爱德华真空泵EH2600的工作原理

激动的帅哥

2022-12-22 06:14:40

爱德华真空泵EH2600的工作原理？

最佳答案

甜蜜的便当

2025-08-15 18:39:51

爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵，也叫罗茨泵，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

工作原理：

罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。

靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。

罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。

它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。

罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。

最新回答

清秀的小白菜

2025-08-15 18:39:51

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度 600 m3h-1

353 cfm

10000 l min-1

极限真空 7 x 10-4 mbar

5.3 x 10-4 Torr

0.07 Pa

典型轴封氮流量 4 slm

进气口连接 ISO100

出口连接 NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1

4 l min-1

重量 415 kg

极限功率输入 3.4 kW

电机额定功率 6.1 kW

油容量 1.43 l

所有数字均为无气镇时的典型值。

性能

尺寸

1 进气口

2 出口

3 抽风口

4 变频器箱（仅限 iH1000）

洁净的飞鸟

2025-08-15 18:39:51

爱德华真空泵，目前国内有许多真空泵厂生产企业都可以维修。比如盐城博硕真空公司就维修过许多我们用的真空泵，品牌有国内上真的、浙真的；国外有里其乐、爱发科、莱宝、爱德华等品牌的真空泵。感觉比原厂维修点的价钱便宜若干倍，质量目前用起来还可以，基本上都没有出现什么问题。

动人的板凳

2025-08-15 18:39:51

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修 摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查 进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是 更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和 电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。 BOC真空泵检查维护 为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护, 表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。 1、检查真空泵油油位 真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外, 启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明 泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。 表1 爱德华真空泵检查维护一览表<table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护 2、初始运行100 小时每运行6 个月大修 3、6 个月 4、12 个月 <td>1、检查泵油油位和颜色 2、换油 3、清洗内部油过滤器 4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换检查配油器橡胶封, 必要时更换，检查马达部件防泄露油封 <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过 滤器的频次</table> 2、观察BOC Edwards真空泵油颜色 应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真 空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。 3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱 当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进 气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密 封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。 4、检查是否漏油 应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。