旋片真空泵使用方法

真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。。

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构，立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

干式机械真空泵的应用：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

参考资料来源：百度百科-真空泵

参考资料来源：百度百科-干式真空泵

状态1:吸气

气室a与预抽空容器相连，旋片转动使其增大以吸入更多气体。

状态2:压缩

此时气室a与容器和排气口都不相连，空间的变小将使所含气体受到压缩。

状态3:过压

气室a与排气口相连，排气口配有压差控制的阀门。由于气体数量恒定，因此体积减小导致压强增大(p*v=常数)

状态4:排空

气室a越变越小，当压力逐渐增大到顶开阀门时气体将冲入排气管道。排气后压差使阀门自动关闭，等待下一气室b的到来。

旋片式真空泵是工业应用最广泛的一种机型，由于进口真空泵的价格高昂，并且进口真空泵维修及保养费用也贵，广东大路通引进了一系列先进的技术与设备已生产出费用低，真空泵维修费用低的国产旋片式真空泵，旋片式真空泵主要是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。

（1）将旋片真空泵拆除真空系统，把底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出，再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上对，内部进行清洗，照此操作3—5次，特污油放清后，再装上放油塞，将泵放平，从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。

（2）换油时不宜长久开动电机，以免使排气阀片跳动过于剧烈和疲劳。

（3）严禁用煤油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。

普诺克真空泵注：旋片式真空泵换油应在油温升高后进行。

真空泵工作原理解析：

1)、水环式真空泵工作原理

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时，将水甩至泵壳形成一个水环，环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大，从而形成真空，使气体经进气管进入泵内进气空间。

随后气体进入左半部，由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强，于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

2)、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33&times10-2（pa）属于低真空泵。

它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

保养窍门

1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。

2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。

3、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。

4、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

5、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

整体式转子其结构特点为转子由一整体材料直接加工而成。这种结构的转子整体强度好,工艺过程简单。但旋片槽的加工比较困难,槽的精度和摩擦表面粗糙度不易做得很高,这样就在一定程度上影响旋片真空泵叶片的正常工作。

组合式转子一般有两种结构:螺钉固定转子盘结构和热压套结构。组合式转子结构的特点为转子体与转子轴分别制做,然后组合而成。这种结构解决了旋片槽的加工精度和旋片槽摩擦表面的粗糙度问题,但工艺复杂,其强度和刚度也没有整体式转子好。热压套结构一般在小抽速旋片式真空泵上采用,且不多见。

焊接转子是指转子体与转子轴经焊接而构成一整体转子,这种结构对于大抽速泵来说是比较轻巧的,但因焊接应力消除不充分转子易产生变形,且工艺也比较复杂,目前采用的很少。

在以上结构中,国内、外厂家采用最多的是组合式转子和螺钉固定转子盘结构。雅之雷德认为,大抽速泵的主转子体结构仍以采用此种结构为好。

旋片式真空泵真空度达不到要求是什么原因

（1）旋片式真空泵油位太低，不能对排气阀起油封作用，旋去加油螺塞后有较大排气声，并有油雾，证明油位太低，加油即可排除。

（2）油为可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，应该替换新的真空泵油。

（3）泵口外接管道、容器、测验仪表管道、接头等漏气，大漏时，旋去加油螺塞有大的排气声，并有气和油雾排出，应找漏，消除之。

（4）进气管橡胶件安装不妥，损坏或老化应调整或替换。

（5）油孔堵塞，真空度下降，可放油，拆下油箱，松开油嘴压板，拔出进油嘴，疏通油孔，尽量不要用纱头擦零件。

（6）真空体系有严重污染，包含容器、管道等，应予清洗。

（7）旋片弹簧折断，应予调新。

（8）旋片、定子或衬套磨损，应予查看，修整或调换旋片式真空泵。

（9）泵温过高，这不光使油粘度下降，饱和蒸汽压升高，还或许形成泵油裂解。应改进通风冷却，下降环境温度。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内，环境温度高，应尽量采用较好的高速度真空泵油或扩散泵油。

（10）由于零件的变形磨损或移动使止回阀头的最大敞开高度下降甚至不能敞开，进油过少而使旋片式真空泵的真空度下降，应调整，详见安装部分。敞开高，进油多，但敞开过高，止回阀在某些位置上停时将不能自动下落，失去防止返油作用。