无油真空泵有什么优势特点

无油真空泵的工作原理：

它的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。

有油真空泵是指在真空泵工作期间，需要油来润滑、密封、或者以油为工作介质的真空泵。主要特点就是密封性能好，极限真空可以做的稍高。如旋片泵、扩散泵等。但是对于真空室内会造成一定的污染。

无油真空泵就是工作期间不用油做为工作介质和密封的，主要是在工作空间内没有油，如涡旋泵、螺杆泵、低温泵等，共同组成的系统可以获得无油洁净的空间，这是真空发展的趋势。

首先，无油真空泵相对有油真空泵来说，抽取的气体不会掺杂油气。可获得洁净的真空环境。另外，如果抽取的气体对油有腐蚀性，或者含大量水分等可破坏油的物质，那就不能使用有油真空泵。因为有油真空泵里面的油一般是用来润滑和密封的。油被腐蚀或者乳化等，真空泵就没办法正常运行了。

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

故障现象 故障原因 对 策

真空度或排气压力不足 过滤器芯阻塞使空气不能吸入 取下过滤器芯，用压缩空气清除粉尘等垃圾，如必要用新滤芯更换；

油份泵体内，使滑片不能飞出 如少量油分进入，从吸气口倒入少量汽油，点接电源使泵运转起来，将油分甩出；如大量油进入，需要解体更换轴承和滑片

由于吸入水分，缸体内生锈，滑片不能飞出 解体取出锈斑，烘干滑片

过滤器箱消音箱或配管有漏气现象 将各部分重新调整后使之密封

皮带松弛打滑或连轴节、皮带轮固定螺栓松动 重新调整皮带张力或紧固螺栓

因电机故障转数不够 维修或更换电机

真空压力表故障 更换表计

有异常声音及表计指针数字不稳 因真空度或排气压力调整过高 吸气排气压力恢复到正常值

联轴节偏离轴心 调整同心度

各部位紧固螺栓松动 重新紧固

泵体进入油分，滑片不能飞出 清除油分

吸入杂质，滑片破碎 清除异物，更换滑片

过滤芯阻塞使空气不能吸入 清理过滤芯或更换

电机发出异常音 检测电机电流和电压

气泵运转停止 混入异物，滑片被打碎 除去异物，更换滑片

电机故障 维修或更换

转子与气缸偏心间隙过小 用砂纸打磨后重新调整

无油气泵是指气泵的活塞和气缸之间无润滑油，活塞环是特殊材料，一般用来泵送清洁的特殊气体 ，比如液化气，天燃气等。

无油气泵工作原理：

1、通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。

2、依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。三是低温泵，在接近绝对零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。

无油气泵最大的优点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喷油，没有油蒸汽从泵口排出，不污染环境。

属于环保类产品，因此发展前景很好，被称为二十一世纪“绿色真空泵”。无油真空泵又称干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。

扩展资料：

无油真空泵日常使用和维护时，需要注意以下事项：

1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。

2、无灰尘及脏物的清洁场所。

3、无水、油等液体会降落到泵上。

4、不直接暴露在阳光里。

5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。

6、泵必须安装在平坦的平面上。

7、最好将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。

螺杆式无油干式机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。泵是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接。该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵维修也便利。这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。

适合搭配无油真空泵的实验室仪器设备有：

1.实验室各种液体抽吸：主要包括培养基的废液抽吸、离心管上清液抽吸以及其他试验后残液的抽吸。这些用途应绝对避免泵油或水源倒吸，其中培养基废液吸取是在洁净室内操作更需要无污染的产品。所以采用无油原理设计的普诺克无油泵就是最佳选择。

2.真空干燥箱（或小型真空干燥器）：一般小型的真空干燥器容积都比较小，只是进行见到的脱水、干燥操作，可以使用隔膜真空泵搭配，机器小巧可以方便放于桌面，插电可用。

3.真空过滤（减压抽滤）：真空抽滤是需要将抽滤瓶内抽成真空状态，形成内外压差，从而使大气压推动滤液压过滤膜。通常来说真空过滤对于抽速和真空度要求并不高，无油式设计的真空泵可以完全满足。

4.搭配其他仪器设备作为气源：这一类应用情况更加多样，而且由于需要搭配其他设备，如果使用油泵或水泵可能对配套设备产生影响，一般建议使用隔膜真空泵或无油泵配套。