好凯德RV0500D罗茨真空泵的产品参数是多少

参数名称参数定义真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。真空泵的前级压强真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。真空泵的何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。真空泵的抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。真空泵的返流率泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。水蒸气允许量水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。压强范围

真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

其中：

零流量压缩比K0：集中反映罗茨泵转子、泵体、侧盖等核心部件制造精度与抽气性能。

最大允许压差ΔPmax：取决于泵的配置功率、泵本身散热效果与热态稳定性。

漏率Y：返映了泵的各密封面的密封方式密封性能及材料的密封性能与放气性能。

噪声dB:返映了泵设计结构合理性、各部件制造精度、配件品质（如齿轮、轴承、电机等）。

（1）抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表示。

（2）残余压力：也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的最低压力，单位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。

（3）抽气量：在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。

（4）起动压力：真空泵开始工作时的压力。