爱德华真空泵维修无法启动怎么办

爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵，也叫罗茨泵，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

工作原理：

罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。

靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。

罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。

它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。

罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。

如果真空泵泵油漏的厉害，就需要更换真空泵的油封,密封件。

密封件老化了,起不到密封的效果,产生了漏油

2.排气过滤器失效了,起不到排除油气分离的作用

3.真空泵的回油管是不是堵上了这种情况伴随的还会出现噪音异常,真空度达不到原来的水平

4.真空泵油是不是乳化了,这种也会出现噪音增大的情况

以上真空泵出现的问题解决办法是:

更换密封件,排气过滤器,疏通回油管,检查真空泵油的颜色,如果颜色呈黑色或者其他不纯净的颜色都应该换油了.

以上问题都还解决不了爱德华真空泵维修漏油的问题,就应该找正规的维修真空泵的厂家为您服务了,您可以在网上搜一下(苏州美欧),专业维修普旭,莱宝,爱德华,阿尔卡特等进口真空泵的,技术挺不错的.

首先真空泵本身，真空泵有很多种，主要分为高中低真空泵：低真空的泵国产比较多，除了一些要求无油润滑的真空泵，用的进口比较多。这类的泵爱德华比较多。中真空比较多的是罗茨泵，罗茨泵国内和进口都有，国内基础的也做得也还好。高真空泵是一些专业真空设备的核心组件之一，主要分为扩散泵、复合分子泵、低温泵等。

扩散泵就是一个喷泉，利用热油喷射带走气体。现在国产的扩散泵比较多也比较好用。

复合分子泵是唯一一种可以达到高真空的机械泵。主要利用高速旋转的叶轮将分子单向排出。国产的以泰岳恒等牌子为主，但是好一点的都是用莱宝的。

低温泵是通过极低温（一般为10K以下），捕捉分子，让分子不在真空室内自由移动。这种泵好像还是莱宝用的多。

我们厂当时主要是买泵装配卖成套设备的。所以独立的泵方面只做过扩散泵。主要是泵壳成型焊接，泵芯制作，盘管（夹套）制作，底座加工，全套组装，加油，上电测试等，具体真空泵都有自己的特点。

给你个建议吧，真空泵厂家都有自己的产品资料，去官网看看吧，产品选型手册很厚一本的，只是很多产品和国内比性价比不高，国内不常用罢了。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）