无油干式机械真空泵的原理及简介
无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
上海知信循环水式真空泵7大特点
1、节水效果明显。由于采用水循环作业，加入水箱内的水可循环使用，克服了那种用直接冲放自来水方法获取真空时大量浪费水的现象。经实测，以一个工作日连续作业计算，在达到同样真空度的条件下，使用本产品可节水10吨以上，而且，一次加水，可长期使用，这在水源缺乏或水压不足的实验室尤其适用。
2、多功能综合作用。上海知信循环水式真空泵除可以提供真空条件外，还可同时进行外循环作业，为反应装置提供循环冷却水。循环水式真空泵与自来水源连接，通过适量补充注水源，可以在较长时间连续作业情况下，保持真空循环水温度和水质不变，既可确保真空度下降，又能实现循环冷却水的供应。
3、造型新颖，使用方便。上海知信循环水式真空泵泵头直接浸入水中，整机高度较低、体积小、重量轻、移动方便、可置于工作台上，便于操作观察，水箱上盖为活式安装，可以打开，便于加水和检修。
4、上海知信循环水式真空泵安装了两个抽气嘴，可单独或同时抽气作业。每个抽气嘴各装一个真空表，可以方便地观察真空度，抽气管路上装有止回阀，可防止抽真空作业意外停机时，循环水回流到被抽真空的设备中去。
5、耐腐蚀、无污染。循环水式真空泵水泵部件采用不锈钢，不受酸碱等腐蚀物的影响；同时不产生任何污染实验室的油污、杂质等。
6、上海知信循环水式真空泵工作稳定可靠，噪音低。
7、上海知信循环水式真空泵的Ⅲ真空泵，主要部件全部采用不锈钢材质，水箱采用新研制的一种透明水箱，可满足有机溶煤（丙酮、乙醚、氯仿）的溶解和腐蚀的损害。
上海知信循环水真空泵
真空泵碳片是真空泵获得真空的主要部件。缺损、碎裂都会影像与缸体间的密封性和贴合度。缺损的太大，一定会影像真空度和抽速。建议及时更换，避免因碳片受离心力的影像在缸体内跳动，时间长后容易磨缸或卡死。
当碎裂的碳片未及时清理出来，随碳片的转动，容易填充进转子与缸体间的间隙，导致卡死。
卡死后未及时停机，有可能导致电机过载，烧电机。
一般真空泵碳片卡死或磨损后直接更换的。受材质影像，部分国产劣质碳片使用寿命短、易磨损、粉尘量大。
想了解真空泵碳精片的安装、故障分析、使用方法、保存方法、规格尺寸相关信息，可以百度一下“真空泵碳精片常见故障及其检测，和操作不当出现的情况分析”。
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真空泵在工作时，需要注意以下两个方面：
1、尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。
根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上，可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。
如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。
如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，水环泵的使用寿命较长。
