爱德华真空泵EH2600的工作原理

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

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iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

四级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对共轭啮合，做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。

EDWARDS IXH3030T 腔体怎么拆？Edwards爱德华干泵维修真空泵IXH3030T 干泵维修

南昌纵鹏机械设备有限公司专业销售维修爱德华真空泵干泵，我司公在真空泵维修方面有着丰富的经验。

Edwards iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到很好的压缩比，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的Edwards iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对操作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。

真空有限公司专业维修进口真空泵，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备专业和全面的真空泵维修知识和技能，多年来一直为光伏半导体太阳能行业客户维修各种进口真空泵，获得了业界客户和朋友的认可。

Edwards爱德华干泵维修真空泵IXH3030T干泵维修

我们及维修的真空泵，覆盖的品牌，维修品牌有：

法国阿尔卡特：Alcatel Adixen

英国爱德华： Edwards

德国莱宝： Oerlikon Leybold

普旭BUSCH

德国西赫：SIHIdry

贝克BECKER

科威尔KOWEL

里其乐RIETSCHLE

ALCATEL阿尔卡特系列真空泵：ADP122，ADS602 ，ADS602H, ADS602P, ADS1202，ADS1802等

Edwards爱德华系列真空泵：IXH100，IXH200H, IXH1210， IXH 1210H, IXH1220，IXH1220HT, IXH 1820， IXH1820H,IXH1820T, IXH3030，IXH3030T, IXH3045H, IXH4545H, IXH4545HT, IXH6045H, IXH6045HT,IXH450H, PXH4500HT, PXH6000， IXL500Q, IXL500R等等爱德华真空泵IXH3030T干泵维修。

Oerlikon Leybold 德国莱宝真空泵：SP630，SP630F, SV16，SV25，SV40，SV65，SV100，SV200，SV300，SV585，SV630，SV750，SV1200等等

BUSCH普旭真空泵：COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵，COBRA Industry系列干式螺杆真空泵，

Panda/Puma系列罗茨泵 R5系列旋片泵 ，

COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵包括：DS0080/0160G, DS0700-2000G, DS5161/9161A, DS0600E，DS2610/3910E, DS8162/8163A/E, BA0100C, BC0100F, BC0101F，BC1000/2000F, BC0100F Premium Efficiency,

COBRA Industry系列干式螺杆真空泵包括：BA 0100C, NX0450/0650A, NC0100-0300B, NC0400-1000B/C, NC2500B

Panda/Puma系列罗茨泵包括：WY0500C, WY0700/150B, WY2000/4500B, WV0250-1000C, WV1500-4500B/C,WP0250/0500D2/D4， WP1250-4500B2/D2, WPA080/A095A, WP0700/100DA/D4，WPA040-A075A

R5系列旋片泵包括：RA0010/0016C,RA0160-0302D, RA1000/1600B, RA0025/0040F, RA0165-0305D, RAH200/300A,RA0063/0100F, RA0400-0630C, RB0021C, RA0155A, RA0750A

贝克BECKER真空泵：VT4.4，VT4.8， VT4.10，VT4.16，VT4.25 ，VT4.40，KVT3.60，KVT3.80，KVT3.100，KVT3.140，VTLF200，VTLF250 ， VTLF360 ，VTLF400，VTLF500以及 2BV系列旋片真空泵

科威尔KOWEL真空泵：SS122， SS1200

里其乐RIETSCHLE真空泵：VWP系列罗茨泵，VSI系列螺杆真空泵

南昌专业注爱德华真空泵IXH3030T干泵维修及各类真空泵配件，并提供原厂真空泵维修保养服务！欢迎各界新老客户洽谈，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。

爱德华真空泵IXH3030T干泵维修华南区正品销售商，部分型号现货供应，提供整机，配件，维修，维修包，技术指导，欢迎咨询。

爱德华真空泵的使用和维护概述：真空泵是一种可变容积气体传输真空泵，工作压力范围为1.33x10-2~105帕。它可以单独使用或作为其它高真空泵的前级泵来泵出密封容器中的干燥气体，但是它不适合于泵出具有高氧含量、对金属的腐蚀性、与泵油的反应以及颗粒灰尘的气体。有两种类型：单级和双级。

