旋片式真空泵用什么油?
旋片式真空泵用什么油? 旋片式真空泵用油介绍:1、一般情况:希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升\u002F秒以下小泵也可用1号真空油泵代,8升\u002F秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。2、如果对真空度要求不高:且油的污染更换频繁,真空泵油供应困难,可采用50号机械油代替。3、如果环境温度低:起动困难,极限真空要求不高,可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。 @2019
水环真空泵主要是有液体做工作液来完成真空作业
其真空度一般
油式真空泵主要是用油密封工作腔来完成真空作业
其真空度高
干式真空泵主要是用两个密合转子旋转压缩来完成真空作业
其真空度较高
因为真空泵是抽气体的所以比较的时候是在同一抽速下比较容易理解
具体设计的使用环境 工作要求 所选择的泵种类也不相同 很多工艺只
有一种泵适合,所以要有业内人士帮你选择比较好。
真空泵的作用是抽真空,抽出工艺系统中的气体而满足使用要求
真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空浸渍、真空干燥及真空冶炼等
以上的都是一线品牌,代理可能很难拿到,可以先做分销。
国内的真空泵质量可能只有液环真空泵有几家厂还可以,其它品种的都不行。
说的可能不全,仅供参考。
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
1.查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用,影响真空度。过高,可能会引起通大气起动时喷油。运转时,油位有所升高,属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油,从加油孔加入。加油毕后,应旋一上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔。
2.水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀,应与泵同时动作。
3.环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热,或改善泵油性能,极限真空可得到改善。
4.检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准,如计经充分预抽校验,泵温达到稳定,泵口与计直接接通,运转30分钟内,将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关,有时误差甚至可很大,只能作参考。
5.如相对湿度较高,或被抽气体含较多可凝性蒸汽,接通被抽容器后,宜打开气镇阀,运转20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前,可开气镇阀空载运动30分钟,以延长泵油寿命。
6.用油选择:真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空,粘度高时对真空度有利,起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强,越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大,饱和蒸汽压较1号真空泵油低,但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油,可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。
(1)一般情况下,凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代,8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。
(2)如果对真空度要求不高,且油的污染更换频繁,真空泵油供应困难,可采用50号机械油代替。
(3)如果环境温度低,起动困难,极限真空要求不高,可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。
按真空度:高真空泵、中真空泵、粗真空泵。
按润滑介质油式真空泵、无油真空泵。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。以下是各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值
真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10-1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10-2 1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10-1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10-9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10-11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵(往复真空泵,旋转真空泵);动量传输泵(分子真空泵,喷射真空泵,扩散泵,扩散喷射泵,离子传输泵)。
气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有四种类型:吸附泵,吸气剂泵,吸气剂离子泵,低温泵。
常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称
W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵(油增压泵)
D 定片真空泵 S 升华泵
X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵
H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵
ZJ 罗茨真空泵(机械增压泵) DZ 制冷机低温泵
YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵
L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵
XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
F 分子泵 PS 水喷射泵
K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