真空泵的工作原理

原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

真空泵工作原理解析：

1)、水环式真空泵工作原理

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时，将水甩至泵壳形成一个水环，环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大，从而形成真空，使气体经进气管进入泵内进气空间。

随后气体进入左半部，由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强，于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

2)、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33&times10-2（pa）属于低真空泵。

它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

保养窍门

1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。

2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。

3、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。

4、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

5、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

真空泵是用来在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

有关我国真空泵的使用：

我国煤层气（煤矿瓦斯）产业发展可谓一波三折，发展速度较为缓慢。由于瓦斯抽采难度大、浓度低，产业长期难破成本偏高、利用率低的困局。其中，成本偏高的原因之一，是由于井下瓦斯抽采系统运行效率低、能耗高。

有数据显示，我国年产500万吨以上的部分高瓦斯矿井的瓦斯抽采系统，仅年耗电量就高达数千万甚至上亿元。

5年前，中国矿业大学周福宝教授团队开始着手解决该问题。该团队经过深入研究与分析，得出结论——主要问题出在瓦斯抽采系统的动力源上，瓦斯抽采水环真空泵安全性好，但运行效率仅为15-40%，且能耗很大。

经过科技攻关，该团队自主研发了矿用水环真空泵绿色高效抽采新技术，并在山西潞安集团余吾煤业有限公司成功应用。

参考资料来源：百度百科-真空泵

1,检查油位,避免缺油运行,一般一个月左右更换一次润滑油.

2,检查泵浦表面洁净度,表面干净,泵浦散热好.

3,观察排气口,如排气口有油烟,需要更换排气滤芯.

4,一年左右做一次基本保养!

5,三年到五年做一次大保养!

不同的真空泵种类，使用注意问题也会有差别的。

一般旋片泵，需要注意真空泵油是否乳化，乳化需要换油；

旋片泵和其它有油泵，如滑阀泵等，要注意降温，否则会产生油蒸汽；

隔膜泵不能在多颗粒，大液体环境使用，需要前加装过滤或缓冲罐等；

不过也有些是大同小异的，

比如检查密封件是否漏气，定期保养，按厂家给的操作流程操作。

最好，是问下厂家，或是查看操作说明书。

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第三章 对真空泵保养的探讨

3.1真空泵的保养

目前真空泵已广泛的得到应用。国产泵体积大，且吸力小，但是便于维修。而进口泵体积小，吸力大，但是维修成本高。而我们从事工作都是配备的进口泵。所以从这个方面来说，保养显得尤为重要。以下是真空泵在日常保养中应该注意的一些要点：

（1）定期检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。

（2）向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。

（3）拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。 （4）关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。 （5）点动电机，试看电机转向是否正确。

（6）开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。

（7）尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。

（8）真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C 。

（9）如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。

（10）真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。 （11）真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

（12）经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。 （13）定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

（14）真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

（15）真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保存。

3.2 国内外先进的维护保养制度与方法

3.2.1“PM”，即预防维修保养制度 “PM”，即预防维修保养制度。“PM”制详细规定了不同运转时间间隔对机械设备不断进行保养、检查的项目，发现问题应立即按规定要求进行处理（修复或更换有关部件）；而不明确规定大、中修的时间间隔，以减少对总成及部件过早地进行拆卸、分解造成的不必要损坏和更换。

3.2.2 生产维修保养制 由美国GE电器公司首先提出。其特点是对施工机械按其重要程度进行分类，突出重点设备进行预防性保养，而对一般设备进行事后维修。也称“经济的维修制度”。

3.2.3推广“TPM”保养维修 从七十年代开始，在系统工程和行为科学学说的影响下，日本在学习“PM”制、“生产维修保养制”等长处的基础上，产生了比较完整的“全员参加的生产维修保养制度”即“TPM”。其指导思想

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是“三全”：全效率、全过程、全员；重点是日常保养和点检制度。 日本一些企业采用TPM制后，设备停机时间平均下降50%，事故率下降75%，维修费下降25－50%。

3.2.4 爱护机器设备，保证设备完好、有效，保护好生产力。

3.3 实施机械设备强制保养的方法

强制保养是针对施工企业的新特点、新情况而提出的，是对设备管理的改革与完善，必须有一套完整的办法，才能保证它的实施并收到效果。 3.3.1提高认识，明确强制保养的原则

所谓强制保养，是对保养的硬性规定，到时必须进行，决不能因为工作紧张而不安排时间、不安排人员进行保养。要开展现代化管理教育，使各级领导和广大设备工作者明白：机械设备的完好率和使用寿命，很大程度上决定于保养工作的好坏。如忽视机械技术保养，只顾眼前的需要和方便，直到机械设备不能运转时才停用，则必然会导致设备的早期磨损、寿命缩短，各种材料消耗增加，甚至危及安全生产。不按照规定保养设备是粗野的使用、愚昧的管理，与现代化企业的科学管理是背道而弛的。

