真空泵应用设备名称
序号
名称
应用情况
典型设备
真空度（托）
应用实例
1
宇航环境的模拟
宇航的轨道环境基本上是真空环境，
飞行器在发射之前必须在地面进行空间环境的模拟试验。各种大小不同的模拟器都是真空设备。包括卫星、飞船的热真空模拟、材料的评价以及推进器试验、载人摸拟试验等。综合运用真空获得、测试、检漏、工艺等技术。在地面复现空间环境，评价飞行器，发现和排除故障，提高可靠性。
机械泵
分子泵
低温泵
10-2~10-14
最大宇航环境摸拟设备的容器有1000立方米。
2
加速器技术
带电粒子在加速场条件下被加速。必
须使加速管从离子源到靶室全处于高真空和超高真空条件下。以减少带电粒子与气分子发生碰撞而散射损失其能量。因而，加速器必备真空系统。在真空获得和测量、检漏等技术上都有其特珠要求。
钛泵
低温泵
10-11~10-12
美国已有300直径的不锈钢电子回旋加速器
3
可控热核应用技术
是在有效空间中人为地控制发生热核反应的一种设备、它是高真空、高温技术及电磁技术的结合
机械泵
扩散泵
加冷阱
10-2~10-10
4
真空输送
空气和粒状物料在真空的抽吸作用下一起流动，至限定地点后经离心器将物料和空气分离、真空输送、如谷物、煤粉、烟草，水泥、粉状食品等
真空输送吸入压力通常300~500托或600~700托。前者混合比(被输送材料的重是和空气重量的比例)可达20,输送距离达400~500米。输送能力达200吨/小时后者棍合比达3~5，输送距离不大于30米，输送能力3~10吨/小时，通常混合比多为l~10。真空输送亦可用于某些液态物质的输送
涡轮鼓风机
水环泵（水蒸汽喷射泵）
300~700
(1)在电解铅的生
产中应用真空输送
将电解槽内的铅水
送至铅水包内，采
用的真空泵为2台
SZ~3水环泵
(2)在化工、烟草、
味精工业中亦已获
得应用
5
真空过滤
真空过滤机的过滤滚筒在360度区间内运动，180度区间内为真空吸料过滤，90度区间为真空吸水干燥，90度区间为充气排料，从而在整个360度区间内进行连连续生产。
真空过滤可用以获取混合液中的固状物料或用于滤清，前者如矿山或煤碳工业的洗选等
稀有金属“镍"的生产过程亦采用了
真空过滤、真空输送等工艺
水环泵
水蒸汽喷射泵
50~100
(1)有色金属冶炼的氧化铝采用真空过滤提取AI(OH)3.
(2)某钢厂用5台Sz-3水环泵配真空过滤机进行污
水净化处理，净化后作循环水使用.
(3)某选矿厂真空过滤机配1500公斤/小时(100托)
水蒸汽喷射泵，使用效果良好。
6
真空干燥
真空干燥通常指从固体材料中(亦有
液态材料)去除水分或有机溶剂等挥发性
成分，气相中压力低于100托.特别是压
力低于10托时，真空对干燥过程将起显著的影响.真空干燥的特点是在较低的温度下可获得很高的干燥速度，因此特别适合于不宜升温的材料或很难干燥的材料.通常，在进行真空干燥的过程中应供给适当的汽化潜热。
机械泵
水蒸汽喷射泵
几托~几十托
在电气工业中,绝缘纸电缆的真空干燥，合成纤
维工业中锦纶、涤纶生产的切片干燥。食品工业中乳品，茶精、肉类等的真空干燥.其他如在医药、农药、染料等工业中皆有广
泛的应用。
7
真空蒸馏
真空蒸馏的目的是使物质分离精制，
真空蒸馏在石油和化工工业中应用极广，
例如，各种有机油类的蒸馏、可塑剂工业
中磷酸三酯和磷苯二甲酸二丁酯的蒸馏、
合成树脂原料、各种高级酒精、高级脂肪
酸的真空蒸馏等，药品工业中维生素A、
