滑阀真空泵结构及特点 工作原理介绍

滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似，但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的，故称滑阀泵。

滑阀泵亦分单级泵和双级泵两种，有立式和卧式两种结构形式。单级泵的极限压力为0.4～1.3Pa；双级泵的极限压力为6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超过150L/S的大泵都采用单级形式。这种泵可单独使用，也可作其它泵的前级泵用。

1．工作原理

滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成(见图11)。

图11：滑阀式真空泵结构原理图

泵体中装有滑阀环(4)，滑阀环内装有偏心轮(3)，偏心轮固定在轴(2)上，轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动，因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中，由于A、B两室容积周期性地改变，使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔；同时，在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩，并通过排气阀排出泵外。

双级型的滑阀泵，实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上，有的是直接铸成一个整体，有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。

滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。

滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。

由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如果滑很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡，减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。

具体图片可以看这里，有很多http://image.baidu.com/i?tn=baiduimage&ampct=201326592&lm=-1&cl=2&fr=ala0&word=%BB%AC%B7%A7%CA%BD%D5%E6%BF%D5%B1%C3%D4%AD%C0%ED%CD%BC

滑阀式真空泵是靠气阀（滑阀）前后滑动，和两个排气阀片交替做工，打开、关闭气道，进行吸气排气，从而得到真空。

往复式真空泵的气阀总成是固定的，打开泵头侧盖就会看到，气阀有四个阀片，（两个进气，两个排气），活塞在做往复运动时，靠进、排气阀片交替运动，控制进气排气，从而得到真空。阀片属易损件阀片损坏影响真空泵效率，真空度低

1.极限真空不高及其消除

（1） 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。

（2） 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。

（3） 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。

（4） 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。

（5） 进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。

（6） 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。

（7） 旋片弹簧折断，应予调换。

（8） 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。

（9） 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。

2.喷油

（1） 油位过高，可入出多余油量。

（2） 减雾器中有泵油或杂物，应清除。

3.漏油

放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧；

油标未拧紧，有机玻璃过热变形；

泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好；

油封装配不当或磨损；应予调整或更换。

4.噪声

（1） 旋片弹簧折断，可调换弹簧。

（2） 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。

（3） 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。

（4） 电机出毛病，应进行检查。

5.返油

(1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

(4) 排气阀片损坏，应进行调换。

注：

检查泵的极限真空，以压缩式水银真空计为准。

拆卸顺序(应先放水及油)：

a、防护罩

b、泵三角皮带轮。

c、轴承盖及密封装置。

d、甲、乙泵盖(连轴承一并拆卸)。

e、滑阀及滑阀导轨组件。

f、偏心轮、平键及轴。

5.2.2.2 排气阀拆卸程序

a、方油箱组件

b、罩式化雾器

c、弹簧及主阀体

d、导管

e、排气阀片装配时则次序相反。

5.2.2.3 注意事项

a、不能直接用榔头敲打加工面。

b、装入时要仔细清洗零件。

c、注意密封面不能漏气及漏油。

2H：双级滑阀真空泵

120：抽气速率120升/秒

DV：英文“DEVELOPMENT VACUUM”缩写

供参考

2、真空镀膜、真空干燥、表面处理。在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。适用产品：真空机组、罗茨真空泵系列、滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列等。

3、真空冶炼、砖头、陶瓷制造业。真空泵用途体现在真空技术对于冶金、砖陶行业来说是非常关键的一个部分、它可以用来防止金属在加工过程中因高温而被氧化。通过真空将砖和陶瓷里面的水分和空气排出以确保其拥有最高的品质。适用产品：滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列、真空机组、水环真空泵系列。

4、食品包装、挤奶、饮料行业。真空包装技术起源于20世纪40年代。1950年聚酯、聚乙烯塑料薄膜成功地用于真空包装、此后真空包装便得到迅速发展。真空包装是将包装容器内的空气全部抽出密封、维持袋内处于高度减压状态、空气稀少相当于低氧效果使微生物没有生存条件以达到果品新鲜、无病腐发生的目的。适用产品：水环真空泵系列、旋片真空泵系列、无油真空泵系列、真空机组。

①真空泵泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障皮带打滑电机接线有误电机损坏电源没电等。

②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物旋片弹簧等泵零件的碎屑旋片变形卡住发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。

(2)真空泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降使橡胶件容易老化热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳温控水量调节阀失效等。

(3)进口真空泵漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2x-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。

自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。

补充：为你这个问题，我专门去我们公司看了一下泵，可以肯定地告诉你旋片泵比滑阀泵的真空度要高。滑阀泵的极限压力是1pa,而旋片泵的极限压力是0.06pa。