真空测试检测标准有哪些呢

参数名称参数定义真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。真空泵的前级压强真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。真空泵的何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。真空泵的抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。真空泵的返流率泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。水蒸气允许量水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。压强范围

真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

任何进口真空泵一般都用以下两个主要参数表示其工作性能。

(1)抽气速率一系指单位时间内真空泵在残余压力下从进气管吸入的气体容积，即好凯德真空泵的生产能力(或称流世V)，以m³或L/s表示。

(2)残余压力或称极限真空度一系指该泵所能达到的最低压力(绝对)。

雅之雷德用一定的进口真空泵抽吸某一密闭容器中的气体，无论抽吸的时间有多久，容器中的压力是不能无限地降低到零(即绝对真空)的。这是因为当进气压力低于某一值后，或是由于泵中液体发生汽化，或是由于高压侧漏回的气盘与真空泵的抽气胜相同.或是由于好凯德真空泵的压缩比过高，容积系数降低为零.都会使泵无法继续吸入新鲜气体。在这种情况下，容器中的压力再也不会降低了。此时的绝对压力值称为残余压力或极限真空度。

我国现有的真空标准

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l.GB 913 66 泵分类及技术条件

2.GB 4844 84 氮气

3.GB 4845 84 氮气验收方法

4.GB 4982 85 夹紧型真空快卸法兰

5.GB 4983 85 拧紧型真空快卸法兰

6. GB 6071 . 1 85 超高真空法兰结构型式

7 .GB 6071.2 85 超高真空法兰尺寸

8. GB 6071 .3 85 超高真空法兰用铜密封垫

9.GB 6306.1 86 变容真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

1O.GB 6306.2 86 变容真雪泵极限压力测试方法

11.GB 6306.3 86 变容真空泵消耗功率测试方法

12.GB 6306.4 86 变容真空泵工作温度测试方法

13 . GB 6307.1 86 蒸气流真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

14.GB 6307.2 86 蒸气流真空泵临界前级压力测试方法

15 . GB 6308. 1 86 橡胶密封真空规管接头

16.GB 6308.2 86 金属密封真空规管接头

17 .GB 7772 87 变容真空泵噪声测量方法

18. GB 7773 87 变容真空泵振动测量方法

19.GB7774 87涡轮分子泵性能测试方法

20.GB 7775 87蒸气流真空泵加热时间和加热功率测试方法

21. GB 7776 87蒸气流真空泵泵液返流率测试方法

22. GB 9445 88 元损检测人员资格鉴定通则

23.GB 14174 93 大口径液氮容器

24.GB 16774 97 自增压式液氮生物容器

25. GB 18442 2001 低温绝热压力容器

26. GB/T 3163 93 真空技术术语

27 .GB/T 3164 93 真空技术系统图用图形符号

28. GB/T 5458 97 液氮生物容器

29. GB/T 6070 95 真空法兰

30.GB/T 11164 99 真空镀膜设备通用技术条件

31.GB/T 12604 95 元损检测术语

32. GB/T 13979 92 氮质谱检漏仪

33.GB/T 14211 93 机械密封试验方法

34. GB/T 15823 95 氮泄漏检验

35.GB/T1670996真空技术管路配件装配尺寸

36.GB/T 16775 97 低温容器漏气速率测定方法

37 .GB/T 18193 2000真空技术质谱检漏仪校准

38. GB/T 18443.1 2001低温绝热压力容器试验方法容积测量

39.GB/T 18443.2 2001 低温绝热压力容器试验方法真空度测量

40.GB/T 18443.3 2001 低温绝热压力容器试验方法漏率测量

41.GB/T 18443.4 2001 低温绝热压力容器试验方法漏放气速率测量

42.GB/T18443.52001 低温绝热压力容器试验方法静态蒸发率测量

43 . GJB 128A 97 半导体分立器件试验方法

44. GJB 360A 96 电子及电气元件试验方法

45 . GJB 548A 96 微电子器件试验方法和程序

46. GJB 1808 93真空计的校准方法动态流量法

47 .GJB 2709 96 有机材料低温气体渗透系数试验方法

48. GJB 2715 96 国防计量通用术语

49.GJB/j 3416 98 真空计(电参数)检定规程

50. JB/T 1246 97 滑阀真空泵