维生素E和苯乙稀的真空蒸馏。香料工业的香乙醇、高级乙醇脂的蒸馏。油脂工业的精制、食品工业中的制酒、香精的蒸馏等。
往复式真空泵
水环式真空泵
旋片式机械泵
760~10
(1)某厂番茄浓缩用水蒸汽喷射系泵(抽气量35公斤/小时)一台，真空度30托，使用效果良好.蕃茄产量提高将近一倍，(2)年产15万吨的真空制盐设备与平锅制盐相比，燃料节约40%。
8
真空制盐
在真空度为50-100托除尽水或可挥
发成分，得到精制盐
滑阀式真空泵
水蒸汽喷射泵
几百托~十几托
某盐厂,真空
制盐（与锅制盐相
比)燃料消耗减少
三分之二，劳动生
产率提高了四倍，
成本减少44%
9
真空浓缩
在食品工业中的应用，如各种果汁、
果酱、蛋品、乳制品(炼乳、奶粉)、水
果糖等.又如化工染料的浓缩、制酸，制
碱，以及造纸工业中纸浆的浓缩等
10
真空除臭
主要用于油脂工业中粗油脂的精制，
在去除油脂中固有的臭气或因气化、分解
所生成的有臭物质的同时也进行真空脱色，以保证油脂制品的质量和色泽
11
真空结晶
真空浓缩和结晶通常在数个“蒸汽罐”内进行，称多效蒸发罐(例如制盐、制糖的真空浓缩结晶常采用4效或5效蒸发罐)。用真空泵在诸罐内造成不同程度的真空:第一效蒸发罐内的压力(或被浓缩结晶液的沸点)高于第二效蒸发罐内的压力(或沸点〕，则第一效蒸发罐内排出的二次蒸气可作为第二效蒸发罐的加热蒸汽，以此类推.因此，真空依缩结晶与常压下的加热结晶相比可大大提高燃料的利用效率。真空浓缩结晶更易于实现机械化、自动化。更利于副产品的综合利用，因此能有效地降低成本，大大提高劳动生产率和综合利用率
12
冷冻干燥
冷冻干燥或称升华干燥.首先将被处理的湿润材料冷却.使其中水分或其他煤质处于冷冻状态.然后迅速置于真空下使其直接从固态升华而获得干燥制品，冷冻干燥的应用:生物材料的脱水生物组织研究中各器官和组织切片的冷冻干燥移植用组织的保存细菌，抗生素、病毒、疫苗经冷冻干燥后，再溶性好血浆、血清、培养液等经冷冻干燥保存期长，组
织成分不变，再溶性良好冷冻干燥工艺在食品工业中也获得迅速发展，大乡数食品(例如肉类、水产、粮食、乳类、水果、蛋类和饮料等)都可以加工成冷冻干燥产品，其独特的优点是食品的营养成分和色、香、味被最大限度的保存下来，而且重量轻、体积小、保藏期长复水率可达9o%以上
罗茨增压泵+机械泵
油扩散泵+机械泵
水蒸汽喷射泵
1~10-3
某罐头食品厂2吨真空冷冻干燥设备用水蒸汽喷射泵(60托)代替罗茨真空泵-机械泵机组，大幅度降低冷冻干燥产品成本
13
真空浸渍
将浸渍剂浸入被浸渍物质(常是多孔性物
质)中去，以提高被浸渍物品的性能.在真空条件下(或先抽真空然后加工)一定粘度的浸渍剂更容易均匀地充满被浸渍物品的微小孔隙，因而产品性能更好。真空浸渍在电气绝缘工业中获得广泛的应用。如将绝缘材料浸入纤维性材料中去，可大大提高其绝缘性能和使用寿命
旋片泵
滑阀泵（水蒸汽喷射泵）
＜5
＜1
几托~几十托
各电机厂、绝缘材料厂、碳素厂，国内某耐火材料厂在生产钢水包的“
滑动水口”新产品时，成功地采用了真空浸渍技术，水口两配合滑动面大
于8以上，从而解决了钢水泄漏问题
14
真空调湿
自然纤维(如丝)、人造纤维、烟草、纸张等产品需调整其水份含量(主要是增加其水份)，使其含水量均匀和恒定。1,通入水蒸汽2。将热水通过分离器注入3.将蒸汽和水混合并通过分离器注入.丝的调湿通常在注入水或蒸汽后需再次进行真空干燥、冷却、以便调湿均匀与适度
水环式真空泵
蒸汽喷射泵+水环式真空泵
水蒸汽喷射泵
1~20
