武汉水泵厂

武汉水环真空泵制造有限公司是2000-02-02在湖北省武汉市汉阳区注册成立的有限责任公司(自然人投资或控股)，注册地址位于汉阳区棉花街8号。

武汉水环真空泵制造有限公司的统一社会信用代码/注册号是914201057179593317，企业法人刘静怡，目前企业处于开业状态。

武汉水环真空泵制造有限公司的经营范围是：液环真空泵压缩机、水泵、油泵、水暖器材、阀门及机械设备、电器设备生产、销售；金属材料、仪器仪表、五金、交电、普通机械批发兼零售（依法需经批准的项目经相关部门批准后方可开展经营活动）。在湖北省，相近经营范围的公司总注册资本为219148万元，主要资本集中在1000-5000万和100-1000万规模的企业中，共479家。本省范围内，当前企业的注册资本属于良好。

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产品概述

◆SF6气体回收净化充放装置是用于SF6气体绝缘电器设备的制造厂，使用运行科研等部门, 对各种电器设备进行抽真空，对电器设备充入SF6气体，并从使用或试验的电器中回收SF6气体,同时进行净化处理压缩贮存到贮罐。

◆回收装置适用SF6电器及GIS组合电器等。

◆该装置按照DL/T662-1999《六氟化硫充气及回收装置》标准，装置由回收系统、充气系统、抽真空系统、净化系统、气体贮存系统组成。

◆具有如下主要功能：

◆对装置本机以及电器设备抽真空和真空度的测量；

◆对电器设备中的气体进行回收；

◆对回收和回充的SF6气体进行干燥、净化处理；

◆对SF6电器进行充气；

◆对电器中SF6气体进行压缩贮存。

主要特点

◆设计先进，功能齐全，结构合理，操作简洁明了。

◆压缩系统：采用SF6封闭压缩机，绝无泄漏。

◆抽真空系统采用双级旋片式真空泵，在系统中设有自动防止返回油装置。

◆净化系统采用日本CKD公司原理过滤器，过滤器采用电加热及内装高效吸附剂，净化效果更显著(无需频繁更换吸附剂)。

◆装置电气系统三相电源自动确认、断相自动保护。

◆装置控制系统采用最新技术的SF6专用阀门

◆贮存系统按用户要求配置100---500KG贮液罐。

◆设备采用移动式。

技术指标

◆型式：移动式、制冷式

◆工作原理

◆使用压缩机压力—冷冻液化SF6气体。

◆干燥器辅助气体回收和回充。

◆充气时经缓冲气化充入（可加热）。

◆工作环境温度： -10℃（-30可选）- +40℃

◆主要性能及技术参数

◆装置极限真空度＜10Pa

◆装置抽真空速率：55--110M3 /h (真空泵极限真空度小于0.06Pa)

◆装置充气初压力＜133 Pa(用户要求自定)

◆装置充气终压力≤0.8M Pa

◆装置充气速率＞15m3/h

◆装置回收初压力≤0.8M Pa　

◆装置回收终压力＜100Pa

◆装置回收压缩机排气量：14.7M3 /h

◆装置年泄漏率＜1%

◆装置贮罐最高设计压力3.9M Pa

◆贮罐容积：气罐200KG

◆外形尺寸约2050mm×1250mm×1650mm

◆贮存方式：汽、液态

◆噪声≤75dB声压级

◆干燥过滤器再生方式：真空再生加热活化处理

◆电源：交流三相380V±10%、50HZ

◆装置总功率＜25KW

◆装置重量：1800公斤

◆净化：微水60PPm，油份5PPm，微尘≤1微米

主要组成部件及功能

◆装置的主要功能件有

◆压缩机

◆真空泵

◆制冷系统

◆干燥过滤再生器

◆加热器

◆净化器

◆过滤器

◆管道

◆阀门

◆仪表

◆电气控制以及结构件

◆框架面板

◆走轮

◆贮罐

主要部件配置参数

◆压缩机：CA—0300 品牌： 美国

◆真空泵：2XZ-15B – 2X-30

◆过滤器：品牌：danfoss –EMERSON（进口）

◆阀门：SF6 VP专用台湾

◆压力表：品牌：TECSIS 德国（进口）上海热偶真空计

◆控制系统 ：国产

◆制冷系统：法国MANENRCP 主机 1.5KW

◆无油真空泵： KAWAKI-JP-120H日本(选择件)

首先要明确微型泵的用途。我们分三大类逐一讨论。

一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。

简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。

二、如果是以下几种情况，则应该选用WKA系列产品。

1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。

2、要求微型泵既能抽气又能抽水。

3、主要用微型泵抽水，但不希望在抽水前靠人工加“引水”。（有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”，这样泵才能把低处的水抽上来，否则泵无法抽水甚至损坏。）WKA系列产品的长处就在于，没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。

4、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状态。某些传统水泵畏惧“干转”，甚至是致命的。而WKA系列产品本质上是一种复合功能泵，它集成了真空泵和水泵的功能，有人把它叫作“真空水泵”。因此，在没有水的情况下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。无论是抽气状态还是抽水状态，都属于正常工作范畴，也就无所谓“干转”损伤。

三、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些。

（一）、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

气体采样泵有：PM系列、SA系列、SB系列；微型真空泵有： VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025N等。

对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大（即泵的抽气端阻力较大），只能在微型真空泵范围内选型：

①在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小（比如小于φ2毫米）；

②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；

③泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；

④泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体（如集成块、精密工件等）；

⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。

（二）、判断微型泵排气端工况

以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题，根据这些判断条件已经缩小了选型的范围，但还必须考虑排气端阻力问题，这样才能最终确定可选范围。

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。

简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列。根据以上几个步骤，我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中，再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品未列入本文，尽量不要选用。注意参数选择要留有余量，特别是流量参数。泵接入气路系统后，由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此得到的流量小于泵的标称流量还有一些和选型相关的问题罗列如下，根据使用情况考虑。

1、带负载启动问题。

如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力，则要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载Pis值，排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列；可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有：FM系列、FAA系列、PCF系列。 该性能对制造商的技术水平要求较高。

2、微型泵的介质温度问题。

根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是最恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的电磁干扰问题。

如果有精密电路控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

也有的是真空泵单独使用的，目的是利用真空 将一些液固混合物抽出来，作用相当于离心泵，但是使用起来更方便一些，因为吸入管采用耐吸引软管，可以方便随处移动。这个在铅 锌冶炼行业应用比较多，一般都是用真空泵抽出电解槽内的阳极泥。