该结构包括滤网、进气管、压板、排气阀片、旋转片、弹簧、转子、放油塞、油标、排气口、皮带轮、轴端密封和级间排气通道。它具有结构简单、运行可靠的特点，应用广泛。

一、爱德华真空泵工作原理和结构特点

1、工作原理：它是一种容积可变的真空泵，依靠插入偏心轮转子中的几个旋转板，可以滑动进出，隔离、压缩和排出泵体内的气体。

2、结构特点：该结构可分为两类：油封式和油浸式。泵体结构有三种类型：整体式、中壁压入式和组合式。转子结构有三种类型：整体式、压缩套筒式和转子盘式。排气阀是旋转叶片泵的主要易损部件之一，它影响泵的泵送性能并产生噪声。有两种形式：一是用橡胶垫作为阀板另一种是用布酚醛压板或弹簧钢片作为阀板，排气阀必须浸在泵油中。

爱德华真空泵的结构和维修知识

气镇阀：真空泵设计用于泵出可冷凝气体，由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时，止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油，改善泵的润滑条件，扩大泵的应用范围，旋转叶片泵还配有许多附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等。

爱德华真空泵常见故障与消除方法：

1、真空度低：(1)油量不足。加油。

(2)泵油不清洁，乳化了。开气镇阀，换新油。

(3)泵油牌号不对。换油

(4)进油孔堵塞。清理进油孔，调节油量。

(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处，更换密封圈。

(6)排气阀片损坏。换新阀。

(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。

(8)泵温升高，油的粘度过低。加大冷却水量。

(9)泵油气体温度过高。加气冷装置。

(10)端盖螺钉松紧不一，造成转子轴芯偏移。拆开重装。

(11)旋片弹簧断裂。换新弹簧。

(12)进气管过滤网堵塞。清洗。

(13)气镇阀未关好/损坏。关闭/修理。

(14)泵轮键断裂，轮空转。换键。

2、卡泵：

(1)端面间隙过小，泵油温升过高。研磨旋片，调整间隙。

(2)泵内进入杂物。清理。

(3)泵温升高。加强水冷。

(4)转子断裂。拆泵更换。

(5)泵腔生锈。洗锈。

3、噪声大：

(1)旋片弹簧断裂。换弹簧。

(2)装配零件松动。重装。

(3)零件有毛刺，装配有变形。重装、修磨、换件。

(4)电机轴无油。加润滑油。

4、漏油：

(1)轴孔、端盖、油标、油箱等部位密封件损坏或没压紧。换密封件，拧紧螺钉。

(2)油箱有漏孔。堵好漏孔。

5.启动困难：

(1)油温过低。加热到15℃以上。

(2)泵内润滑不好。调节油量。

(3)泵腔内未放气，大量油进入泵腔。停泵时放气。

6、喷油：

(1)系统突然暴露大气。关低真空阀，继续开阀。

(2)油量过多。调节油量。

(3)转子旋转方向反了。重接电源，换向。

7、不抽气：

(1)泵轮键断裂，转子不转。换新键。

(2)双级甏转子十字接头断了，高真空级不转。更换。

(3)没打开进气口阀。打开阀。

(4)排气阀片碎了。更换。

爱德华真空泵的维护很简单，节能控制意味着可以极大地延长大修保养间隔时间。如果您忘记了保养，直观的 Airlogic 集成界面会监控性能并在需要保养时进行提醒。智能设计极易维护和操作，缩短了执行全面检查和常规保养的时间。经常关注系统的保养需求可极大地延长大修间隔时段，并确保清洁高效运行。为保持佳性能，建议您始终使用原装 Edwards 零件。为此可提供品种齐全的备件和润滑油

爱德华真空泵IQDP80根据使用说明，打开启动键后动力开始工作后启动

答：爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵，也叫罗茨泵，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

自带。

爱德华真空泵自带气震器，真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。