51.JB/T 2965 92溅射离子泵性能测试方法

52 .JB/T 4077 91 高真空插板阅型式与基本参数

53.JB/T407891 高真空挡板阀型式与基本参数

54. JB/T 4079 91 高真空蝶阔型式与基本参数

55.JB/T408091 高真空电磁阀型式与基本参数

56.JB/T 4081 91 溅射离子泵型式与基本参数

57 .JB/T 4082 91溅射离子泵技术条件

58.JB/T 4083 91 真空电磁带充气阀型式与基本参数

59. JB/T 5410 91 低真空电磁压差充气阅型式与基本参数

60.JB/T5971-92单级多旋片式真空泵

61. JB/T 6446 92真空阀门技术条件

62 .JB/T 6533 97 旋片真空泵

63.JB/T 6921 93 罗茨真空泵机组

64. JB/T 6922 93 真空蒸发镀膜设备

65.JB/T692393 真空"加压浸渍设备

66. JB/T 7265 94 蒸气流真空泵

67 .JBIT 7266 94 容积真空泵性能测量方法68.JB/T767395 真空设备型号编制方法

69 .JB/T 7674 95 罗茨真空泵

70.JB/T767595 往复真空泵

71.JB汀8105.199 橡胶密封真空规管接头

72.JB/T 8105.2一佣金属密封真空规管接头

73.JB/T810699容积真空泵噪声测量方法

74 .JB/T 8107 99容积真空泵振动测量方法

75 .JB/T 8472.1 96蒸气流真空泵性能测定第一部分:抽气速率(体积流率)的测定

76.JB/T 8472.2 96蒸气流真空泵性能测定第二部分:临界前级压力的测定

77. JB/T 8540 97 水蒸气喷射真空泵

78. JB/T 8944 99单级旋片真空泵

79. JB/T 8945 99 真空溅射镀膜设备

80. JB/T 8946 99 真空离子镀膜设备

81.JB/T912599 立式涡轮分子泵

82.JBITQ 563 87 2X型旋片真空泵质量分等

83. JB/TQ 564一87滑阀真空泵质量分等

84. JB/TQ 565 87 真空间门质量分等

85 . JB/TQ 566 87 往复真空泵质量分等

86.JB/TQ 567 87 2XZ型旋片真空泵质量分等

87. JBITQ 568 87 罗茨真空泵质量分等

88. JB/TQ 569 87 油扩散泵质量分等

89.JB/TQ 570 87 油扩散喷射泵质量分等

90. JB/TQ 571 87 真空镀膜设备质量分等

91.JB/TQ 634 88 真空振动流动干燥设备系列参数

92. JB/I'Q 635 88 真空振动流动干燥设备技术条件

93. JB/I'Q 636 88 真空振动流动干燥机质量分等

94. JB/I'Q 638 88 振动流化床干燥机质量分等

95. JB 1090 91 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

96.JB 1091 91 JO型骨架型真空用橡胶密封圃型式及尺寸

97 .JB 1092 91 0型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

98. JB 1246 85 滑间真空泵型式与参数

99.JB 1247 85 滑阀真空泵技术条件

100 .JB 2569 81 溅射离子泵性能测试方法

101.]B 5278.1 91铜丝密封可烘烤真空法兰连接型式

102.]B 5278.2 91 铜丝密封可烘烤真空法兰法兰结构尺寸

103 .]B 5278.3 91 铜丝密封可烘烤真空法兰铜丝密封圈结构尺寸104.ZB] 78001 87 2)CZ型直联旋片真空泵系列参数

105. ZB] 78002 87 2)CZ型直联旋片真空泵技术条件

106.ZB] 78003 87 2X型旋片真空泵系列参数

107.ZB] 78010 87 直筒式水冷挡板参数、技术条件、验收规则

108.ZBJ 78011.1 89 余摆线真空泵系列参数

109.ZB] 78011.2 89 余摆线真空泵技术条件

110.ZBY 117 83 热偶真空计技术条件

111. ZBY 153 83 电火花真空检漏器技术条件

112.ZBY 176 83 电离真空计型号命名方法

113.ZBY 227 84 热阴极电离真空计控制元件技术条件

114.ZBY 243 84 真空测量仪表通用技术条件

115 . ZBY 248 84 电阻真空计技术条件

116. ZBY 285 84 冷阴极电离真空计技术条件

117 .ZBY 286 84 冷阴极电离真空计规管技术条件

118.ZBY 287 84 真空蒸发镀膜设备技术条件、验收规则

119. ZBY 290 84 热阴极电离真空计规管技术条件

120. SY 1632-65 真空封蜡

121.SY 1633一75真空封泥

122.SY 1634一70真空机械泵油

123. SY 1635-66 真空增压泵油

124.SY 1636•6 真空扩散泵油

125 . QJ 1322 87 真空中材料质量损失测试方法

126.QJ 1371一88真空中材料可凝挥发物测试方法

127.QJ 154•-88 加压充氮一步快速检漏筛选法

128. QJ 1558 88 真空中材料挥发性能测试方法

129.QJ 1610一89阀门气

130. QJ 1897 90 真空封口阅

