真空泵的极限真空是什么意思

真空的极限就是-0.1MPA。

真空泵利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

扩展资料：

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。

因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。

为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑必须检查确定每一种工艺要求的真空度，因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。全压强则指包括气体中的所有气体的压强。在真空应用中，分压强与全压强各有其应用范围。现行的真空泵的考核标准中，如果不指明为全压强，极限压力指标均为分压强。

10-3Torr=1.33*10-1pa 滑阀泵跟旋片泵均能达到；现在国内与国外的旋片泵都能大道6*10-2Pa

分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。全压强则指包括气体中的所有气体的压强。在真空应用中，分压强与全压强各有其应用范围。现行的真空泵的考核标准中，如果不指明为全压强，极限压力指标均为分压强。

10-3Torr=1.33*10-1pa 可以选用滑阀式真空泵，极限压力6*10-2pa.

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1. 型往复式真空泵

■...WLW型往复式真空泵

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2. 系列往复式真空泵

W-70、50型...WLW系列往复式真空泵

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3. 无油立式真空泵

极限真空-80kPa...WLW无油立式真空泵...规格WLW-30、50、70、100、150、200、300、400、600

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4. 系列立式往复式真空泵

产品列表...WLW系列立式往复式真空泵

真空泵的发声原理

真空泵是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。当采用工作液来进行润滑并填充泵腔死隙，分隔排气阀和大气时，即为通常所称的油封旋片真空泵。无工作液时，即为干式旋片真空泵，将另页介绍。

在油封旋片真空泵中，国内习惯上称皮带传动的为旋片真空泵，而把泵与电机直接连接或用联轴器连接的称为直联旋片真空泵。在每种泵中，又有单级和双级之分。在单级泵中，由于选用的结构形式和参数不同，泵的极限压力和用途也不同。

它们的共同特点是结构较简单，使用方便，能从大气压力下起动，可直接排人大气，偏心质量较小，维护简便，双级泵的极限压力为6×10-2～l×10-2Pa，一种单级泵可达4Pa左右，另一种单级泵为50～200Pa左右。

自1909年盖德(W．Gaede)发明旋片泵并取得德国专利，1936年又发明气镇泵，1941年取得专利以来，旋片真空泵得到广泛应用和不断完善。60年代末，国际上出现了提高转速，直联的小型化趋势，70年代初出现了直联系列产品，到80年代初，又推出了改进的系列产品，有多种可供用户选配的附件，可以保护泵，或保护环境，泵本身结构也有改进而使可靠性提高。

在泵的结构方面，为了能在停泵时防止返油，有的设有能自动切断油路的止回阀，有的设有进气通道截止阀，有的为了能在泵开气镇运转突然停电时自动切断气路来保持泵口处于真空状态而设有油泵和控制结构。在附件方面，有消雾器、气味过滤器、阻挡碎玻璃等杂物用的人口过滤器、灰尘过滤器、蒸汽凝结阱、化学阱，有控制泵温以提高水蒸气抽除率和保护泵的温控水量调节阀。到了80年代末，90年代初，又推出了油过滤器、能监视油温、油压、油质等的电子显示器，甚至可以与计算机联结，进行自动控制，采用强制润滑和风冷，使泵的连续工作入口压力达10kPa，甚至更高，同一台泵的适用范围因而更大。

双级旋片真空泵，可以广泛用于冰箱、空调机、灯泡、日光灯、瓶胆生产和电子、冶金、医药、化工、滤油机、印刷机械、包装机等工业，可作为扩散泵、罗茨泵、分子泵等的前级泵，供电子仪器、医疗仪器等配套和实验研究应用。由于直联泵没有皮带摩擦的粉尘的污染，体积小、重量轻、材料节约、功能日趋完善，更被广泛推广应用。

噪声成因和降低措施

旋片泵的噪声，通常指泵在温度稳定时，在极限真空下测得的噪声级。它包括泵本身的噪声和电机噪声对用户来说，还关心泵温未稳定时的起动阶段的噪声和不同入口压强下运转的噪声，还有开气镇工作时的噪声。因此。要考虑多种影响因素。