目前我们烟草工业中，烟草的真空回潮多采用水环式真空泵（SZ-3）。缺点是真空度低，回潮周期在合适的回潮温度下，不易回透，如提高回潮温度，则又会破坏烟叶质量。某烟厂改用水蒸汽喷射泵。提高了处理真空度，改善了回潮质量。
15
真空渗铬
铬在汽化温度(917℃)以上真空度10-2托下产生较大的蒸汽压力、铬蒸汽原子向钢铁表面沉积并进行热扩散，从而表面生成一层牢固的铬铁合金，它具有抗高温氧化、耐腐蚀等性能。真空渗铬是提高零件寿命、节约金属元素的有效途径之一。
旋片泵
滑阀泵
水蒸汽喷射泵
≤10-2
国内有些工厂已成功使用
16
真空热处理
在大气中的热处理，金属加热表面会受到氧、水蒸汽等的氧化而生成氧化物.采用高纯度的隋性气体作为保护气氛，成本很高.真空不但是一种“廉价的”隋性气氛，而且在真空条件下还可去除金属表面原有的氧化物，处理后很少发生变形，从而使加工余量减至最小甚至处理后根本无需加工.由于真空的脱气效果可提高产品的强度和耐磨性，真空热处理工序
稳定，热处理炉几乎可以全部自动化，同时它还是一种安全、无烟、无臭的工艺过程，目前真空热处理的实际应用还仅限于高级工具钢和待殊钢(如高合金钢和高速钢)，特别是形状复杂，处理后无需研磨的制品
机械泵+扩散泵
水蒸汽喷射泵
10-1~10-3〕托先高真空后经常在0.1托左右压力下加热，以免Cr,Mo等高蒸汽压合
金挥发损失
日本对SKH，冷锻用冲模进行盐俗热处理，加工余量为0.15-0.3毫米，处理后再进行研磨、抛光
加工.但改用真空热理处后，加工余量仅为0.08毫米。日本过去用盐浴热处理SKD11冷锻模具钢(生产不锈钢螺钉)模具平均成形总数约2~2.5万件，改真空热处理后，模具在处理
后不必加工即直接使用，模具使用寿命延长3-4倍
17
真空离子氮化
离子氮化是把待处理的工件放在真空容器内.然后充入含氮的气体.通入直流高压电后，使工件表面层轰击渗入氮原子，并形成氮化层的，表面热}Lm的断方法，它具有氮化时间短，变形小，耐磨、耐脆，省氨、省电，改善劳动条件，实现无公害等优点，是一种很有前途的表面热处理的新方法
旋片泵+机械泵
1~10
18
真空制冷
水在不同的压力下有不同的沸点，而在沸点温度时,水变成同温度的蒸汽就需要吸收大盆的汽化热，将常温的水导入低压容器，则水温最终将降至该压力下所对应的沸腾温度
机械泵
水蒸汽喷射泵
4~20
国内已多有应用
19
真空处理
冶金工业中的钢液真空处理至今已有十几种形式，特点是处理批量大、时间短、成本低，钢液质量高，主要是去除钢中气体和部分夹渣，使其含量大大减少.钢液经真空处理进行脱氧，脱氧产物或金属氧化物以气态自钢中逸出.因而处理后钢的纯净度可接近或达到真空感应炉的水平。处理中还可加入大量合金元素，以提高钢的性能。
水蒸汽喷射泵
机械泵+罗茨泵
1~0.1
我国1956年扮抚顺钢厂就有20吨真空处理设备。继有鞍钢建成100吨
D-H真空处理装置。上海重机厂亦有100吨R-H真
空处理装置、西德，日本都有500吨并带等离子加热的真空处理装置
20
真空烧结
在真空条件下，对粉末状金属或氧化物加
温，加压成形(或不加压)进行烧结.其温度
低于熔化温度，高于1ooo℃，尤其适用于高熔点的金属或氧化物制品.真空烧结不氧化、不脱碳、组织致密、质量好。所需真空度:纯铁0.1-0.01托不锈钢0.01托；铝镶钴合金、磁铁0.1-0.01托；WC、Tic、Ti、Cr及以其为基体的硬质合金0.05-0.1托。亦有需要10-5~10-8托高真空烧结的.