3.3.2借鉴先进经验，建立健全强制保养制度

为了最大限度地发挥机械效能,延长机械使用寿命,应制定完善的强制保养的政策。并按在实施中收到了一定的效果，主要做法为：

确定保养种类和工作内容 (1)例行保养 机械在每班作业前后及运转中的检查保养,中心内容是检查,主要检查要害部位和易损部位. (2)定期保养 指按规定的运转间隔周期进行保养,一般实行一.二.三级保养制,其它机械实行一二级保养制.①一级保养(简称一保):主要目的在于维护机械完好的技术状态,确保两次一级保养间隔期间的正常运行. 一保作业内容以清洁.紧固.润滑为中心并部分进行调整作业.主要是:检查紧固各部螺丝,按规定检查和补充润滑油脂,清洁各滤清器. ②二级保养(简称二保) 二保以检查调整为中心,除一保的全部内容外,还要从外部检查真空泵的工作情况，进行调整，排除故障。 ③三级保养（简称三保） 三保除进行二保的全部作业内容外，还应对主要部位进行解体检查或用仪器检测，并可以进行一次发动机或某个总成的大修，或者只打开有关总成的箱盖，检查内部零件的紧固、间隙和磨损等情况，以发现隐患，对症下处理。 （3）特殊保养 ①停放保养 指机械停放期超过一个月以上,每周进行一次的检查保养.按例保规定进行“清洁、润滑、防腐”等工作。 ②走合期保养 指新机械或者大修出厂的机械走合期满后进行的保养。 ③换季保养主要是入夏、入冬前的保养，例如采取降温、防寒措施等，此项保养可结合定期保养进行 ④工地转移前保养（也叫退场设备整修） 一项工程完工后，虽未达到规定的保养时间，但为了是机械到新工点后能迅速投入生产，应进行一次全面检查、维修、保养达到二类机况为目的。 凡有机械设备的施工单位都必须根据工程任务、机械使用情况按机械保养的规定，每用编制机械设备保养计划随同施工生产计划同时下达，各级机械管理部门严格组织实施。 我集团实施“强保工程”以来，设备管理有了明显进步，有力地保障了工程任务的完成。

气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

变容真空泵

利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

（1）往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：

① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。

a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。

c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

（2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

（4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。

（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

气体捕集泵

这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。

吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵

按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。

粗真空系

主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。

主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。

是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。

高真空系

滑阀式真空泵

（Rotary Piston Vacuum Pump）

广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。

滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。

用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

真空泵

旋片式真空泵

( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

罗茨真空泵

( Roots Vacuum Pump )

是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

真空泵厂家如下：

1、藤原

台州藤原工具有限公司旗下品牌，该品牌喷漆枪是一键喷涂，高效省漆，高效雾化，省漆，采用全金属材质，铜芯喷嘴，高雾化帽。在全国设有二十多家销售服务中心，营销网络遍及全国。

2、伯仲真空

属于山东伯仲真空设备有限公司，它是中国专业生产真空泵及真空泵成套设备的骨干企业，2005年至2007年，公司获得了淄博市工商局授予的"2005年度企业年检免检企业"、"守合同重信用企业"、"淄博市诚信企业"与"文明诚信双百佳"等光荣称号。

3、大焊

大焊五金的品牌负责人是大焊五金旗舰店，自大焊五金品牌创立至今，一直努力用高质量的产品与较好的服务对待用户，目前大焊五金在经营的产品主要有真空泵。

4、达尔拓

成立于2014年，自成立以来，达尔拓品牌以诚信、共赢、开创经营理念，创造良好的企业环境，坚持用自己的服务去打动客户，深受广大客户和消费者的青睐。

品牌达尔拓主营产品涵盖无油真空泵，无油空压机，空气压缩机，旋片真空泵，工业泵，旋片式真空泵，空压机，冷冻式干燥机，冷冻干燥机，真空泵，压力罐，气泵空压机，压缩机，空气泵，电动喷涂机，空压机配件，打钉枪，螺杆空压机，精密过滤器，吹尘球等领域。

5、千岛

属于杭州千岛泵业有限公司(建德市科技实验厂)，二十七年来我公司与浙江工业大学及浙江省机电设计研究院通力合作一直致力于防腐、环保、真空设备的研制、生产和销售。

1、制药和化工

真空泵应用领域包括医药、农药、化妆品与盥洗卫生品、肥皂与合成洗涤剂、表面活性剂、印刷油墨及其助剂、粘接剂、感光材料、水处理剂与高分子絮凝剂、造纸助剂、皮革助剂、矿物浮选剂、铸造用化学品、金属表面处理剂。

适用产品：真空机组、水环真空泵系列、滑阀真空泵系列、往复真空泵系列。

2、真空镀膜、真空干燥、表面处理

在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。

适用产品：真空机组、罗茨真空泵系列、滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列等。

3、真空冶炼、砖头、陶瓷制造业

真空泵用途体现在真空技术对于冶金、砖陶行业来说是非常关键的一个部分、它可以用来防止金属在加工过程中因高温而被氧化。通过真空将砖和陶瓷里面的水分和空气排出以确保其拥有最高的品质。

适用产品：滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列、真空机组、水环真空泵系列。

4、食品包装、挤奶、饮料行业

真空包装技术起源于20世纪40年代。1950年聚酯、聚乙烯塑料薄膜成功地用于真空包装、此后真空包装便得到迅速发展。真空包装是将包装容器内的空气全部抽出密封、维持袋内处于高度减压状态、空气稀少相当于低氧效果使微生物没有生存条件以达到果品新鲜、无病腐发生的目的。

适用产品：水环真空泵系列、旋片真空泵系列、无油真空泵系列、真空机组。

扩展资料

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

参考资料来源：百度百科-真空泵