就发声的部位来分，泵的噪声有下列几个可能方面：

(1)旋片对缸体的撞击，泵残余容积和排气死隙中的压力油的发声；

(2)排气阀片对阀座和支持件的撞击；

(3)箱体内的回声和气泡破裂声；

(4)轴承噪声；

(5)大量气、油冲击挡油板等引起的噪声；

(6)其他。如传动引起的噪声，风冷泵的风扇噪声等。

(7)电机噪声，这是至关重要的因素。

分述如下：

1)旋片对缸壁的撞击。如果设计、制造或用料不当，引起旋片滑动不畅，或者由于存在排气死隙，不可压缩的油引起旋片头部不能始终紧贴缸壁运转，就会引起旋片对缸壁的撞击发声。因此，宜采用园弧面分隔进排气口的结构。用排气导流槽消除死隙。在采用线分隔结构时，应尽量缩短排气终点到切点的距离，对于70L/s以下的旋片泵，考虑旋片的实际厚度，建议取7～lOmm，大泵取大值。过近时，由于转子旋片槽的存在和旋片头部只有一条狭带接触，旋片转到切点位置时密封效果一旦不好，就会影响泵的抽速甚至极限压力。可见这种结构不能完全消除排气死隙,限制了降噪水平。

需要指出的是，旋片与槽的间隙过大会降低性能。因此，要保证合理的公差配合和形位公差值，注意旋片的热膨胀，避免旋片与槽拉毛，注意油的冷油粘度，设计足够的旋片弹簧力，在采用园弧面分隔时，转子中心的附加偏心值不宜过大。不然，旋片经过两个园弧，会在交点处产生脱离缸壁趋势，反而引起撞击噪声。一般小泵为0.20～0.25mm即可,大泵可适当加大。

排气死隙中的压力油和残余容积中的压力油的发声。泵到极限压力时，两处压力油会在与真空腔室接通时高速射向真空腔室，与转子、缸壁撞击发声。两处容积的大小、位置与噪声有关。

2)阀片对阀座和支持件的撞击噪声

吸入的气体量大，泵的循环油量多，阀片噪声就越大，阀跳高，阀的面积大，阀片噪声也大，阀片材料也有一定影响。橡胶阀片的噪声应比钢片或层压板为好。为此，要节制进油量，阀片关闭要及时，要严密。注意阀的选材与结构。

3)箱体内的回声和气泡破裂声气量增大时，此项噪声将增大。因此，开气镇时或通大气时此项噪声会明显增大。如果气镇量可调，则可合理调节气镇量。

4)大量气体和油排出时冲击挡油板等零部件时发出的噪声。如果零件刚性不足，或未紧固，产生振动与碰撞，会使此项噪声增大。因此挡油板不仅应有足够刚度并紧固，而且，在需与其他零件(如油箱)接触时，利用夹橡胶的方法可避免振动引起的碰撞噪声，并改善挡油效果。

先要搞清楚pa和mpa的关系：1mpa=1000000pa，一个标准大气压为0.101325mpa（101325pa）（绝压），所以真空泵抽到2pa的负压即-0.101323mpa（表压），够精确吧，其实看表压就是-0.1mpa。希望对你有帮助。

科普：

1.

表压指的是管道压力，指的是用压力表、真空表、

U

形管等仪器测

出来的压力，又叫相对压力）

，“表压力”以大气压力为起点，符

号为

Pg

。

2.

直接作用于容器或物体表面的压力，

称为“绝对压力”，

绝对压力

值以绝对真空作为起点，符号为

PABS

（

ABS

为下标）

绝对压力其实就是指表压加上当地大气压

（一般加一标准大气压即

可

101.3Kpa

）

绝压＝表压

+

一个大气压

如果是

MPa

单位

绝压＝表压

+0.1MPa

3.

表压

=

绝对压力

-

大气压力

真空度

=

大气压力

-

绝对压力

以绝对真空为基准测得的压力为绝对压力，

以大气压力为基准测得

的压力为表压或真空度

压力后面带

G

表示表压，带

A

表示绝压

表压

g=gauge

，指的是系统上压力表的压力指示。也可以简单理解

为，把一个压力表放在大气压下，这时压力表显示为零。

这时候的

表压显示为

0

。要是这个表压的压力上升，上升的数值就是表压。

绝对压力

a=absolute

，是以绝对压力为数值表示。简单理解，就

是大气压力

+

表压。

正常大气压是10万帕，低于这个数值的就是真空，“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指真空泵能达到的最大真空度。“极限真空”是真空泵的一个重要参数，是反应泵抽气能力的特性值，是与真空泵相关的一个数值，不同的真空泵可以有不同的“极限真空”度。极限真空度，是在没有负载的条件下获得的最大真空度

有油真空泵是指在真空泵工作期间，需要油来润滑、密封、或者以油为工作介质的真空泵。主要特点就是密封性能好，极限真空可以做的稍高。如旋片泵、扩散泵等。但是对于真空室内会造成一定的污染。

无油真空泵就是工作期间不用油做为工作介质和密封的，主要是在工作空间内没有油，如涡旋泵、螺杆泵、低温泵等，共同组成的系统可以获得无油洁净的空间，这是真空发展的趋势。

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。