水蒸汽喷射泵
机械泵
增压泵
扩散泵
1~10-2
用于提高碳化钦基钢结构硬质合金的质量，微碳铬铁的真空烧结，提高性能
21
真空熔炼
金属通过真空冶炼、烧结、热处理等工艺过程都能提高质量和性能，真空冶金有独特的优点:①使金属及合金中的气体与夹杂含量大大减少，提高性能.②可准确控制化学成分，使合金性能稳定。③提高致密性、均匀性和可塑性，消除钢锭白点、偏析、发裂 ④可熔炼大气中不能熔铸的钦、锆、铀等金属,真空广泛应用于不锈钢、电工钢、轴承钢、高温合金、难熔金属的熔炼和铸造
水蒸汽喷射泵
旋片泵
滑阀泵
增压泵
扩散泵
1~10-5
我国已有几吨的真空感应炉、自耗护，200 - 600千瓦电子轰击炉等冶金设备，国外已有250吨真空电孤方电弧炉，美国有12000千瓦电子轰击炉
22
真空镀膜
在真空中将固体(基体)表面淀积上金属
或非金属（半导体、介质）薄膜的技术。广泛应用在无线电工业(集成电路、电阻、电容)，电真空工业(摄象管的靶、显像管)，光学工业(天文反射镜)及原子工业和字航技术中，轻纺工业中的金丝银线、塑料金属化、商标包装用薄膜、制镜等也都采用真空镀膜技术
旋片泵、增压泵、罗茨泵、扩散泵、离子泵、升华泵
10-2~3*10-9
我国各真空设备厂都有各自系列的真空镀膜机.如蒸发、溅射和离子镀膜机等.实例有滤光膜、激光膜、分光膜、冷光膜、增透膜、磁性膜‘超导膜和以铝代银的镀铝镜等
23
低温绝热
中真空(>l0-3托)绝热已有广泛的应用，如低温液化设备、低温贮运设备、低温模拟试验和超导磁场的保温等
旋片式真空泵、增压泵、扩散泵
10-3~10-5
某厂20m3真空粉末绝热器蒸发率每天0.5%，还有液氨容器等
24
石油工业
从油田开采的油井除气、注水脱氧、贮运
排气到炼油厂的减压蒸馏、石油产品精制以及润滑脂的脱水脱气、真空过滤等都多有应用
往复泵
旋片泵
水环泵
蒸汽喷射泵
10~700
减压蒸馏-每个炼油厂都有各套以上的装置，各种
真空过滤脱气低温装置，已都普遍建成
25
其他
真空的应用范围极为广泛。除上述主要方面以外，还有很多方面都有其具体的应用。如真空包装、真空机械手、真空贮存、农林业中粮食种子树种的真空贮存、电瓷陶瓷和土木建筑中
真空炼泥、真空吸附，水泥石棉制品脱水、铸造生产中的真空负压造型、真空压铸等
详细资料你可以参考下！
原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。
1，真空发生器
真空发生器又叫文丘里管，是利用正压气源产生负压的一种器件，常和真空吸盘配合，用作物料的吸附，搬运。
其形成真空的原理是，当气流有粗变细而导致流速变大后，在气流的侧后方会形成“真空区”，当该真空区靠近物料时，就会对物料有吸附作用。其特点是结构简单，易于实现，缺点是形成的真空负压不大，比较好的真空负压能到几百Pa，主要应用在吸取样片，或者生活中常见的前面粉刷用的颜料喷涂等，用的就是这个原理。
真空发生器的结构及真空形成机理如下图所示。
2，真空泵
真空泵是利用机械，物理或者化学的方法对被抽容器进行抽气获得真空的器件或者设备。通俗的说，就是使用各种方法对某一封闭的空间产生，改善和维持真空的装置。
分类：根据其原理可以分为两种类型，气体输送泵和气体捕集泵。再往下细分，又可以分为多种，见下图。
2.1 气体输送泵
又叫气体容积式泵，通过密闭在泵腔内 容积的变化导致压强的变化 ，进而实现气体的输送（压强大的区域向压强小的区域输送气体）。
个人的理解，就像是生活中常见的打气筒。打气筒手柄上提的过程中，气筒内部的容积变大，压强减小，比大气压小，而此刻气筒外部的大气压是高于气筒内部，此时，大气会流向气筒内部，这样就是容积的扩大实现的了吸气；而手柄下压的过程，就是容积减小，相对于气筒外部是高于大气压，继而，气筒内部的气体输送到气筒外部，实现了排气。
2.2 气体捕集泵
气体捕集泵是通过合适的温度将气体冷凝到活性衬底上，比如活性炭。
3 真空泵的厂家
国内：中科科仪，沈阳科仪，北仪优成等。
国外：EDWARDS, ULVAC,AGILENT,PFEIFFER等。
也有的是真空泵单独使用的，目的是利用真空 将一些液固混合物抽出来，作用相当于离心泵，但是使用起来更方便一些，因为吸入管采用耐吸引软管，可以方便随处移动。这个在铅 锌冶炼行业应用比较多，一般都是用真空泵抽出电解槽内的阳极泥。
无锡华泵真空泵设备厂是2005-06-20在江苏省无锡市锡山区注册成立的个人独资企业，注册地址位于无锡市锡山区东亭镇春杨路春象工业园内。
无锡华泵真空泵设备厂的统一社会信用代码/注册号是91320205775428571R，企业法人陈刚，目前企业处于开业状态。
无锡华泵真空泵设备厂的经营范围是：真空泵制造、加工；五金加工；机电设备的销售、安装、调试；金属材料、化工原料（不含危险品）、建筑材料的销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。在江苏省，相近经营范围的公司总注册资本为15869万元，主要资本集中在 100-1000万 和 1000-5000万 规模的企业中，共43家。本省范围内，当前企业的注册资本属于良好。
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1.实验室各种液体抽吸：主要包括培养基的废液抽吸、离心管上清液抽吸以及其他试验后残液的抽吸。这些用途应绝对避免泵油或水源倒吸，其中培养基废液吸取是在洁净室内操作更需要无污染的产品。所以采用无油原理设计的普诺克无油泵就是最佳选择。
2.真空干燥箱（或小型真空干燥器）：一般小型的真空干燥器容积都比较小，只是进行见到的脱水、干燥操作，可以使用隔膜真空泵搭配，机器小巧可以方便放于桌面，插电可用。
