雾，避免油雾对周围环境的污染。

3、在XD型旋片式真空泵的吸气口装有逆止阀，当泵停止时逆止阀与泵内专门设置的孔的联合作用下，可以立即使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统，同时保持了被抽容器的真宽度，因而使用本型真空泵洋就可以不需要再配置带有放气的真空截止阀，从而可以减少用户的使用费用。

4、XD型旋片式真空泵配有油气分离器，它与油雾消除器一起组成了有效的消音系统，能消除排气噪音，避免噪音污染。

5、XD型旋片式真空泵和电动机直接联接安装，采用空气冷却，不需水冷却管道，因此本型是一种结构紧凑，安装简便的设备。

6、结构设计合理，振动小，不用地脚螺栓即可工作。

旋片式真空泵适用范围：

气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。

工作要求：进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

工作要求：进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。

环境温度：真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。

旋片式真空泵其工作压强范围为101325－1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：  

一、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。  

1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：  

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二、动量传输泵 

它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。  

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。