爱德华真空泵漏油怎么维修

爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵，也叫罗茨泵，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

工作原理：

罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。

靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。

罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。

它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。

罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

一般的泵的说明书上都有推荐的专用泵油，那个是最合适的。没有的话，可以咨询厂家。对于普通的机械真空泵，油的选择是普通的真空泵油。 还有就是有的泵油型号变了。

在代用油品或混用油品时应遵守下列原则，谨慎选用:

1、真空泵油的代用原则

1. 尽量用同一类真空泵油或性能相近、添加剂类型相似的泵油代用。

2. 粘度要相当，代用的真空泵油的粘度以不超过原用油粘度±25%为宜。一般情况，应优先考虑粘度稍大的泵油进行代用。

3. 质量以高代低，即选用质量高一档的真空泵油代用，这样对设备润滑比较可靠。同时，还可延长使用期，经济上也合算。

真空泵油是真空泵专用的特种润滑油，一般分矿物油和合成油两种。对于真空泵加什么油，不少人都很疑惑。不同型号的泵需要的油也不相同，下面，世界工厂泵阀网来详细介绍不同型号的真空泵加什么油。

2XZ-2型旋片试真空泵旋片泵用N100号真空泵油，高速直联旋片泵用油GS-1，2XZ-4型旋片真空泵用N100号真空泵油，2xz-4c 真空泵一般使用国产的68#真空泵油或德国莱宝真空泵油JS77系列。 既然是真空泵的专用油，真空泵油和一般机油有很大差别。

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。

四级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对共轭啮合，做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。

爱德华真空泵的使用和维护概述：真空泵是一种可变容积气体传输真空泵，工作压力范围为1.33x10-2~105帕。它可以单独使用或作为其它高真空泵的前级泵来泵出密封容器中的干燥气体，但是它不适合于泵出具有高氧含量、对金属的腐蚀性、与泵油的反应以及颗粒灰尘的气体。有两种类型：单级和双级。

该结构包括滤网、进气管、压板、排气阀片、旋转片、弹簧、转子、放油塞、油标、排气口、皮带轮、轴端密封和级间排气通道。它具有结构简单、运行可靠的特点，应用广泛。

一、爱德华真空泵工作原理和结构特点

1、工作原理：它是一种容积可变的真空泵，依靠插入偏心轮转子中的几个旋转板，可以滑动进出，隔离、压缩和排出泵体内的气体。

2、结构特点：该结构可分为两类：油封式和油浸式。泵体结构有三种类型：整体式、中壁压入式和组合式。转子结构有三种类型：整体式、压缩套筒式和转子盘式。排气阀是旋转叶片泵的主要易损部件之一，它影响泵的泵送性能并产生噪声。有两种形式：一是用橡胶垫作为阀板另一种是用布酚醛压板或弹簧钢片作为阀板，排气阀必须浸在泵油中。

爱德华真空泵的结构和维修知识

气镇阀：真空泵设计用于泵出可冷凝气体，由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时，止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油，改善泵的润滑条件，扩大泵的应用范围，旋转叶片泵还配有许多附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等。

爱德华真空泵常见故障与消除方法：

1、真空度低：(1)油量不足。加油。

(2)泵油不清洁，乳化了。开气镇阀，换新油。

(3)泵油牌号不对。换油

(4)进油孔堵塞。清理进油孔，调节油量。

(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处，更换密封圈。

(6)排气阀片损坏。换新阀。

(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。

(8)泵温升高，油的粘度过低。加大冷却水量。

(9)泵油气体温度过高。加气冷装置。

(10)端盖螺钉松紧不一，造成转子轴芯偏移。拆开重装。

(11)旋片弹簧断裂。换新弹簧。

(12)进气管过滤网堵塞。清洗。

(13)气镇阀未关好/损坏。关闭/修理。

(14)泵轮键断裂，轮空转。换键。

2、卡泵：

(1)端面间隙过小，泵油温升过高。研磨旋片，调整间隙。

(2)泵内进入杂物。清理。

(3)泵温升高。加强水冷。

(4)转子断裂。拆泵更换。

(5)泵腔生锈。洗锈。

3、噪声大：

(1)旋片弹簧断裂。换弹簧。

(2)装配零件松动。重装。

(3)零件有毛刺，装配有变形。重装、修磨、换件。

(4)电机轴无油。加润滑油。

4、漏油：

(1)轴孔、端盖、油标、油箱等部位密封件损坏或没压紧。换密封件，拧紧螺钉。

(2)油箱有漏孔。堵好漏孔。

5.启动困难：

(1)油温过低。加热到15℃以上。

(2)泵内润滑不好。调节油量。

(3)泵腔内未放气，大量油进入泵腔。停泵时放气。

6、喷油：

(1)系统突然暴露大气。关低真空阀，继续开阀。

(2)油量过多。调节油量。

(3)转子旋转方向反了。重接电源，换向。

7、不抽气：

(1)泵轮键断裂，转子不转。换新键。

(2)双级甏转子十字接头断了，高真空级不转。更换。

(3)没打开进气口阀。打开阀。

(4)排气阀片碎了。更换。

爱德华真空泵的维护很简单，节能控制意味着可以极大地延长大修保养间隔时间。如果您忘记了保养，直观的 Airlogic 集成界面会监控性能并在需要保养时进行提醒。智能设计极易维护和操作，缩短了执行全面检查和常规保养的时间。经常关注系统的保养需求可极大地延长大修间隔时段，并确保清洁高效运行。为保持佳性能，建议您始终使用原装 Edwards 零件。为此可提供品种齐全的备件和润滑油

自带。

爱德华真空泵自带气震器，真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。