3.真空过滤（减压抽滤）：真空抽滤是需要将抽滤瓶内抽成真空状态，形成内外压差，从而使大气压推动滤液压过滤膜。通常来说真空过滤对于抽速和真空度要求并不高，无油式设计的真空泵可以完全满足。
4.搭配其他仪器设备作为气源：这一类应用情况更加多样，而且由于需要搭配其他设备，如果使用油泵或水泵可能对配套设备产生影响，一般建议使用隔膜真空泵或无油泵配套。
经查阅化工仪器网，真空泵也可作为增压泵，因此是加压设备。
真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。它可单独作用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵，维持泵，钛泵的预抽泵用。
1、被抽介质中含有未被冷凝的蒸汽，而蒸汽对需要润滑油的机械泵会造成损坏，对水环泵则不会。
2、浓缩器要求真空度一般在-0.095~-0.088Mpa之间，整好是水环泵的最佳工作压力。
3、水环真空泵安装空间小，且安装快捷操作简单（射水泵需要水池、落差等，占地面积大安装麻烦）。
4、几乎不需要维护（射水泵需要经常清洗喷头，且加压水泵也常需要维修）。
本人就是专门销售真空泵的，各种形式的真空泵都有。QQ67136491
2、判断真空泵故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。
3、排除油泵故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。
4、有毒有害、有腐蚀性的真空泵，应请用户先行清洗，并告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。
5、干式真空泵故障分类
建议把故障分为运转故障和性能故障。
运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。
性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足要求。
6、故障判断与诊断例举
（1）真空泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。
①真空泵泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。
②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。
（2）真空泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。
（3）进口真空泵漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。
自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
（4）进口真空泵漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。
（5）大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。
（6）干泵极限压力不达标。
可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、真空泵运转不正常等引起。
外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。
如果真空泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检杏仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。
极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。
用经校准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。
极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。
（7）真空泵噪声大。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。
（8）真空泵喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况,挡油板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡油帽、气分离器，油位的高低，进油量的大小，都会影响泵的喷油，泵门敞开抽大气时，直联泵排气口的气流速度可以高达30m/s，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。
7、其他。有些真空泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器(防油蒸汽返流用)，有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤器失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。
8、真空泵清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转了内部，不易排出。
9、真空泵拆装。要按照使用说叫书推荐和规定有序进行，记好位置，合理摆放，以免错装。
