爱德华真空泵ih600使用说明书
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱(仅限 iH1000)
爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵,也叫罗茨泵,是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。
工作原理:
罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。
靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。
罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。
爱德华GXS450干式螺杆真空泵:Edwards获得的螺旋转子设计针对高可用性而设计,它提供的抽取速度,并且是热管理系统的一部分,可以很好地提高泵性能并延长密封、轴承和电机的使用寿命,以确保泵具有长的使用寿命。
GXS干泵主要特性和优势:资金成本低,维护要求最低,由此其拥有成本也最低。减少用户干预次数,降低易耗品成本,无需除油,不会向大气中排放废油。抽取速度非常稳定,为制程带来可重复性。大气压下持续泵送,能够处理微粒。干式操作消除了反流,从而使反应合金免受。污染。不易察觉的噪声级,无难看的油溅无危险油蒸汽。
四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级,其吸气容积比后面三级大,形成级间压缩。
四对转子装在二根平行轴上,轴由上下两端轴承支撑,泵腔级与级之间有隔板,隔板上有吸排气通道。
答:爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵,也叫罗茨泵,是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。
真空泵比较好的牌子如下:
1、立申牌
在全国设有二十多家销售服务中心,营销网络遍及全国。 公司自来水泵设计中心,质量监控及检测中心,售后服务及技术咨询中心,具有较强的设计、开发和生产能力。
2、伯仲真空
属于山东伯仲真空设备有限公司,它是中国专业生产真空泵及真空泵成套设备的骨干企业,2005年至2007年,公司获得了淄博市工商局授予的"2005年度企业年检免检企业"、"守合同重信用企业"、"淄博市诚信企业"与"文明诚信双百佳"等光荣称号。
3、泰悉尔
属于美国泰悉尔集团(Tuthill Group),改集团是一家总部位于美国芝加哥、拥有百年历史的家族企业和跨国公司集团,业务范围涵盖真空系统和风机、介质泵、流体联接件、控制、联动件、塑料、燃油传送系统和交通技术。
4、斯特林
属于德国斯特林(Sterling)流体系统集团,该集团隶属于1918年创建的TBG(Thyssen Bornemisza Group)集团。斯特林(Sterling)流体系统业务遍及40多个国家和地区,年销售额达5亿欧元,为全球比较大的泵业集团之一。
5、千岛
属于杭州千岛泵业有限公司(建德市科技实验厂),二十七年来我公司与浙江工业大学及浙江省机电设计研究院通力合作一直致力于防腐、环保、真空设备的研制、生产和销售。
6、华泰真空
华泰真空设备制造有限公司是一家具有良好的集真空技术研发、生产、销售于一体的真空应用及真空获得的制造厂家。
7、百诚
陕西百诚真空设备工程有限公司是一家集真空系统设计、制造、销售与一体的专业化真空公司, 属中国真空学会会员。与比亚迪汽车、上海通用汽车建立了长期的合作关系。
8、德源
公司为博山泵业商会副会长单位,近几年来先后被中国市场品牌战略委员会、市精神文明委员会、市工商局、市私营企业局等部门评为“百佳文明私营企业”、“3.15诚信企业”等荣誉单位。
产品荣获“中国潜水电泵产品比较具竞争力品牌”、“中国潜水电泵产品消费者比较喜爱品牌”等称号。
9、冠田
成立于1996年,经过十多年的发展和对外交流,本公司已发展为一家具有自主设计、制造及销售为一体的专业性的泵制造企业。
10、博山国源
山东博山国源真空泵厂是机械部定点企业,是生产真空获得设备及真空应用产品的专业生产厂家,本厂具有完善的质量管理体系,技术力量雄厚,制造设备精良。可为用户设计、制造不同类型的真空应用产品。