真空泵的分类

油封式真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油封式真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得最小时，与泵的入口管道连通，于是气体进入泵吸入腔，一直到吸入腔容积最大并重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。

用油作密封泵液的必要性

当前大量使用的机械真空泵，即使设计得最好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端突破返流。另外，由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低泵的极限真空度。油封式真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反突破的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使泵能达到较高的真空度。

油封式真空泵的应用

油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前，油封式真空泵是国内真空获得技术中应用最广的一种泵，它可单独用作低真空设备的排气用泵，也可用作高真空排气时的前级真空泵。真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。因此，它已在国民经济的很多部门，例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。由于油封式真空泵均装有气镇装置，故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性，对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。

目前，国内的许多研究单位和生产厂家正在设计和生产出抽除水蒸气和耐腐蚀的油封真空泵系列。随着新技术、新材料的发展和应用，性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封式真空泵必将生产出来。

1、采用铝合金材料制成的真空泵，防腐蚀效果好。

2、腐蚀气体进入泵体前置加装防腐过滤装置。（过滤装置通常会加入与腐蚀气体中和的化工原料分解腐蚀气体），定期更换过滤滤芯。

接入真空泵的管路要严格要求，选用耐腐蚀性材料制成的管道。

以上由东莞比其尔真空机电设备有限公司提供。

水环真空泵适于抽除气体和湿润蒸汽，吸气压力可达到33mbar绝压(97%真空度)，当水环真空泵在吸气压力低于80mbar的状态下长期工作时，应联接汽蚀保护管以对水环真空泵进行保护，水环真空泵如配大气喷射器吸气压力可达10mbar，喷射器可直接安装在真空泵吸气口上，作为压缩机使用时，其压力最大至0.26MPa(绝压)。

水环真空泵的特点：

1、机泵同轴式直联设计，节省空间，水环真空泵易于安装。

2、水环真空泵运行平稳，噪音可低至62分贝。

3、统一的耐腐蚀设计，青铜叶轮提高了水环真空泵的耐腐蚀性，如采用不锈钢材质更适用于更为苛刻的应用。

4、独特的柔性排气口设计，不会产生过压缩，确保了水环真空泵在其性能范围内效率最佳。

5、采用机械密封作为标准配置,消除了泄露,维护简便。

2BV系列水环真空泵为整体结构—机泵同轴的单级泵。轴封采用机械密封，具有结构简单，安装简捷、无油、安全可靠等特点。

水环真空泵正确的保养和使用方法：

1)水环真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C

。

2)如水环真空泵有异常声音应立即停车检查原因。

3)水环真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。水环真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

4)经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。

5)定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。水环真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。水环真空泵长期停用，需将水环真空泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。

6)使用水环真空泵时，先拧下水环真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水。特别是机械密封的水环真空泵（2BV,2BE）再启动电机。定期向轴承体内加入轴承润滑机油或黄油。点动电机，试看电机转向是否正确。关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。

7)开动电机，当水环真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口水环真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。

8)尽量控制水环真空泵的流量和真空度在标牌上注明的范围内，以保证水环真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。

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一、产生和优点

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。螺杆泵的技术关键问题。中国的威海智德真空科技有限公司在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。

二、主要结构

传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。

三、国内外生产公司概况

1、威海智德真空科技有限公司是中国最早研发干式螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候，公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。公司生产的GENT干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应用。针对不同工艺条件，其过流部件（即转子和泵体等与气体接触的部分）均有防腐涂层，包括镍磷涂层和PTFE两种。

2、德国莱宝公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。

3、德国普旭公司的COBRAN系列螺杆泵，制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓风机和压缩机的供应商之一，真空泵的质量较高，相比其他厂家，在欧洲市场占有率极高，价格偏贵。

4、德国里奇乐的VSA/VSB系列，VSA系为等螺距转子，市场评价较好，性能稳定。VSB系列是变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温度，不用两级压缩中间冷却，单级即可实现很高的真空度。在密封件上做了改进，静态密封元件优选Viton材料，在有特殊要求的情况下选择PTFE或者添加有PTFE的密封件。动态密封元件在真空泵吸入侧用双密封唇；真空泵排气侧用简单的带有防止气体外溢的密封圈，以防止固体物质进入泵内。

活塞真空泵是无油真空泵，结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。普诺克活塞真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。

普诺克旋片真空泵是油封式真空泵，用于产生粗和中真空环境。既可以单独使用，又可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵或超高真空泵的前级泵或预抽泵。

1、全部采用NTN或NSK进口轴承。

2、独特的柔性排气口设计，不会产生过压缩，确保了2BV在其性能范围内效率最佳。

3、2BV系列全部设有气蚀保护管接口，如在极限压力下工作，开启气蚀保护管接口（或与分离器连接）可在最大限度保证吸气效果的情况下消除气蚀声，并对泵进行保护。

4、铝青铜叶轮强度高，经久耐用，并提高了泵的耐腐蚀性。如过流部件采用不锈钢材质，可工作在更为苛刻的环境中。

5、全部采用国外进口机械密封作为标准配置。

6、全部采用Y2系列电机，防护等级IP54、IP55（普通为IP44）

7、机泵同轴式直联设计，节省空间，易于安装。