131. QJ 1898 90 真空封口阅技术条件

132. QJ 1991 90 真空.紫外辐照材料质量损失测试方法

133.QJ 2040.1 91标准漏孔的校准方法绝对校准方法

134.QJ 2040.2 91标准漏孔的校准方法相对校准方法

135.QJ 2075 91 阔门液体压降试验方法

136.QJ 2194 91 有机材料气体渗透系数测试方法

137.QJ 2195 91 有机材料低温气体渗透系数测试方法

138.QJ 2196 91 高熔点氧化物气体渗透系数测试方法

139. QJ 2197 91 金属及其合金气体渗透系数测试方法

140.QJ 2213.1 92 继电器特种环境试验方法超高真空冷焊试验

141. QJ 2475 93 低温容器通用技术条件

142.QJ 2651 94 真空封口接头

143. QJ 2667 94 真空用油脂饱和蒸气压测试方法

144.QJ 2675.1 94低温容器性能试验方法夹层真空度试验

145.QJ 2675.2 94低温容器性能试验方法放气速率试验

146.QJ 2675.3 94低温容器性能试验方法真空夹层漏率试验

147.QJ 2675.4 94低温容器性能试验方法日蒸发率试验

148. QJ 2676 94 吸附剂低

149.QJ 2693.1 94 空间材料出气速率测试方法15℃~45℃出气速率

150.QJ 2693.2 94 空间材料出气速率测试方法45℃~100O℃出气量和出气速率

151. QJ 2768 95 低温容器检修技术条件

152. QJ 2861 96 氮质谱检漏最小可检漏率的检验方法

153. QJ 2862 96 压力容器焊缝氮质谱

154.QJ 2965 97 氟橡胶密封超高真空法兰规范

155 . QJ 3088 99 正压标准漏孔校准方法

156. QJ 3089 99 氮质谱正压检漏方法

157.JJG(航天)3399 气体活塞式压力计检定规程

158.JJG(航天)4599 比对法校准真空计检定规程

159 .JJG 793 92 标准漏孔检定规程

分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。全压强则指包括气体中的所有气体的压强。在真空应用中，分压强与全压强各有其应用范围。现行的真空泵的考核标准中，如果不指明为全压强，极限压力指标均为分压强。10-3Torr=1.33*10-1pa 滑阀泵跟旋片泵均能达到；现在国内与国外的旋片泵都能大道6*10-2Pa分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。全压强则指包括气体中的所有气体的压强。在真空应用中，分压强与全压强各有其应用范围。现行的真空泵的考核标准中，如果不指明为全压强，极限压力指标均为分压强。10-3Torr=1.33*10-1pa 可以选用滑阀式真空泵，极限压力6*10-2pa.

你好：

真空泵油主要有一下几个性能：

1、极低的蒸汽压这是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

2、合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。

3、良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。

4、良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。

5、较高的闪点要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。

6、较低的极限压力极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力

微型真空泵的主要参数有真空、真空度、负压、流量、抽气速率、电压、电流等。现在微型泵选型中，如微型真空泵，微型气泵，微型气体采样泵，微型气体循环泵，微型抽气泵，微型吸气泵，微型打气泵，微型充气泵，微型高压气泵等选型中，有几个基本概念要弄清楚：1. 真空：指在给定的空间内，压力低于101325Pa(100Kpa,即一个标准大气压)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，压力值越小则表示气体越稀薄。例如，两个密闭容器，A容器内气体压力为50Kpa，B容器为30Kpa， B容器内气体肯定比A容器稀薄。工业上有真空泵、气体采样泵、气体循环泵、抽气泵、抽气打气泵等多种微型泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有： 2. 真空度 ：是衡量气体稀薄程度的物理量，常用单位是Kpa(千帕)。它是以“理论上存在的真空”为参照物，因为得出的压力值都比“理论上的真空”的压力值大，所以是正值。通常也叫“极限真空”、“绝对真空度”、“绝对压力”。它是指将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。 3. 负 压：普通真空表测得的真空值。常用单位也是Kpa(千帕)。它是以“一个大气压”作为参照物，是指被测气体压力与大气压的差值。因为得出的压力值都比“一个大气压”的压力值小，所以是负值。通常也叫“表压”、“相对真空度” 、 “相对压力”。示意图请见： http://www.wcjx.net/test-data/1jczs.htm