水环真空泵如何正确的开泵操作

随着螺杆真空泵在不同领域的广泛应用，取得了良好的反应和客户的认可。但发现操作工人在具体使用中存在很多不规范的地方，这无形中给螺杆真空泵及带罗茨泵的螺杆真空泵造成了间接的不良影响，甚至留下了安全隐患。

现在特地把雅之雷德螺杆真空泵的操作顺序以及注意事项整理好，给广大正在使用和准备使用好凯德干式螺杆真空泵的客户提供方便。

  好凯德螺杆真空泵操作方法

（一）好凯德螺杆真空泵开机前的检查与准备

1、检查真空泵各个部件是否齐全；

2、在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；

3、检查确认真空机组各个阀门的状态；

（1）工艺入口阀关闭

（2）入口过滤器排污阀关闭

（3）出口管线畅通，出口管排污阀打开

（4）冷却水入口管线和出口管线阀门打开

（5）氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭

（二）好凯德螺杆真空泵的开机操作步骤

1、现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；

2、关闭出口管排污阀；

3、检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5——3L/min；

4、打开吹扫阀，确认流量计流量调至最大，吹扫5——10分钟后，关闭吹扫阀；

5、打开工艺入口阀，切入系统；

6、真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量最大，位于5刻度时水量最小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。

（三）好凯德螺杆真空泵的停机操作步骤

1、关闭工艺入口阀，切出系统；

2、打开吹扫阀，吹扫20——40分钟后，关闭吹扫阀；

3、通过现场操作柱停止按钮停机；

4、关闭氮气阀门；

5、关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；

6、打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。

雅之雷德温馨提示：各个流程的非常重要，请广大客户可以严格按照使用说明来操作，以此达到最佳的使用状态！

②开冷却水，检查往复式真空泵气缸夹套冷却水是否通畅.

③检查真空表是否灵敏或失灵。

④开车前先试车，检查机件是否有故障。

⑤气体在吸入真空泵之前，须经过缓冲罐，以分离其中的灰尘、油或液滴。对腐蚀性气体应

该用酸或碱分别对气体进行过滤、洗涤等处理，并应经常检查酸、碱液是否失效。

⑥在使用过程中，如发现真空度降低，应检查真空系统是否漏气，是否有不应打开的阀门忘记关闭。

⑦如抽取水蒸气，从减压蒸馏、减压蒸发等设备出来的水蒸气，应先将气体通过冷凝器，使

其中部分水蒸气冷凝下来，只让不冷凝的气体进入真空泵内。

⑧停机后，关冷却水阀，放缓冲罐存水。缓冲罐一般放在室内，避免发生冬季存水冻结现象。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

1、开车前先向泵内注水或用真空泵引水。

2、关闭吐出管上的阀及压力表旋塞。

3、启动电机，打开压力表旋塞。

4、当水泵以正常转速运转时，压力表显示适当压力，然后打开真空表旋塞并逐渐打开排水管路上的闸阀，直至

达到规定的雨衣力及真空度。

5、水泵停用时先要慢慢关闭排水管路上的闸阀、关闭真空表旋塞，并停止电机，然后关闭压力表旋塞。

6、如长期停用水泵，应拆卸泵体将泵零件的水擦拭干，并在滑动面上涂上以防锈油妥善保存。

7、水泵运转时应经常检查水泵及电机轴承温度，不得超过外界温度35℃，其极限温度不得大于75℃。

8、在轴承体内时常驻要注意加油。

9、随时调整填料压盖的松紧程度，正常漏水以点滴为宜。

10、运转过程中如发生噪音或异常的声音时，应立即停车检查。

1 岗位职责和任务

1.1 严格按照本规程所规定的程序、指标进行开、停车操作调节控制。

1.2 加强设备维护保养,杜绝物料跑、冒、滴、漏,保护环境,做到安全文明生产。

2 工艺流程简述

3 工艺操作规程

3.1 开车前的检查准备工作

3.1.1 准备运行设备时首先检查各设备的放空阀门是否关闭,确认放空阀门关闭。

3.1.2检查系统保压情况,确保系统各法兰无漏现象,关闭设备所有的放空阀门,开启真空泵,待系统内真空度抽到-0.085Mpa~ -0.098Mpa时,停止抽真空,关闭真空泵进口阀门,保压10小时,真空下降不超过0.005Mpa,则系统保压情况良好。

3.1.3 检查系统所有管线、阀门、疏水器及压力表、温度计是否处于完好正常状态。

3.1.4 启动各类泵时首先检查冷却循环水是否打开,确保冷却循环水正常循环。

3.1.5 检查晶浆罐底部阀门是否关闭。

3.1.6.检查自动离心机所属管道是否清洁,机内无异物。

3.2系统开车及正常运行

3.2.1打开所有泵类冷却水

3.2.2开启系统真空泵

3.2.3先抽浆膜蒸发器的真空,抽完之后打开工质罐的阀门,让氟利昂充满降膜蒸发器。之后关闭抽降膜蒸发器的真空阀门,打开系统的真空阀门。

3.2.4待系统的真空抽到-0.098~-0.094Mpa之后打开进料阀门,启动原料液泵开始进料。(注:物料温度需在℃之间,真空泵不停,如果抽到极限可以稍微打开一点真空泵上方一只手动排空阀门进行调整)

3.2.5 结晶器液位显示到结晶器视镜一半时启动循环泵,循环泵频率调至30~50Hz,之后再启动过料泵。(注:结晶器液位不得低于视镜一半)

3.2.6工质罐的氟利昂通过压差原理进入到2楼的板式换热器(其目的保证进入降膜蒸发器的氟利昂为液态),进入到降膜蒸发器,降膜蒸发器里面的液位由气动调节阀连锁控制(如果开机期间调节阀无法正常的工作,也可以人工通过降膜蒸发器底部的球阀进行手动控制)。结晶器上端出气口通过压差原理使得热的水蒸气进入到降膜蒸发器的外层与管路中的氟利昂进行换热,冷却下来的水进入冷凝水罐,然后通过冷凝液泵排出。降膜蒸发器管路中的氟利昂由于换热的原因,一部分会气化,气化的部分压缩机抽过去进行压缩,变成高温的气态氟利昂对系统的换热器里面的物料进行换热(压缩机出口的氟利昂温度由板式换热器和喷淋进行调节),换热后的氟利昂变成液态流入工

质罐中。降膜蒸发器里面的

1、手动：手动蝶阀处于开启状态，首先启动水环真空泵，系统真空度达到后，启动罗茨泵，机组正常运转；停车时先停罗茨泵，然后关闭水环真空泵的进水阀门，待水环真空泵运转5S后，再停水环真空泵。

2、手动蝶阀处于开启状态，首先启动水环真空泵，系统真空度达到后，压力变送器给出信号启动罗茨泵，转换开关至中间位置停罗茨泵，再手动停水环真空泵。

3、停车前应关闭罗茨泵的冷却水进水阀门及水环泵进水阀门，手动操作时可随时停机；自动操作时，当系统达到所需工作压力时可通过压力变送器的信号控制罗茨泵的停止。

4、水环真空泵供水量的大小，由供水管路上的阀门来调整。汽水分离器设置溢流口，位置与水环泵正常工作液位相平，避免因泵腔内充满工作液，启动泵造成叶片与泵轴断裂。