求教滑阀真空泵的使用及工作原理。
滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似,但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。
滑阀泵亦分单级泵和双级泵两种,有立式和卧式两种结构形式。单级泵的极限压力为0.4~1.3Pa;双级泵的极限压力为6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超过150L/S的大泵都采用单级形式。这种泵可单独使用,也可作其它泵的前级泵用。
1.工作原理
滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成(见图11)。
图11:滑阀式真空泵结构原理图
泵体中装有滑阀环(4),滑阀环内装有偏心轮(3),偏心轮固定在轴(2)上,轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5),它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动,因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中,由于A、B两室容积周期性地改变,使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔;同时,在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩,并通过排气阀排出泵外。
双级型的滑阀泵,实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上,有的是直接铸成一个整体,有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。
阀式油封机械泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵,但是滑阀真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好几倍。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。滑阀真空泵目前分为单级H型和双极2H型两种型号,比较老的还有MH,1401系列,目前基本淘汰。
滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。目前双极2H滑阀真空泵最大抽速为300L/S。
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑阀没有很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此小厂很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。可以通过动平衡测试和双缸或三缸结构做好滑阀的质量平衡。
滑阀泵结构及特点:
罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表,来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭,自动过载保护。整套机组安装在一个机架上,配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑,使用方便。
根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同,真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4:至10:1之间,前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油,在前级进口管道上装有电磁充气阀,其动作与前级泵电动机实现联动,当滑阀泵停泵前,向泵口充气,确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内,同时防止真空系统受到真空油污染。
滑阀泵用途:
罗茨滑阀真空机组具有显著的节能效果,真空度高,高真空区间抽气量大,可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥;航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体,应加装过滤装置。
滑阀式真空泵是靠气阀(滑阀)前后滑动,和两个排气阀片交替做工,打开、关闭气道,进行吸气排气,从而得到真空。
往复式真空泵的气阀总成是固定的,打开泵头侧盖就会看到,气阀有四个阀片,(两个进气,两个排气),活塞在做往复运动时,靠进、排气阀片交替运动,控制进气排气,从而得到真空。阀片属易损件阀片损坏影响真空泵效率,真空度低
滑阀式油封机械泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。
滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡,减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。
具体图片可以看这里,有很多http://image.baidu.com/i?tn=baiduimage&ampct=201326592&lm=-1&cl=2&fr=ala0&word=%BB%AC%B7%A7%CA%BD%D5%E6%BF%D5%B1%C3%D4%AD%C0%ED%CD%BC
旋片泵的真空度(8pa)比滑阀泵(1pa)的差了些,旋片泵流量240立方,滑阀泵流量525立方。
你可以根据你们实际的应用来选择是否能替代。如果对于抽气速率以及真空度要求不是十分严格。那就没问题了;不行的话就选择型号稍大一些的,如果有什么需要可以Q984956756找我。
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵 :利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵 : 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式:
1、分子真空泵 :它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
按其工作原理,基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
一、气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
二、气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等。